ඉහළ සංශුද්ධතාවය SiC වාහකය/Susceptor

කෙටි විස්තරය:

සිලිකන් කාබයිඩ් දරණ තැටිය SIC තැටි, සිලිකන් කාබයිඩ් කැටයම් තැටිය, ICP එචිං තැටිය ලෙසද හැඳින්වේ. LED කැටයම් සඳහා සිලිකන් කාබයිඩ් තැටි (SiC තැටි) φ600mm ගැඹුරු සිලිකන් කැටයම් සඳහා විශේෂ උපාංගයකි (ICP කැටයම් යන්ත්රය).

අපට විද්‍යුත් තැපෑල එවන්න

නිෂ්පාදන විස්තර

නිෂ්පාදන ටැග්

විස්තරය

සිලිකන් කාබයිඩ් පිඟන් මැටිවලට කාමර උෂ්ණත්වයේ දී ඉහළ ශක්තිය, ඉහළ දෘඪතාව, ඉහළ ඉලාස්ටික් මාපාංකය වැනි විශිෂ්ට යාන්ත්‍රික ගුණ ඇත, ඉහළ තාප සන්නායකතාව, අඩු තාප ප්‍රසාරණ සංගුණකය සහ හොඳ නිශ්චිත තද බව සහ දෘශ්‍ය වැනි විශිෂ්ට ඉහළ උෂ්ණත්ව ස්ථායීතාවයක් ද ඇත. සැකසුම් කාර්ය සාධනය.
ඒවා ප්‍රධාන වශයෙන් SiC වාහක/susceptor, SiC වේෆර් බෝට්ටුව, උරා බොන තැටිය, ජල සිසිලන තහඩුව, නිරවද්‍ය මිනුම් පරාවර්තකය, ග්‍රේටින් සහ අනෙකුත් සෙරමික් ව්‍යුහාත්මක කොටස් නිෂ්පාදනය සඳහා භාවිතා කරන ලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍ර වැනි සංයුක්ත පරිපථ උපකරණ සඳහා නිරවද්‍ය සෙරමික් කොටස් නිෂ්පාදනය කිරීම සඳහා විශේෂයෙන් සුදුසු වේ.

වාහකය2

වාහකය3

වාහකයා4

වාසි

ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්රතිරෝධය: සාමාන්ය භාවිතය 1800 ℃
ඉහළ තාප සන්නායකතාව: ග්රැෆයිට් ද්රව්යයට සමාන වේ
ඉහළ දෘඪතාව: දෘඪතාව දියමන්ති, බෝරෝන් නයිට්රයිඩ් වලට පමණක් දෙවැනි වේ
විඛාදන ප්‍රතිරෝධය: ශක්තිමත් අම්ලය සහ ක්ෂාර වලට විඛාදනයක් නොමැත, විඛාදන ප්‍රතිරෝධය ටංස්ටන් කාබයිඩ් සහ ඇලුමිනා වලට වඩා හොඳය.
සැහැල්ලු බර: අඩු ඝනත්වය, ඇලුමිනියම් සමීප
විරූපණයන් නොමැත: තාප ප්රසාරණයෙහි අඩු සංගුණකය
තාප කම්පන ප්රතිරෝධය: එය තියුණු උෂ්ණත්ව වෙනස්වීම් වලට ඔරොත්තු දිය හැකිය, තාප කම්පනයට ඔරොත්තු දෙන අතර ස්ථාවර කාර්ය සාධනයක් ඇත
Sic Eching carrier, ICP Eching susceptor වැනි සිලිකන් කාබයිඩ් වාහකය අර්ධ සන්නායක CVD, රික්තක ස්පුටරින් ආදියෙහි බහුලව භාවිතා වේ. අපට විවිධ යෙදුම් සපුරාලීම සඳහා පාරිභෝගිකයින්ට සිලිකන් සහ සිලිකන් කාබයිඩ් ද්‍රව්‍යවල අභිරුචි කළ වේෆර් වාහක ලබා දිය හැකිය.

වාසි

දේපල	වටිනාකම	ක්රමය
ඝනත්වය	3.21 g/cc	සින්ක්-පාවෙන සහ මානය
විශේෂිත තාපය	0.66 J/g °K	ස්පන්දිත ලේසර් ෆ්ලෑෂ්
Flexural ශක්තිය	450 MPa560 MPa	4 ලක්ෂ්‍ය වංගුව, RT4 ලක්ෂ්‍ය වංගුව, 1300°
අස්ථි බිඳීම	2.94 MPa m1/2	ක්ෂුද්‍ර ඉන්ඩෙන්ටේෂන්
දැඩි බව	2800	විකර්, ග්රෑම් 500 බර
ඉලාස්ටික් මාපාංකයංගේ මොඩියුලය	450 GPa430 GPa	4 pt වංගුව, RT4 pt වංගුව, 1300 °C
ධාන්ය ප්රමාණය	2 - 10 µm	SEM

සමාගම් පැතිකඩ

WeiTai Energy Technology Co., Ltd යනු උසස් අර්ධ සන්නායක පිඟන් භාණ්ඩවල ප්‍රමුඛතම සැපයුම්කරුවෙකු වන අතර ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් (විශේෂයෙන් ප්‍රතික්‍රියාකරනය කරන ලද SiC) සහ CVD SiC ආලේපනය එකවර සැපයිය හැකි චීනයේ එකම නිෂ්පාදකයා වේ. මීට අමතරව, අපගේ සමාගම ඇලුමිනා, ඇලුමිනියම් නයිට්‍රයිඩ්, සර්කෝනියා සහ සිලිකන් නයිට්‍රයිඩ් වැනි සෙරමික් ක්ෂේත්‍ර සඳහා ද කැපවී සිටී.

අපගේ ප්‍රධාන නිෂ්පාදන ඇතුළුව: සිලිකන් කාබයිඩ් කැටයම් තැටිය, සිලිකන් කාබයිඩ් බෝට්ටු ඇදගෙන යාම, සිලිකන් කාබයිඩ් වේෆර් බෝට්ටුව (ප්‍රකාශ වෝල්ටීයතා සහ අර්ධ සන්නායක), සිලිකන් කාබයිඩ් උදුන නළය, සිලිකන් කාබයිඩ් කැන්ටිලිවර් පැඩලය, සිලිකන් කාබයිඩ් චක්, සිලිකන් කාබයිඩ් කදම්භ සහ CVDC සහ CVD සී. ආලේපනය. ප්‍රධාන වශයෙන් අර්ධ සන්නායක සහ ප්‍රකාශ වෝල්ටීයතා කර්මාන්තවල භාවිතා වන නිෂ්පාදන, එනම් ස්ඵටික වර්ධනය සඳහා උපකරණ, epitaxy, Etching, ඇසුරුම්, ආලේපන සහ විසරණ ඌෂ්මක ආදිය.
(2) පමණ