අඟල් 6 n-වර්ගයේ sic උපස්ථරය

කෙටි විස්තරය:

අඟල් 6 n-වර්ගය SiC උපස්ථරය යනු අර්ධ සන්නායක ද්‍රව්‍යයක් වන අතර එය අඟල් 6 ක වේෆර් ප්‍රමාණයකින් සංලක්ෂිත වේ, එමඟින් විශාල මතුපිට ප්‍රදේශයක් පුරා තනි වේෆරයක් මත නිපදවිය හැකි උපාංග සංඛ්‍යාව වැඩි කරයි, එමඟින් උපාංග මට්ටමේ පිරිවැය අඩු කරයි. . 6-අඟල් n-වර්ග SiC උපස්ථර සංවර්ධනය කිරීම සහ යෙදීම RAF වර්ධක ක්‍රමය වැනි තාක්‍ෂණවල දියුණුවෙන් ප්‍රතිලාභ ලබා ගත් අතර, විස්ථාපනය හා සමාන්තර දිශාවන් ඔස්සේ ස්ඵටික කැපීමෙන් සහ ස්ඵටික නැවත වර්ධනය කිරීමෙන් විස්ථාපනය අඩු කරයි, එමගින් උපස්ථරයේ ගුණාත්මක භාවය වැඩි දියුණු කරයි. SiC බල උපාංගවල නිෂ්පාදන කාර්යක්ෂමතාව වැඩි දියුණු කිරීම සහ පිරිවැය අඩු කිරීම සඳහා මෙම උපස්ථරය යෙදීම ඉතා වැදගත් වේ.

 


නිෂ්පාදන විස්තර

නිෂ්පාදන ටැග්

සිලිකන් කාබයිඩ් (SiC) තනි ස්ඵටික ද්රව්ය විශාල කලාප පරතරය පළල (~Si 3 ගුණයක්), ඉහළ තාප සන්නායකතාව (~Si 3.3 ගුණයක් හෝ GaAs 10 ගුණයක්), ඉහළ ඉලෙක්ට්රෝන සන්තෘප්ත සංක්රමණ අනුපාතය (~Si 2.5 ගුණයක්), ඉහළ බිඳවැටීම් විද්යුත් ක්ෂේත්‍රය (~Si 10 වතාවක් හෝ GaAs 5 වතාවක්) සහ අනෙකුත් කැපී පෙනෙන ලක්ෂණ.

තෙවන පරම්පරාවේ අර්ධ සන්නායක ද්‍රව්‍යවලට ප්‍රධාන වශයෙන් SiC, GaN, දියමන්ති ආදිය ඇතුළත් වේ, මන්ද එහි කලාප පරතරය පළල (උදා) ඉලෙක්ට්‍රෝන වෝල්ට් 2.3 (eV) ට වඩා වැඩි හෝ සමාන වන බැවින් පුළුල් කලාප පරතරය අර්ධ සන්නායක ද්‍රව්‍ය ලෙසද හැඳින්වේ. පළමු සහ දෙවන පරම්පරාවේ අර්ධ සන්නායක ද්‍රව්‍ය සමඟ සසඳන විට, තුන්වන පරම්පරාවේ අර්ධ සන්නායක ද්‍රව්‍යවලට ඉහළ තාප සන්නායකතාව, අධි බිඳවැටීම් විද්‍යුත් ක්ෂේත්‍රය, ඉහළ සන්තෘප්ත ඉලෙක්ට්‍රෝන සංක්‍රමණ අනුපාතය සහ ඉහළ බන්ධන ශක්තිය වැනි වාසි ඇත, එමඟින් නවීන ඉලෙක්ට්‍රොනික තාක්ෂණයේ නව අවශ්‍යතා සපුරාලිය හැකිය. උෂ්ණත්වය, අධි බලය, අධි පීඩනය, අධි සංඛ්යාත සහ විකිරණ ප්රතිරෝධය සහ අනෙකුත් දරුණු තත්වයන්. එය ජාතික ආරක්‍ෂාව, ගුවන් සේවා, අභ්‍යවකාශය, තෙල් ගවේෂණය, දෘශ්‍ය ගබඩා කිරීම යනාදී ක්ෂේත්‍රවල වැදගත් යෙදුම් අපේක්ෂාවන් ඇති අතර බ්‍රෝඩ්බෑන්ඩ් සන්නිවේදනය, සූර්ය බලශක්තිය, මෝටර් රථ නිෂ්පාදනය වැනි බොහෝ උපායමාර්ගික කර්මාන්තවල බලශක්ති අලාභය 50% කට වඩා අඩු කළ හැකිය. අර්ධ සන්නායක ආලෝකකරණය, සහ ස්මාර්ට් ජාලකය, සහ උපාංග පරිමාව 75% ට වඩා අඩු කළ හැකිය, එය සන්ධිස්ථානයක් වැදගත් වේ මානව විද්‍යාව හා තාක්ෂණයේ දියුණුව සඳහා.

Semicera බලශක්තියට පාරිභෝගිකයින්ට උසස් තත්ත්වයේ සන්නායක (සන්නායක), අර්ධ පරිවාරක (අර්ධ පරිවාරක), HPSI (ඉහළ සංශුද්ධතාවය අර්ධ පරිවාරක) සිලිකන් කාබයිඩ් උපස්ථරයක් ලබා දිය හැකිය; ඊට අමතරව, අපට පාරිභෝගිකයින්ට සමජාතීය සහ විෂමජාතීය සිලිකන් කාබයිඩ් epitaxial තහඩු ලබා දිය හැකිය; පාරිභෝගිකයින්ගේ නිශ්චිත අවශ්‍යතා අනුව අපට epitaxial පත්‍රය අභිරුචිකරණය කළ හැකි අතර අවම ඇණවුම් ප්‍රමාණයක් නොමැත.

මූලික නිෂ්පාදන පිරිවිතර

ප්රමාණය

 අඟල් 6
විෂ්කම්භය 150.0mm+0mm/-0.2mm
මතුපිට දිශානතිය අක්ෂය:4° දෙසට<1120>±0.5°
ප්‍රාථමික පැතලි දිග 47.5mm1.5 මි.මී
ප්‍රාථමික පැතලි දිශානතිය <1120>±1.0°
ද්විතියික මහල් නිවාසය කිසිවක් නැත
ඝනකම 350.0um±25.0um
පොලිටයිප් 4H
සන්නායක වර්ගය n-වර්ගය

ස්ඵටික තත්ත්ව පිරිවිතර

අඟල් 6
අයිතමය P-MOS ශ්රේණිය P-SBD ශ්‍රේණිය
ප්රතිරෝධකතාව 0.015Ω·cm-0.025Ω·cm
පොලිටයිප් කිසිවකට අවසර නැත
ක්ෂුද්ර නල ඝනත්වය ≤0.2/cm2 ≤0.5/cm2
ඊපීඩී ≤4000/cm2 ≤8000/cm2
TED ≤3000/cm2 ≤6000/cm2
BPD ≤1000/cm2 ≤2000/cm2
TSD ≤300/cm2 ≤1000/cm2
SF(UV-PL-355nm මගින් මනිනු ලැබේ) ≤0.5% ප්රදේශය ≤1% ප්රදේශය
ඉහළ තීව්රතා ආලෝකය මගින් හෙක්ස් තහඩු කිසිවකට අවසර නැත
ඉහළ තීව්රතා ආලෝකය මගින් දෘශ්ය කාබන් ඇතුළත් කිරීම් සමුච්චිත ප්‍රදේශය≤0.05%
微信截图_20240822105943

ප්රතිරෝධකතාව

පොලිටයිප්

6 lnch n-type sic උපස්ථරය (3)
6 lnch n-type sic උපස්ථරය (4)

BPD&TSD

6 lnch n-type sic උපස්ථරය (5)
SiC වේෆර්

  • පෙර:
  • ඊළඟ: