Semicera විවිධ සංරචක සහ වාහකයන් සඳහා විශේෂිත ටැන්ටලම් කාබයිඩ් (TaC) ආලේපන සපයයි.Semicera ප්‍රමුඛ ආෙල්පන ක්‍රියාවලිය ටැන්ටලම් කාබයිඩ් (TaC) ආෙල්පනවලට ඉහළ සංශුද්ධතාවය, ඉහළ උෂ්ණත්ව ස්ථායීතාව සහ ඉහළ රසායනික ඉවසීම ලබා ගැනීමට හැකියාව ලබා දෙයි, SIC/GAN ස්ඵටිකවල සහ EPI ස්ථරවල නිෂ්පාදන ගුණත්වය වැඩි දියුණු කරයි (ග්රැෆයිට් ආලේපිත TaC susceptor), සහ ප්රධාන ප්රතික්රියාකාරක සංරචකවල ආයු කාලය දීර්ඝ කිරීම. ටැන්ටලම් කාබයිඩ් TaC ආලේපනය භාවිතා කිරීම දාර ගැටලුව විසඳීම සහ ස්ඵටික වර්ධනයේ ගුණාත්මක භාවය වැඩිදියුණු කිරීම සඳහා වන අතර, Semicera විසින් ජාත්‍යන්තර උසස් මට්ටමට ළඟා වෙමින් ටැන්ටලම් කාබයිඩ් ආලේපන තාක්ෂණය (CVD) විසඳා ඇත.
ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ටැන්ටලම් කාබන් ආලේපිත වළලු, අභ්‍යවකාශ, රසායනික, අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන සහ අනෙකුත් ක්ෂේත්‍රවල විශේෂ උපකරණ සහ පද්ධතිවල බහුලව භාවිතා වේ. ඒවා සාමාන්‍යයෙන් ඉහළ උෂ්ණත්ව හා විඛාදන පරිසරයන් තුළ මුද්‍රා තැබීම සහ සම්ප්‍රේෂණය සඳහා භාවිතා කරනු ලැබේ, විශ්වාසදායක කාර්ය සාධනය සහ දිගු ආයු කාලයක් ලබා දීම, උපකරණවල ස්ථාවර ක්‍රියාකාරිත්වය සහ නිෂ්පාදන ගුණාත්මකභාවය සහතික කිරීම.
ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ටැන්ටලම් කාබන් ආලේපිත වළලු වල ලක්ෂණ පහත පරිදි වේ:
1. ඉහළ උෂ්ණත්ව ස්ථායීතාව: ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ටැන්ටලම් කාබන් ආලේපිත වළලුවලට ඉහළ උෂ්ණත්ව පරිසරයන් තුළ ව්‍යුහාත්මක ස්ථායීතාවයක් පවත්වා ගත හැකි අතර ඉහළ උෂ්ණත්ව තත්ත්වයන්ට ඔරොත්තු දිය යුතු යෙදුම් සඳහා සුදුසු ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්රතිරෝධයක් ඇත.
2. විඛාදන ප්‍රතිරෝධය: ටැන්ටලම් ද්‍රව්‍යයටම හොඳ විඛාදන ප්රතිරෝධයක් ඇති අතර, මතුපිට පිහිටුවා ඇති ටැන්ටලම් කාබයිඩ් ආලේපනය එහි විඛාදන ප්‍රතිරෝධය තවදුරටත් වැඩි කරන අතර විවිධ රසායනික ද්‍රව්‍ය සහ ද්‍රාවක ඛාදනය වීමට ප්‍රතිරෝධය දැක්විය හැක.
3. ප්‍රතිරෝධය පළඳින්න: ටැන්ටලම් කාබයිඩ් ආලේපනය ඉහළ දෘඪතාවක් සහ ඇඳුම් ප්රතිරෝධයක් ඇති අතර, ඝර්ෂණ සහ ඇඳුම් පරිසරය තුළ හොඳ කාර්ය සාධනයක් පවත්වා ගත හැකි අතර සේවා කාලය දීර්ඝ කරයි.
4. විශිෂ්ට මුද්‍රා තැබීමේ කාර්ය සාධනය: ඉහළ සංශුද්ධතාවයෙන් යුත් ටැන්ටලම් කාබන් ආලේපිත මුදු හොඳ මුද්‍රා තැබීමේ කාර්ය සාධනයක් ඇති අතර, වායු හෝ ද්‍රව කාන්දු වීම ඵලදායි ලෙස වළක්වා ගත හැකි අතර ඉහළ මුද්‍රා තැබීමේ අවශ්‍යතා සහිත යෙදුම් අවස්ථා සඳහා සුදුසු වේ.
TaC සමඟ සහ නැතිව
TaC භාවිතා කිරීමෙන් පසු (දකුණ)
එපමණක් නොව, සෙමිසෙරාගේTaC ආලේපිත නිෂ්පාදනහා සසඳන විට දිගු සේවා කාලය සහ වැඩි ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්රතිරෝධයක් පෙන්නුම් කරයිSiC ආලේපන.රසායනාගාර මිනුම් අපගේ බව පෙන්නුම් කර ඇතTaC ආලේපනදිගු කාලයක් සඳහා සෙල්සියස් අංශක 2300 දක්වා උෂ්ණත්වවලදී අඛණ්ඩව සිදු කළ හැක. අපගේ සාම්පල සඳහා උදාහරණ කිහිපයක් පහත දැක්වේ:
