Semicera's 6-inch LiNbO3 Bonding Wafer පර්යේෂණ සහ නිෂ්පාදන පරිසරයන් දෙකෙහිම අසමසම කාර්ය සාධනයක් ලබා දෙමින් අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ දැඩි ප්රමිතීන් සපුරාලීම සඳහා නිර්මාණය කර ඇත. ඉහළ මට්ටමේ ඔප්ටෝ ඉලෙක්ට්රොනික්ස්, MEMS හෝ උසස් අර්ධ සන්නායක ඇසුරුම් සඳහා වේවා, මෙම බන්ධන වේෆරය අති නවීන තාක්ෂණ සංවර්ධනය සඳහා අවශ්ය විශ්වසනීයත්වය සහ කල්පැවැත්ම ලබා දෙයි.
අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ දී, දෘශ්ය ඉලෙක්ට්රොනික උපාංග, සංවේදක සහ ක්ෂුද්ර විද්යුත් යාන්ත්රික පද්ධති (MEMS) තුළ තුනී ස්ථර බන්ධනය සඳහා අඟල් 6 LiNbO3 බන්ධන වේෆර් බහුලව භාවිතා වේ. එහි ඇති සුවිශේෂී ගුණාංග නිසා සංයුක්ත පරිපථ (ICs) සහ ෆොටෝනික් උපාංග නිපදවීම වැනි නිරවද්ය ස්ථර ඒකාබද්ධ කිරීමක් අවශ්ය යෙදුම් සඳහා එය වටිනා අංගයක් බවට පත් කරයි. වේෆරයේ ඉහළ සංශුද්ධතාවය අවසාන නිෂ්පාදනයේ ප්රශස්ත කාර්ය සාධනය පවත්වා ගෙන යන බව සහතික කරයි, උපාංගයේ විශ්වසනීයත්වයට බලපාන දූෂණය වීමේ අවදානම අවම කරයි.
LiNbO3 හි තාප සහ විද්යුත් ගුණාංග | |
ද්රවාංකය | 1250℃ |
කියුරි උෂ්ණත්වය | 1140℃ |
තාප සන්නායකතාව | 38 W/m/K @ 25 ℃ |
තාප ප්රසාරණ සංගුණකය (@ 25°C) | //a,2.0×10-6/කේ //c, 2.2×10-6/කේ |
ප්රතිරෝධකතාව | 2×10-6Ω·cm @ 200 ℃ |
පාර විද්යුත් නියතය | εS11/ε0=43,εT11/ε0=78 εS33/ε0=28,εT33/ε0= 2 |
Piezoelectric නියතය | D22=2.04×10-11සී/එන් D33=19.22×10-11සී/එන් |
විද්යුත් දෘෂ්ටි සංගුණකය | γT33=32 pm/V, γS33=31 pm/V, γT31=10 pm/V, γS31=8.6 pm/V, γT22=6.8 pm/V, γS22=3.4 pm/V, |
අර්ධ තරංග වෝල්ටීයතාව, DC | 3.03 කි.වී 4.02 කි.වී |
Semicera වෙතින් අඟල් 6 LiNbO3 බන්ධන වේෆර් විශේෂයෙන් අර්ධ සන්නායක සහ දෘශ්ය ඉලෙක්ට්රොනික කර්මාන්තවල උසස් යෙදුම් සඳහා නිර්මාණය කර ඇත. එහි උසස් ඇඳුම් ප්රතිරෝධය, ඉහළ තාප ස්ථායීතාවය සහ සුවිශේෂී සංශුද්ධතාවය සඳහා ප්රසිද්ධ, මෙම බන්ධන වේෆරය ඉහළ කාර්ය සාධනයක් සහිත අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය සඳහා වඩාත් සුදුසු වන අතර, ඉල්ලුම සහිත තත්වයන් තුළ පවා දිගු කල් පවතින විශ්වසනීයත්වය සහ නිරවද්යතාවය ලබා දෙයි.
අති නවීන තාක්ෂණයෙන් නිර්මාණය කර ඇති, අඟල් 6 LiNbO3 බන්ධන වේෆර් අවම දූෂණය සහතික කරයි, එය ඉහළ මට්ටමේ සංශුද්ධතාවය අවශ්ය අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්රියාවලීන් සඳහා ඉතා වැදගත් වේ. එහි විශිෂ්ට තාප ස්ථායීතාවය ව්යුහාත්මක අඛණ්ඩතාවයට හානි නොකර ඉහළ උෂ්ණත්වයන්ට ඔරොත්තු දීමට ඉඩ සලසයි, එය ඉහළ උෂ්ණත්ව බන්ධන යෙදුම් සඳහා විශ්වාසදායක තේරීමක් කරයි. මීට අමතරව, වේෆරයේ කැපී පෙනෙන ඇඳුම් ප්රතිරෝධය එය දිගුකාලීන භාවිතයට වඩා අඛණ්ඩව ක්රියා කරන බව සහතික කරයි, දිගු කාලීන කල්පැවැත්මක් සපයයි සහ නිතර ප්රතිස්ථාපනය කිරීමේ අවශ්යතාවය අඩු කරයි.