නිෂ්පාදන රේඛාවේ ඉදිරිපස කෙළවරේ අත්තිවාරම දැමීම හා නිවසක බිත්ති ඉදි කිරීම වැනි ය. අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ දී, මෙම අදියර සිලිකන් වේෆරයක් මත මූලික ව්යුහයන් සහ ට්රාන්සිස්ටර නිර්මාණය කිරීම ඇතුළත් වේ.
FEOL හි ප්රධාන පියවර:
1. පිරිසිදු කිරීම:සිහින් සිලිකන් වේෆරයකින් ආරම්භ කර අපිරිසිදුකම ඉවත් කිරීමට එය පිරිසිදු කරන්න.
2. ඔක්සිකරණය:චිපයේ විවිධ කොටස් හුදකලා කිරීම සඳහා වේෆර් මත සිලිකන් ඩයොක්සයිඩ් ස්ථරයක් වර්ධනය කරන්න.
3. ඡායාරූප ශිලා ලේඛනය:ආලෝකය සමඟ බ්ලූපින්ට් ඇඳීමට සමාන, වේෆර් මත රටා කැටයම් කිරීමට ඡායාරූප ශිලා ලේඛනය භාවිතා කරන්න.
4. කැටයම් කිරීම:අපේක්ෂිත රටා හෙළි කිරීමට අනවශ්‍ය සිලිකන් ඩයොක්සයිඩ් ඉවත් කරන්න.
5. තහනම් උත්තේජක:ඕනෑම චිපයක මූලික තැනුම් ඒකකය වන ට්රාන්සිස්ටර නිර්මාණය කරමින් එහි විද්යුත් ගුණාංග වෙනස් කිරීමට සිලිකන් තුළට අපද්‍රව්‍ය හඳුන්වා දෙන්න.
රේඛාවේ මැද (MEOL): තිත් සම්බන්ධ කිරීම
නිෂ්පාදන රේඛාවේ මැද කෙළවර නිවසක රැහැන් සහ ජලනල සවි කිරීම වැනි ය. මෙම අදියර FEOL අදියරේදී නිර්මාණය කරන ලද ට්රාන්සිස්ටර අතර සම්බන්ධතා ස්ථාපනය කිරීම කෙරෙහි අවධානය යොමු කරයි.
MEOL හි ප්රධාන පියවර:
1. පාර විද්යුත් තැන්පත් වීම:ට්රාන්සිස්ටර ආරක්ෂා කිරීම සඳහා පරිවාරක ස්ථර (ඩයිලෙක්ට්‍රික් ලෙස හැඳින්වේ) තැන්පත් කරන්න.
2. සම්බන්ධතා පිහිටුවීම:ට්රාන්සිස්ටර එකිනෙක හා බාහිර ලෝකයට සම්බන්ධ කිරීමට සම්බන්ධතා සාදන්න.
3. අන්තර් සම්බන්ධක:බාධාවකින් තොර බලයක් සහ දත්ත ප්‍රවාහයක් සහතික කිරීම සඳහා නිවසක රැහැන් ඇදීම හා සමානව විදුලි සංඥා සඳහා මාර්ග නිර්මාණය කිරීමට ලෝහ ස්ථර එකතු කරන්න.
පේළියේ පිටුපස අවසානය (BEOL): අවසන් ස්පර්ශයන්
-
නිෂ්පාදන රේඛාවේ පිටුපස කෙළවර නිවසකට අවසාන ස්පර්ශයන් එකතු කිරීම වැනිය - සවිකිරීම් ස්ථාපනය කිරීම, පින්තාරු කිරීම සහ සියල්ල ක්‍රියාත්මක වන බව සහතික කිරීම. අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ දී, මෙම අදියර අවසන් ස්ථර එකතු කිරීම සහ ඇසුරුම් සඳහා චිප් සකස් කිරීම ඇතුළත් වේ.
BEOL හි ප්රධාන පියවර:
1. අතිරේක ලෝහ ස්ථර:අන්තර් සම්බන්ධතාව වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා බහු ලෝහ ස්ථර එකතු කරන්න, චිපයට සංකීර්ණ කාර්යයන් සහ අධික වේගයන් හැසිරවිය හැකි බව සහතික කරයි.
2. Passivation:චිපය පාරිසරික හානිවලින් ආරක්ෂා කිරීම සඳහා ආරක්ෂිත ස්ථර යොදන්න.
3. පරීක්ෂා කිරීම:එය සියලු පිරිවිතරයන් සපුරාලන බව සහතික කිරීම සඳහා චිපය දැඩි පරීක්ෂාවකට යටත් කරන්න.
4. ඩයිසිං:වේෆරය තනි චිප් වලට කපන්න, සෑම එකක්ම ඇසුරුම් කිරීමට සහ ඉලෙක්ට්‍රොනික උපාංගවල භාවිතා කිරීමට සූදානම්.
පසු කාලය: ජූලි-08-2024