SiC වේෆර් බෝට්ටුව
සිලිකන් කාබයිඩ් වේෆර් බෝට්ටුවප්‍රධාන වශයෙන් සූර්ය සහ අර්ධ සන්නායක විසරණ ක්‍රියාවලීන්හි භාවිතා වන වේෆර් සඳහා බර දරණ උපාංගයකි. එහි ඇඳුම් ප්රතිරෝධය, විඛාදන ප්රතිරෝධය, අධි-උෂ්ණත්ව බලපෑම් ප්රතිරෝධය, ප්ලාස්මා බෝම්බ හෙලීමට ප්රතිරෝධය, ඉහළ උෂ්ණත්වය දරා ගැනීමේ හැකියාව, ඉහළ තාප සන්නායකතාවය, ඉහළ තාප විසර්ජනය සහ නැමීමට සහ විකෘති කිරීමට පහසු නොවන දිගු කාලීන භාවිතය වැනි ලක්ෂණ ඇත. අපගේ සමාගම සේවා කාලය සහතික කිරීම සඳහා ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් සිලිකන් කාබයිඩ් ද්රව්ය භාවිතා කරන අතර ඇතුළුව අභිරුචි කළ මෝස්තර සපයයි. විවිධ සිරස් සහ තිරස්වේෆර් බෝට්ටුව.
SiC Paddle
දසිලිකන් කාබයිඩ් කැන්ටිලිවර් පැඩලයසිලිකන් වේෆර්වල (විසරණ) ආලේපනය සඳහා ප්රධාන වශයෙන් භාවිතා වන අතර එය ඉහළ උෂ්ණත්වයකදී සිලිකන් වේෆර් පැටවීම සහ ප්‍රවාහනය කිරීමේදී තීරණාත්මක කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි. එය ප්රධාන සංරචකයකිඅර්ධ සන්නායක වේෆර්පැටවීමේ පද්ධති සහ පහත ප්රධාන ලක්ෂණ ඇත:
1. එය ඉහළ උෂ්ණත්ව පරිසරයන් තුළ විකෘති නොවන අතර වේෆර් මත ඉහළ පැටවීමේ බලයක් ඇත;
2. එය අධික සීතල හා වේගවත් තාපයට ඔරොත්තු දෙන අතර දිගු සේවා කාලය ඇත;
3. තාප ප්රසාරණ සංගුණකය කුඩා වන අතර, නඩත්තු කිරීම සහ පිරිසිදු කිරීමේ චක්රය විශාල වශයෙන් දිගු කිරීම සහ දූෂක ද්රව්ය සැලකිය යුතු ලෙස අඩු කරයි.
SiC උදුන නළය
සිලිකන් කාබයිඩ් ක්රියාවලිය නල, ලෝහමය අපද්‍රව්‍ය නොමැතිව අධි-පිරිසිදු SiC වලින් සාදන ලද, වේෆරය දූෂණය නොකරන අතර, අර්ධ සන්නායක සහ ප්‍රකාශ වෝල්ටීයතා විසරණය, ඇනීලනය සහ ඔක්සිකරණ ක්රියාවලිය වැනි ක්‍රියාවලීන් සඳහා සුදුසු වේ.
SiC Robot Arm
SiC රොබෝ අත, wafer transfer end effector ලෙසද හැඳින්වෙන, අර්ධ සන්නායක වේෆර් ප්‍රවාහනය සඳහා භාවිතා කරන රොබෝ අතක් වන අතර අර්ධ සන්නායක, දෘශ්‍ය ඉලෙක්ට්‍රොනික සහ සූර්ය බලශක්ති කර්මාන්තවල බහුලව භාවිතා වේ. ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් සිලිකන් කාබයිඩ් භාවිතා කිරීම, ඉහළ දෘඪතාව, ඇඳුම් ප්රතිරෝධය, භූ කම්පන ප්රතිරෝධය, විරූපණයකින් තොරව දිගු කාලීන භාවිතය, දිගු සේවා කාලය, යනාදිය අභිරුචි කළ සේවාවන් සැපයිය හැකිය.
ස්ඵටික වර්ධනය සඳහා ග්රැෆයිට්
ග්රැෆයිට් තාප පලිහ
ග්රැෆයිට් ඉලෙක්ට්රෝඩ නළය
ග්රැෆයිට් පරාවර්තකය
ග්රැෆයිට් චක්
වැඩෙන අර්ධ සන්නායක crvstals සඳහා භාවිතා කරන සියලුම ක්‍රියාවලීන් ඉහළ උෂ්ණත්ව හා විඛාදන පරිසරවල ක්‍රියාත්මක වේ. ස්ඵටික වර්ධන උදුනෙහි උණුසුම් කලාපය සාමාන්යයෙන් තාප ප්රතිරෝධක සහ විඛාදනයට ඔරොත්තු දෙන ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුක්ත වේ. ග්රැෆයිට් හීටර්, ක්‍රූසිබල්, සිලින්ඩර්, ඩිෆ්ලෙක්ටර්, චක්, ටියුබ්, මුදු, රඳවනයන්, ඇට වර්ග වැනි මිනිරන් සංරචක අපගේ නිමි භාණ්ඩයට 5ppm ට වඩා අඩු අළු අන්තර්ගතයක් ලබා ගත හැක.
Semidonductor Epitaxy සඳහා මිනිරන්
ග්රැෆයිට් පදනම
Graphite Epitaxial බැරලය
Monocry Stalline Silicon Epitaxial පදනම
MOCVD ග්රැෆයිට් කොටස්
අර්ධ සන්නායක ග්රැෆයිට් සවිකිරීම
Epitaxial ක්රියාවලිය යනු උපස්ථරයට සමාන දැලිස් සැකැස්මක් සහිත තනි ස්ඵටික උපස්ථරයක් මත තනි ස්ඵටික ද්‍රව්‍යයක් වර්ධනය වීමයි. එයට SIC ආලේපනය සහිත අතිශය ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් මිනිරන් කොටස් සහ මිනිරන් පදනමක් අවශ්‍ය වේ. අර්ධ සන්නායක epitaxy සඳහා භාවිතා කරන ඉහළ සංශුද්ධතාවයේ මිනිරන් පුළුල් පරාසයක යෙදුම් ඇති අතර, කර්මාන්තයේ බහුලව භාවිතා වන උපකරණවලට ගැලපේ, ඒ අතරම, එය අතිශයින් ඉහළ ය. සංශුද්ධතාවය, ඒකාකාර ආලේපනය, විශිෂ්ට සේවා කාලය, සහ අතිශය ඉහළ රසායනික ප්රතිරෝධය සහ තාප ස්ථායීතාවය.
පරිවාරක ද්රව්ය සහ වෙනත්
අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී භාවිතා වන තාප පරිවාරක ද්රව්ය මිනිරන් දෘඩ, මෘදු හැඟීම්, මිනිරන් තීරු, කාබන් සංයුක්ත ද්රව්ය යනාදිය වේ. අපගේ අමුද්‍රව්‍ය ආනයනය කරන ලද මිනිරන් ද්රව්ය වන අතර ඒවා පාරිභෝගිකයින්ගේ පිරිවිතරයන්ට අනුව කපා ගත හැකි අතර ඒවා ලෙසද අලෙවි කළ හැකිය. සම්පූර්ණ. කාබන් සංයුක්ත ද්රව්ය සාමාන්යයෙන් සූර්ය මොනොක්‍රිස්ටල් සහ පොලිසිලිකන් සෛල නිෂ්පාදන ක්රියාවලිය සඳහා වාහකයක් ලෙස භාවිතා කරයි.