අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ නව ප්‍රවණතා: ආරක්ෂිත ආලේපන තාක්ෂණයේ යෙදීම

අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තය පෙර නොවූ විරූ වර්ධනයක් අත්විඳිමින් සිටී, විශේෂයෙන් ක්ෂේත්‍රයේසිලිකන් කාබයිඩ් (SiC)බලශක්ති ඉලෙක්ට්රොනික උපකරණ. බොහෝ මහා පරිමාණයන් සමඟවේෆර්විද්‍යුත් වාහනවල SiC උපාංග සඳහා ඉහළ යන ඉල්ලුම සපුරාලීම සඳහා ඉදිකිරීම් හෝ ව්‍යාප්තිය සිදු කරමින් සිටින fabs, මෙම උත්පාතය ලාභ වර්ධනය සඳහා කැපී පෙනෙන අවස්ථා ඉදිරිපත් කරයි. කෙසේ වෙතත්, එය නව්‍ය විසඳුම් ඉල්ලා සිටින අද්විතීය අභියෝග ද ගෙන එයි.

ගෝලීය SiC චිප් නිෂ්පාදනය වැඩි කිරීමේ හදවතෙහි පවතින්නේ උසස් තත්ත්වයේ SiC ස්ඵටික, වේෆර් සහ epitaxial ස්ථර නිෂ්පාදනයයි. මෙතන,අර්ධ සන්නායක ශ්රේණියේ මිනිරන්ද්‍රව්‍ය ප්‍රධාන කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි, SiC ස්ඵටික වර්ධනයට සහ SiC epitaxial ස්ථර තැන්පත් කිරීමට පහසුකම් සපයයි. ග්‍රැෆයිට්හි තාප පරිවරණය සහ නිෂ්ක්‍රීය බව එය වඩාත් කැමති ද්‍රව්‍යයක් බවට පත් කරයි, එය ක්‍රූසිබල්, පීඩෙස්ටල්, ග්‍රහලෝක තැටි සහ ස්ඵටික වර්ධනය සහ එපිටැක්සි පද්ධති තුළ චන්ද්‍රිකා සඳහා බහුලව භාවිතා වේ. එසේ වුවද, දැඩි ක්‍රියාවලි තත්ත්වයන් සැලකිය යුතු අභියෝගයක් වන අතර, මිනිරන් කොටස් ශීඝ්‍රයෙන් පිරිහීමට තුඩු දෙන අතර පසුව උසස් තත්ත්වයේ SiC ස්ඵටික සහ epitaxial ස්ථර නිෂ්පාදනයට බාධා කරයි.

සිලිකන් කාබයිඩ් ස්ඵටික නිෂ්පාදනය සෙල්සියස් අංශක 2000 ඉක්මවන උෂ්ණත්වයන් සහ අධික ලෙස විඛාදන වායු ද්රව්ය ඇතුළු අතිශය දරුණු ක්රියාවලි තත්වයන් ඇති කරයි. මෙය බොහෝ විට ක්‍රියාවලි චක්‍ර කිහිපයකට පසු ග්‍රැෆයිට් කෲසිබල්වල සම්පූර්ණ විඛාදනයට හේතු වන අතර එමඟින් නිෂ්පාදන පිරිවැය ඉහළ යයි. මීට අමතරව, දැඩි තත්ත්‍වයන් ග්‍රැෆයිට් සංරචකවල මතුපිට ගුණාංග වෙනස් කරයි, නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේ පුනරාවර්තන හැකියාව සහ ස්ථායීතාවය අඩාල කරයි.

මෙම අභියෝගවලට සාර්ථකව මුහුණ දීම සඳහා ආරක්ෂිත ආලේපන තාක්ෂණය ක්‍රීඩාව වෙනස් කරන්නෙකු ලෙස මතු වී ඇත. මත පදනම් වූ ආරක්ෂිත ආලේපනටැන්ටලම් කාබයිඩ් (TaC)මිනිරන් සංරචක හායනය සහ මිනිරන් සැපයුම් හිඟය පිළිබඳ ගැටළු විසඳීම සඳහා හඳුන්වා දී ඇත. TaC ද්‍රව්‍ය 3800°C ඉක්මවන ද්‍රවාංක උෂ්ණත්වයක් සහ සුවිශේෂී රසායනික ප්‍රතිරෝධයක් පෙන්නුම් කරයි. රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීමේ (CVD) තාක්ෂණය භාවිතා කිරීම,TaC ආලේපනමිලිමීටර 35 දක්වා ඝණකම සහිත මිනිරන් සංරචක මත බාධාවකින් තොරව තැන්පත් කළ හැක. මෙම ආරක්ෂිත ස්ථරය ද්රව්යමය ස්ථාවරත්වය වැඩි දියුණු කිරීම පමණක් නොව, මිනිරන් සංරචකවල ආයු කාලය සැලකිය යුතු ලෙස දිගු කරයි, ප්රතිඵලයක් ලෙස නිෂ්පාදන පිරිවැය අඩු කිරීම සහ මෙහෙයුම් කාර්යක්ෂමතාව වැඩි කිරීම.

හි ප්‍රමුඛ සැපයුම්කරුවෙකු වන සෙමිසෙරාTaC ආලේපන, අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ විප්ලවීය වෙනසක් ඇති කිරීමට උපකාරී වී ඇත. එහි අති නවීන තාක්‍ෂණය සහ ගුණාත්මකභාවය සඳහා නොසැලෙන කැපවීම සමඟින්, Semicera අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදකයින්ට තීරණාත්මක අභියෝග ජය ගැනීමට සහ සාර්ථකත්වයේ නව උසකට ළඟා වීමට හැකියාව ලබා දී ඇත. අසමසම කාර්ය සාධනය සහ විශ්වසනීයත්වය සමඟ TaC ආලේපන ලබා දීමෙන්, Semicera ලොව පුරා අර්ධ සන්නායක සමාගම් සඳහා විශ්වාසදායක හවුල්කරුවෙකු ලෙස එහි ස්ථානය තහවුරු කර ඇත.

අවසාන වශයෙන්, ආරක්ෂිත ආලේපන තාක්ෂණය, වැනි නවෝත්පාදනයන් මගින් බල ගැන්වේTaC ආලේපනSemicera වෙතින්, අර්ධ සන්නායක භූ දර්ශනය නැවත හැඩගස්වා වඩාත් කාර්යක්ෂම සහ තිරසාර අනාගතයක් සඳහා මග පාදයි.