Semicera's 4 Inch N-type SiC උපස්ථර අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ නියම ප්‍රමිතීන් සපුරාලීම සඳහා නිර්මාණය කර ඇත. මෙම උපස්ථර පුළුල් පරාසයක ඉලෙක්ට්‍රොනික යෙදුම් සඳහා ඉහළ ක්‍රියාකාරී පදනමක් සපයන අතර, සුවිශේෂී සන්නායකතාවය සහ තාප ගුණාංග ලබා දෙයි.
මෙම SiC උපස්ථරවල N-වර්ගයේ මාත්‍රණය මගින් ඒවායේ විද්‍යුත් සන්නායකතාව වැඩි දියුණු කරන අතර, ඒවා අධි බල සහ අධි-සංඛ්‍යාත යෙදුම් සඳහා විශේෂයෙන් සුදුසු වේ. මෙම ගුණාංගය ඩයෝඩ, ට්‍රාන්සිස්ටර සහ ඇම්ප්ලිෆයර් වැනි උපාංග කාර්යක්ෂමව ක්‍රියාත්මක කිරීමට ඉඩ සලසයි, එහිදී බලශක්ති හානිය අවම කිරීම ඉතා වැදගත් වේ.
Semicera සෑම උපස්ථරයක්ම විශිෂ්ට මතුපිට ගුණාත්මක භාවයක් සහ ඒකාකාරී බවක් පෙන්නුම් කරන බව සහතික කිරීම සඳහා අති නවීන නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලීන් භාවිතා කරයි. ආන්තික තත්ව යටතේ විශ්වාසනීය කාර්ය සාධනයක් ඉල්ලා සිටින බලශක්ති ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණ, මයික්‍රෝවේව් උපාංග සහ වෙනත් තාක්ෂණයන්හි යෙදුම් සඳහා මෙම නිරවද්‍යතාවය ඉතා වැදගත් වේ.
Semicera's N-type SiC උපස්ථර ඔබේ නිෂ්පාදන රේඛාවට ඇතුළත් කිරීම යනු උසස් තාපය විසුරුවා හැරීම සහ විද්‍යුත් ස්ථායීතාවය ලබා දෙන ද්‍රව්‍ය වලින් ප්‍රතිලාභ ලැබීමයි. බල පරිවර්තන පද්ධති සහ RF ඇම්ප්ලිෆයර් වැනි කල්පැවැත්ම සහ කාර්යක්ෂමතාව අවශ්‍ය වන සංරචක නිර්මාණය කිරීම සඳහා මෙම උපස්ථර වඩාත් සුදුසු වේ.
Semicera's 4 Inch N-type SiC උපස්ථර තෝරා ගැනීමෙන්, ඔබ නව්‍ය ද්‍රව්‍ය විද්‍යාව සූක්ෂම ශිල්පීය හැකියාව සමඟ ඒකාබද්ධ කරන නිෂ්පාදනයක් සඳහා ආයෝජනය කරයි. Semicera උසස් ක්‍රියාකාරීත්වය සහ විශ්වසනීයත්වය සහතික කරමින් අති නවීන අර්ධ සන්නායක තාක්‍ෂණ සංවර්ධනයට සහාය වන විසඳුම් ලබා දෙමින් කර්මාන්තයට නායකත්වය දෙමින් ඉදිරියට යයි.
| අයිතම | නිෂ්පාදනය | පර්යේෂණ | ඩමි |
| ස්ඵටික පරාමිතීන් | |||
| පොලිටයිප් | 4H | ||
| මතුපිට දිශානතියේ දෝෂය | <11-20 >4±0.15° | ||
| විදුලි පරාමිතීන් | |||
| ඩොපන්ට් | n-වර්ගය නයිට්රජන් | ||
| ප්රතිරෝධකතාව | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| යාන්ත්රික පරාමිතීන් | |||
| විෂ්කම්භය | 150.0 ± 0.2 මි.මී | ||
| ඝනකම | 350±25 μm | ||
| ප්රාථමික පැතලි දිශානතිය | [1-100]±5° | ||
| ප්රාථමික පැතලි දිග | 47.5 ± 1.5 මි.මී | ||
| ද්විතියික පැතලි | කිසිවක් නැත | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| දුන්න | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| ඉදිරිපස (Si-මුහුණ) රළුබව (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| ව්යුහය | |||
| ක්ෂුද්ර නල ඝනත්වය | <1 EA/cm2 | <10 EA/cm2 | <15 EA/cm2 |
| ලෝහ අපද්රව්ය | ≤5E10atoms/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 EA/cm2 | ≤3000 EA/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 EA/cm2 | ≤1000 EA/cm2 | NA |
| ඉදිරිපස ගුණාත්මකභාවය | |||
| ඉදිරිපස | Si | ||
| මතුපිට නිමාව | Si-Face CMP | ||
| අංශු | ≤60ea/වේෆර් (ප්‍රමාණය≥0.3μm) | NA | |
| සීරීම් | ≤5ea/මි.මී. සමුච්චිත දිග ≤විෂ්කම්භය | සමුච්චිත දිග≤2*විෂ්කම්භය | NA |
| තැඹිලි පීල් / වලවල් / පැල්ලම් / ඉරිතැලීම් / අපවිත්ර වීම | කිසිවක් නැත | NA | |
| Edge chips/indents/fracture/hex plates | කිසිවක් නැත | ||
| පොලිටයිප් ප්රදේශ | කිසිවක් නැත | සමුච්චිත ප්රදේශය≤20% | සමුච්චිත ප්රදේශය≤30% |
| ඉදිරිපස ලේසර් සලකුණු කිරීම | කිසිවක් නැත | ||
| පසුපස ගුණාත්මකභාවය | |||
| පසුපස නිමාව | C-face CMP | ||
| සීරීම් | ≤5ea/mm, සමුච්චිත දිග≤2*විෂ්කම්භය | NA | |
| පිටුපස දෝෂ (දාර චිප්ස්/ඉන්ඩන්ට්) | කිසිවක් නැත | ||
| පිටුපස රළුබව | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| පසුපස ලේසර් සලකුණු කිරීම | 1 mm (ඉහළ දාරයේ සිට) | ||
| දාරය | |||
| දාරය | චැම්ෆර් | ||
| ඇසුරුම්කරණය | |||
| ඇසුරුම්කරණය | රික්ත ඇසුරුම් සහිත Epi-සුදානම් බහු වේෆර් කැසට් ඇසුරුම් | ||
| *සටහන්: "NA" යන්නෙන් අදහස් වන්නේ කිසිදු ඉල්ලීමක් සඳහන් නොකළ අයිතමයන් SEMI-STD වෙත යොමු විය හැක. | |||
