රේඛාවේ ඉදිරිපස අන්තය (FEOL): අත්තිවාරම දැමීම

අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන නිෂ්පාදන රේඛාවල ඉදිරිපස, මැද සහ පසුපස කෙළවර

අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්රියාවලිය දළ වශයෙන් අදියර තුනකට බෙදිය හැකිය:
1) පේළියේ ඉදිරිපස කෙළවර
2) පේළියේ මැද අවසානය
3) පේළියේ පිටුපස අවසානය

චිප් නිෂ්පාදනයේ සංකීර්ණ ක්‍රියාවලිය ගවේෂණය කිරීම සඳහා අපට නිවසක් තැනීම වැනි සරල ප්‍රතිසමයක් භාවිතා කළ හැකිය:

නිෂ්පාදන රේඛාවේ ඉදිරිපස කෙළවරේ අත්තිවාරම දැමීම හා නිවසක බිත්ති ඉදි කිරීම වැනි ය. අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ දී, මෙම අදියර සිලිකන් වේෆරයක් මත මූලික ව්යුහයන් සහ ට්රාන්සිස්ටර නිර්මාණය කිරීම ඇතුළත් වේ.

FEOL හි ප්‍රධාන පියවර:

1.පිරිසිදු කිරීම: සිහින් සිලිකන් වේෆරයකින් ආරම්භ කර අපද්‍රව්‍ය ඉවත් කිරීමට එය පිරිසිදු කරන්න.
2. ඔක්සිකරණය: චිපයේ විවිධ කොටස් හුදකලා කිරීම සඳහා වේෆරය මත සිලිකන් ඩයොක්සයිඩ් ස්ථරයක් වර්ධනය කරන්න.
3.ඡායාරූප ශිලා ලේඛනය: ආලෝකයෙන් බ්ලූපින්ට් ඇඳීමට සමාන, වේෆරය මත රටා කැටයම් කිරීමට ඡායාරූප ශිලා විද්‍යාව භාවිතා කරන්න.
4.Etching: අපේක්ෂිත රටා හෙළි කිරීමට අනවශ්‍ය සිලිකන් ඩයොක්සයිඩ් ඉවත් කරන්න.
5.Doping: ඕනෑම චිපයක මූලික තැනුම් ඒකක වන ට්‍රාන්සිස්ටර නිර්මාණය කරමින් එහි විද්‍යුත් ගුණාංග වෙනස් කිරීම සඳහා සිලිකන් තුළට අපද්‍රව්‍ය හඳුන්වා දීම.

රේඛාවේ මැද (MEOL): තිත් සම්බන්ධ කිරීම

නිෂ්පාදන රේඛාවේ මැද කෙළවර නිවසක රැහැන් සහ ජලනල සවි කිරීම වැනි ය. මෙම අදියර FEOL අදියරේදී නිර්මාණය කරන ලද ට්රාන්සිස්ටර අතර සම්බන්ධතා ස්ථාපනය කිරීම කෙරෙහි අවධානය යොමු කරයි.

MEOL හි ප්රධාන පියවර:

1. පාර විද්‍යුත් තැන්පතු: ට්‍රාන්සිස්ටර ආරක්ෂා කිරීම සඳහා තැන්පතු පරිවාරක ස්ථර (පාර විද්‍යුත් ලෙස හැඳින්වේ).
2.සම්බන්ධතා සැකසීම: ට්‍රාන්සිස්ටර එකිනෙක හා බාහිර ලෝකයට සම්බන්ධ කිරීමට සම්බන්ධතා සාදන්න.
3.අන්තර් සම්බන්ධකය: බාධාවකින් තොරව බලය සහ දත්ත ගලායාම සහතික කිරීම සඳහා නිවසක රැහැන් ඇදීම හා සමානව විදුලි සංඥා සඳහා මාර්ග නිර්මාණය කිරීමට ලෝහ ස්ථර එකතු කරන්න.

පේළියේ පිටුපස අවසානය (BEOL): අවසන් ස්පර්ශයන්

නිෂ්පාදන රේඛාවේ පිටුපස කෙළවර නිවසකට අවසාන ස්පර්ශයන් එකතු කිරීම වැනිය - සවිකිරීම් ස්ථාපනය කිරීම, පින්තාරු කිරීම සහ සියල්ල ක්‍රියාත්මක වන බව සහතික කිරීම. අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ දී, මෙම අදියර අවසන් ස්ථර එකතු කිරීම සහ ඇසුරුම් සඳහා චිප් සකස් කිරීම ඇතුළත් වේ.

BEOL හි ප්‍රධාන පියවර:

1.අතිරේක ලෝහ ස්ථර: අන්තර් සම්බන්ධතාව වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා බහු ලෝහ ස්ථර එකතු කරන්න, චිපයට සංකීර්ණ කාර්යයන් සහ අධික වේගයන් හැසිරවිය හැකි බව සහතික කරයි.
2.Passivation: පරිසර හානියෙන් චිපය ආරක්ෂා කිරීම සඳහා ආරක්ෂිත ස්ථර යොදන්න.
3.පරීක්ෂා කිරීම: චිපය සියලු පිරිවිතරයන් සපුරාලන බව සහතික කිරීම සඳහා දැඩි පරීක්ෂාවකට යටත් කරන්න.
4. ඩයිසිං: වේෆරය තනි චිප් වලට කපා, එක් එක් ඇසුරුම් කිරීමට සහ ඉලෙක්ට්‍රොනික උපාංගවල භාවිතා කිරීමට සූදානම්.

Semicera යනු චීනයේ ප්‍රමුඛතම OEM නිෂ්පාදකයෙකි, අපගේ පාරිභෝගිකයින්ට සුවිශේෂී වටිනාකමක් ලබා දීමට කැපවී සිටී. අපි ඇතුළුව, උසස් තත්ත්වයේ නිෂ්පාදන සහ සේවා පුළුල් පරාසයක් පිරිනමන්නෙමු:

1.CVD SiC ආලේපනය(Epitaxy, අභිරුචි CVD-ආලේපිත කොටස්, අර්ධ සන්නායක යෙදුම් සඳහා ඉහළ කාර්ය සාධන ආලේපන, සහ තවත්)
2.CVD SiC තොග කොටස්(Etch මුදු, නාභිගත මුදු, අර්ධ සන්නායක උපකරණ සඳහා අභිරුචි SiC සංරචක, සහ තවත්)
3.CVD TaC ආලේපිත කොටස්(Epitaxy, SiC වේෆර් වර්ධනය, අධි-උෂ්ණත්ව යෙදුම්, සහ තවත්)
4.ග්රැෆයිට් කොටස්(මිනිරන් බෝට්ටු, ඉහළ උෂ්ණත්ව සැකසුම් සඳහා අභිරුචි මිනිරන් සංරචක, සහ තවත්)
5.SiC කොටස්(SiC බෝට්ටු, SiC උදුන නල, උසස් ද්රව්ය සැකසීම සඳහා අභිරුචි SiC සංරචක, සහ තවත්)
6.ක්වාර්ට්ස් කොටස්(ක්වාර්ට්ස් බෝට්ටු, අර්ධ සන්නායක සහ සූර්ය කර්මාන්ත සඳහා අභිරුචි ක්වාර්ට්ස් කොටස්, සහ තවත්)

විශිෂ්ටත්වය සඳහා අපගේ කැපවීම අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය, උසස් ද්‍රව්‍ය සැකසීම සහ අධි තාක්‍ෂණික යෙදුම් ඇතුළු විවිධ කර්මාන්ත සඳහා නව්‍ය සහ විශ්වාසනීය විසඳුම් සැපයීම සහතික කරයි. නිරවද්‍යතාවය සහ ගුණාත්මකභාවය කෙරෙහි අවධානය යොමු කරමින්, අපි එක් එක් පාරිභෝගිකයාගේ අද්විතීය අවශ්‍යතා සපුරාලීමට කැපවී සිටිමු.