ප්ලාස්මා කැටයම් උපකරණවල, සෙරමික් සංරචක ඇතුළුව තීරණාත්මක කාර්යභාරයක් ඉටු කරයිනාභිගත වළල්ල.ද නාභිගත වළල්ල, වේෆරය වටා තබා ඇති අතර එය සමඟ සෘජුව ස්පර්ශ වන අතර, වළල්ලට වෝල්ටීයතාවයක් යෙදීමෙන් ප්ලාස්මා වේෆරය මතට නාභිගත කිරීම සඳහා අත්යවශ්ය වේ. මෙය කැටයම් කිරීමේ ක්රියාවලියේ ඒකාකාරිත්වය වැඩි දියුණු කරයි.
Etching යන්ත්‍රවල SiC Focus Rings යෙදීම
SiC CVD සංරචකවැනි කැටයම් යන්ත්‍රවලනාභිගත මුදු, ගෑස් ෂවර් හෙඩ්ස්, ප්ලැටෙන්ස්, සහ දාර වළලු, ක්ලෝරීන් සහ ෆ්ලෝරීන් මත පදනම් වූ කැටයම් වායූන් සමඟ SiC හි අඩු ප්‍රතික්‍රියාකාරිත්වය සහ එහි සන්නායකතාවය හේතුවෙන් ප්‍රිය වේ, එය ප්ලාස්මා කැටයම් උපකරණ සඳහා කදිම ද්‍රව්‍යයක් බවට පත් කරයි.
ෆෝකස් රින්ග් ද්‍රව්‍යයක් ලෙස SiC හි වාසි
රික්ත ප්‍රතික්‍රියා කුටියේ ප්ලාස්මා සෘජුව නිරාවරණය වීම හේතුවෙන් ප්ලාස්මා ප්රතිරෝධී ද්‍රව්‍ය වලින් නාභිගත මුදු සෑදිය යුතුය. සිලිකන් හෝ ක්වාර්ට්ස් වලින් සාදන ලද සාම්ප්‍රදායික නාභිගත මුදු, ෆ්ලෝරීන් මත පදනම් වූ ප්ලාස්මා වල දුර්වල කැටයම් ප්‍රතිරෝධයෙන් පීඩා විඳිමින් වේගවත් විඛාදනයට සහ අඩු කාර්යක්ෂමතාවයට තුඩු දෙයි.
Si සහ CVD SiC Focus Rings අතර සංසන්දනය:
1. වැඩි ඝනත්වය:කැටයම් පරිමාව අඩු කරයි.
2. පුළුල් කලාප පරතරය: විශිෂ්ට පරිවරණයක් සපයයි.
3. ඉහළ තාප සන්නායකතාව සහ අඩු ප්‍රසාරණ සංගුණකය: තාප කම්පනයට ප්රතිරෝධී වේ.
4. ඉහළ ප්රත්යාස්ථතාව:යාන්ත්රික බලපෑමට හොඳ ප්රතිරෝධයක්.
5. ඉහළ දෘඪතාව: ඇඳීම සහ විඛාදනයට ඔරොත්තු දෙන.
අයනික කැටයම් වලට ඉහල ප්රතිරෝධයක් ලබා දෙන අතරම SiC සිලිකන් වල විද්‍යුත් සන්නායකතාවය බෙදා ගනී. ඒකාබද්ධ පරිපථ කුඩා කිරීම ප්‍රගතිශීලී වන විට, වඩාත් කාර්යක්ෂම කැටයම් ක්‍රියාවලීන් සඳහා ඇති ඉල්ලුම වැඩිවේ. ප්ලාස්මා කැටයම් උපකරණ, විශේෂයෙන්ම ධාරිත්‍රක යුගල ප්ලාස්මා (CCP) භාවිතා කරන උපකරණ, සෑදීම සඳහා ඉහළ ප්ලාස්මා ශක්තියක් අවශ්‍ය වේ.SiC නාභිගත නාද වේවැඩි වැඩියෙන් ජනප්රියයි.
Si සහ CVD SiC Focus Ring පරාමිතීන්:
| පරාමිතිය | සිලිකන් (Si) | CVD සිලිකන් කාබයිඩ් (SiC) |
| ඝනත්වය (g/cm³) | 2.33 | 3.21 |
| කලාප පරතරය (eV) | 1.12 | 2.3 |
| තාප සන්නායකතාව (W/cm°C) | 1.5 | 5 |
| තාප ප්‍රසාරණ සංගුණකය (x10⁻⁶/°C) | 2.6 | 4 |
| ඉලාස්ටික් මාපාංකය (GPa) | 150 | 440 |
| දැඩි බව | පහත් | උසස් |
SiC Focus Rings නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලිය
අර්ධ සන්නායක උපකරණවල, SiC සංරචක නිෂ්පාදනය කිරීම සඳහා CVD (රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීම) බහුලව භාවිතා වේ. ෆෝකස් මුදු නිපදවනු ලබන්නේ වාෂ්ප තැන්පත් කිරීම හරහා SiC නිශ්චිත හැඩතලවලට තැන්පත් කිරීමෙනි, අනතුරුව යාන්ත්රික සැකසුම් මඟින් අවසාන නිෂ්පාදනය සෑදේ. වාෂ්ප තැන්පත් වීම සඳහා ද්‍රව්‍ය අනුපාතය විස්තීර්ණ අත්හදා බැලීමකින් පසු ස්ථාවර වන අතර, ප්‍රතිරෝධය වැනි පරාමිතීන් අනුකූල වේ. කෙසේ වෙතත්, විවිධ කැටයම් උපකරණ සඳහා විවිධ ප්‍රතිරෝධක සහිත නාභිගත මුදු අවශ්‍ය විය හැකි අතර, එක් එක් පිරිවිතර සඳහා නව ද්‍රව්‍ය අනුපාත අත්හදා බැලීම් අවශ්‍ය වේ, එය කාලය ගතවන සහ මිල අධික වේ.
තෝරා ගැනීමෙන්SiC නාභිගත නාද වේසිටසෙමිසෙරා අර්ධ සන්නායක, පාරිභෝගිකයින්ට පිරිවැයේ සැලකිය යුතු වැඩි වීමක් නොමැතිව දිගු ආදේශන චක්‍රවල සහ උසස් ක්‍රියාකාරීත්වයේ ප්‍රතිලාභ අත්කර ගත හැකිය.
වේගවත් තාප සැකසුම් (RTP) සංරචක
CVD SiC හි සුවිශේෂී තාප ගුණාංග එය RTP යෙදුම් සඳහා වඩාත් සුදුසු වේ. දාර වළලු සහ ප්ලේටන් ඇතුළු RTP සංරචක, CVD SiC වෙතින් ප්‍රතිලාභ ලබයි. RTP අතරතුර, තීව්‍ර තාප ස්පන්දන කෙටි කාලීන සඳහා තනි වේෆර් සඳහා යොදනු ලැබේ, පසුව වේගවත් සිසිලනය. CVD SiC දාර වළලු, සිහින් වීම සහ අඩු තාප ස්කන්ධයක් තිබීම, සැලකිය යුතු තාපයක් රඳවා නොගන්නා අතර, වේගවත් උනුසුම් සහ සිසිලන ක්‍රියාවලීන්ගෙන් ඒවාට බලපෑමක් සිදු නොවේ.
ප්ලාස්මා කැටයම් සංරචක
CVD SiC හි ඉහළ රසායනික ප්‍රතිරෝධය එය කැටයම් යෙදීම් සඳහා සුදුසු වේ. බොහෝ කැටයම් කුටි, ප්ලාස්මා විසුරුම සඳහා කුඩා සිදුරු දහස් ගණනක් අඩංගු කැටයම් වායූන් බෙදා හැරීම සඳහා CVD SiC වායු බෙදා හැරීමේ තහඩු භාවිතා කරයි. විකල්ප ද්‍රව්‍ය හා සසඳන විට, CVD SiC ක්ලෝරීන් සහ ෆ්ලෝරීන් වායු සමඟ අඩු ප්‍රතික්‍රියාකාරිත්වයක් ඇත. වියළි කැටයම් කිරීමේදී, නාභිගත මුදු, ICP ප්ලේටන්ස්, මායිම් වළලු සහ ෂවර් හෙඩ්ස් වැනි CVD SiC සංරචක බහුලව භාවිතා වේ.
ප්ලාස්මා නාභිගත කිරීම සඳහා යොදන වෝල්ටීයතාවයක් සහිත SiC නාභිගත මුදු ප්‍රමාණවත් සන්නායකතාවක් තිබිය යුතුය. සාමාන්‍යයෙන් සිලිකන් වලින් සාදා ඇති, නාභිගත මුදු ෆ්ලෝරීන් සහ ක්ලෝරීන් අඩංගු ප්‍රතික්‍රියාශීලී වායූන්ට නිරාවරණය වන අතර එය නොවැළැක්විය හැකි විඛාදනයට තුඩු දෙයි. SiC නාභිගත මුදු, ඒවායේ උසස් විඛාදන ප්‍රතිරෝධය, සිලිකන් වළලු හා සසඳන විට දිගු ආයු කාලයක් ලබා දෙයි.
ජීවන චක්‍රය සංසන්දනය:
· SiC නාභිගත වළලු:සෑම දින 15 සිට 20 දක්වා ප්රතිස්ථාපනය වේ.
· සිලිකන් නාභිගත මුදු:සෑම දින 10 සිට 12 දක්වා ප්රතිස්ථාපනය වේ.
SiC මුදු සිලිකන් මුදු වලට වඩා 2 සිට 3 ගුණයකින් මිල අධික වුවද, විස්තීරණ ප්‍රතිස්ථාපන චක්‍රය සමස්ත සංරචක ප්‍රතිස්ථාපන පිරිවැය අඩු කරයි, මන්ද යත් නාභිගත මුදු ප්රතිස්ථාපනය සඳහා කුටිය විවෘත කරන විට කුටියේ ඇති සියලුම ඇඳුම් කොටස් එකවර ප්රතිස්ථාපනය වේ.
Semicera Semiconductor's SiC Focus Rings
Semicera Semiconductor විසින් SiC නාභිගත මුදු සිලිකන් වළලුවලට ආසන්න මිල ගණන් යටතේ, ආසන්න වශයෙන් දින 30ක ප්‍රමුඛ කාලයක් සහිතව ලබා දෙයි. Semicera's SiC නාභිගත මුදු ප්ලාස්මා කැටයම් උපකරණවලට ඒකාබද්ධ කිරීමෙන්, කාර්යක්ෂමතාව සහ දීර්ඝ ආයුෂ සැලකිය යුතු ලෙස වැඩිදියුණු වන අතර, සමස්ත නඩත්තු වියදම් අඩු කිරීම සහ නිෂ්පාදන කාර්යක්ෂමතාව ඉහළ නංවයි. අමතර වශයෙන්, Semicera හට විශේෂිත පාරිභෝගික අවශ්‍යතා සපුරාලීම සඳහා නාභිගත මුදු වල ප්‍රතිරෝධය අභිරුචිකරණය කළ හැක.
Semicera Semiconductor වෙතින් SiC නාභිගත මුදු තෝරා ගැනීමෙන්, පාරිභෝගිකයින්ට පිරිවැයෙහි සැලකිය යුතු වැඩි වීමක් නොමැතිව දිගු ප්‍රතිස්ථාපන චක්‍රවල සහ උසස් ක්‍රියාකාරීත්වයේ ප්‍රතිලාභ ලබා ගත හැක.
පසු කාලය: ජූලි-10-2024