අඟල් 4 මිනිරන් පදනම MOCVD උපකරණ කොටස් 36 කෑලි

කෙටි විස්තරය:

නිෂ්පාදන හැඳින්වීම සහ භාවිතය: නිල්-කොළ එපිටාක්සියල් පටල සමඟ LED වැඩීම සඳහා භාවිතා කරන පැය 4 උපස්ථර කොටස් 36 ක් තැබීම

නිෂ්පාදනයේ උපාංගයේ පිහිටීම: ප්රතික්රියා කුටියේ, වේෆර් සමඟ සෘජු ස්පර්ශය

ප්රධාන පහළ නිෂ්පාදන: LED චිප්ස්

ප්රධාන අවසන් වෙළෙඳපොළ: LED


නිෂ්පාදන විස්තර

නිෂ්පාදන ටැග්

විස්තරය

අපගේ සමාගම සපයයිSiC ආලේපනයමිනිරන්, පිඟන් මැටි සහ අනෙකුත් ද්‍රව්‍ය මතුපිට CVD ක්‍රමයට සේවා ක්‍රියාවට නංවන අතර එමඟින් කාබන් සහ සිලිකන් අඩංගු විශේෂ වායූන් ඉහළ උෂ්ණත්වයකදී ප්‍රතික්‍රියා කර ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් SiC අණු, ආලේපිත ද්‍රව්‍යවල මතුපිට තැන්පත් වී ඇති අණු ලබා ගනී.SIC ආරක්ෂිත ස්ථරය.

 

ග්රැෆයිට් පදනම--36

ප්රධාන ලක්ෂණ

1. ඉහළ උෂ්ණත්ව ඔක්සිකරණ ප්රතිරෝධය:
උෂ්ණත්වය සෙල්සියස් අංශක 1600 තරම් ඉහළ මට්ටමක පවතින විට ඔක්සිකරණ ප්‍රතිරෝධය තවමත් ඉතා යහපත් වේ.
2. ඉහළ සංශුද්ධතාවය: අධික උෂ්ණත්ව ක්ලෝරීන තත්ත්වය යටතේ රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් වීම මගින් සාදා ඇත.
3. ඛාදනය ප්රතිරෝධය: ඉහළ දෘඪතාව, සංයුක්ත මතුපිට, සියුම් අංශු.
4. විඛාදන ප්රතිරෝධය: අම්ලය, ක්ෂාර, ලුණු සහ කාබනික ප්රතික්රියාකාරක.

CVD-SIC ආලේපනයේ ප්‍රධාන පිරිවිතර

SiC-CVD ගුණාංග
ස්ඵටික ව්යුහය FCC β අදියර
ඝනත්වය g/cm ³ 3.21
දැඩි බව විකර්ස් දෘඪතාව 2500
ධාන්ය ප්රමාණය μm 2~10
රසායනික සංශුද්ධතාවය % 99.99995
තාප ධාරිතාව J·kg-1 ·K-1 640
Sublimation උෂ්ණත්වය 2700
Felexural ශක්තිය MPa (RT 4-ලක්ෂ්‍යය) 415
Young's Modulus Gpa (4pt වංගුව, 1300℃) 430
තාප ප්‍රසාරණය (CTE) 10-6K-1 4.5
තාප සන්නායකතාව (W/mK) 300
Semicera සේවා ස්ථානය
අර්ධ සේවා ස්ථානය 2
උපකරණ යන්ත්රය
CNN සැකසීම, රසායනික පිරිසිදු කිරීම, CVD ආලේපනය
සෙමිසෙරා ගබඩාව
අපගේ සේවය

  • පෙර:
  • ඊළඟ: