සමස්ථිතික PECVD ග්‍රැෆයිට් බෝට්ටුව

SEMICERA isostatic PECVD මිනිරන් බෝට්ටුව යනු PECVD (ප්ලාස්මා වැඩිදියුණු කරන ලද රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීමේ) ක්‍රියාවලියේදී වේෆර් ආධාරක සඳහා නිර්මාණය කර ඇති ඉහළ සංශුද්ධතාවය, අධි-ඝනත්ව මිනිරන් නිෂ්පාදනයකි. අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේදී අත්‍යවශ්‍ය පරිභෝජනයක් වන ග්‍රැෆයිට් බෝට්ටුවට විශිෂ්ට ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්‍රතිරෝධයක්, විඛාදන ප්‍රතිරෝධයක්, මාන ස්ථායීතාවයක් සහ හොඳ තාප සන්නායකතාවයක් ඇති බව සහතික කිරීම සඳහා SEMICERA උසස් සමස්ථානික පීඩන තාක්ෂණය භාවිතා කරයි.

SEMICERA isostatic PECVD මිනිරන් බෝට්ටුවට පහත වාසි ඇත:

▪ ඉහළ සංශුද්ධතාවය: මිනිරන් ද්‍රව්‍ය වේෆර් මතුපිට දූෂණය වීම වළක්වා ගැනීම සඳහා ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් සහ අඩු අපිරිසිදු අන්තර්ගතයකින් යුක්ත වේ.

▪ අධික ඝනත්වය: අධික ඝනත්වය, ඉහළ යාන්ත්රික ශක්තිය, අධික උෂ්ණත්වය සහ අධික රික්ත පරිසරයට ඔරොත්තු දිය හැකිය.

▪ යහපත් මාන ස්ථායිතාව: ක්‍රියාවලි ස්ථායීතාවය සහතික කිරීම සඳහා ඉහළ උෂ්ණත්වයකදී කුඩා මාන වෙනසක්.

▪ විශිෂ්ට තාප සන්නායකතාව: වේෆර් අධික උනුසුම් වීම වැළැක්වීම සඳහා තාපය ඵලදායී ලෙස මාරු කිරීම.

▪ ශක්තිමත් විඛාදන ප්‍රතිරෝධය: විවිධ විඛාදන වායූන් සහ ප්ලාස්මා මගින් ඛාදනය වීමට ප්‍රතිරෝධය දැක්වීමට හැකියාව ඇත.

අපව තෝරා ගැනීමේ වාසි:
▪ ද්‍රව්‍ය තෝරාගැනීම: නිෂ්පාදනයේ ගුණාත්මක බව සහතික කිරීම සඳහා ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් මිනිරන් ද්‍රව්‍ය භාවිතා කරනු ලැබේ.
▪ සැකසුම් තාක්ෂණය: නිෂ්පාදන ඝනත්වය සහ ඒකාකාරී බව සහතික කිරීම සඳහා සමස්ථිතික එබීම භාවිතා කරයි.
▪ ප්‍රමාණයේ අභිරුචිකරණය: විවිධ ප්‍රමාණවලින් සහ හැඩයන්ගෙන් යුත් ග්‍රැෆයිට් බෝට්ටු පාරිභෝගික අවශ්‍යතා අනුව අභිරුචිකරණය කළ හැක.
▪ මතුපිට ප්‍රතිකාරය: විවිධ ක්‍රියාවලි අවශ්‍යතා සපුරාලීම සඳහා සිලිකන් කාබයිඩ්, බෝරෝන් නයිට්‍රයිඩ් ආලේප කිරීම වැනි විවිධ මතුපිට ප්‍රතිකාර ක්‍රම සපයනු ලැබේ.