Epitaxial Wafer සැකසුම් තුළ එහි තීරණාත්මක කාර්යභාරය ගවේෂණය කිරීම
උසස් අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ Epi වාහකයන්ගේ වැදගත්කම අවබෝධ කර ගැනීම
අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තය තුළ, උසස් තත්ත්වයේ epitaxial (epi) නිෂ්පාදනයවේෆර්ට්‍රාන්සිස්ටර, ඩයෝඩ සහ අනෙකුත් ඉලෙක්ට්‍රොනික උපාංග වැනි උපාංග නිෂ්පාදනය කිරීමේ තීරණාත්මක පියවරකි. මෙම ක්රියාවලියේ කේන්ද්රීය වේepi වාහකය, epitaxial තැන්පත් වීමේදී වේෆර් ආරක්ෂිතව තබා ගැනීමට නිර්මාණය කර ඇති විශේෂිත මෙවලමකි. නමුත් එපි වාහකයක් යනු හරියටම කුමක්ද සහ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයට එය ඉතා වැදගත් වන්නේ ඇයි?
Epitaxial Growth: අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ ප්‍රධාන ක්‍රියාවලියක්
Epitaxial growth නොහොත් epitaxy යනු අර්ධ සන්නායක වේෆරයක් මත ස්ඵටිකරූපී ද්‍රව්‍ය තුනී ස්ථරයක් තැන්පත් කිරීමේ ක්‍රියාවලියයි. epitaxial ස්ථරය ලෙස හඳුන්වන මෙම ස්ථරයට යටින් පවතින උපස්ථරයට සමාන ස්ඵටික දිශානතියක් ඇති අතර එය වේෆරයේ විද්‍යුත් ගුණ වැඩි දියුණු කිරීමට භාවිතා කරයි. ද්‍රව්‍ය සංයුතිය සහ ව්‍යුහය පිළිබඳ නිශ්චිත පාලනයක් අවශ්‍ය වන ඉහළ ක්‍රියාකාරී උපාංග නිර්මාණය කිරීමේදී Epitaxy අත්‍යවශ්‍ය වේ.
epitaxial ස්ථරයේ අපේක්ෂිත ගුණාත්මක භාවය සහ ඒකාකාරිත්වය සාක්ෂාත් කර ගැනීම සඳහා, තැන්පත් කිරීමේ ක්‍රියාවලියේදී වේෆර් නිරවද්‍යතාවයෙන් සහ ස්ථායීතාවයෙන් තබා ගත යුතුය. මේ තියෙන්නේepi වාහකයරංගනයට පැමිණේ.
ක භූමිකාවඑපි වාහකය
An epi වාහකයයනු epitaxial තැන්පත් කිරීමේ ක්‍රියාවලියේදී වේෆර් රඳවා තබා ගන්නා විෙශේෂෙයන් නිර්මාණය කරන ලද සවිකෘතයකි. එය සාමාන්‍යයෙන් සෑදී ඇත්තේ අධි-පරිශුද්ධ ද්‍රව්‍ය වලින් වන අතර එය අධික උෂ්ණත්වයන්ට සහ එපිටැක්සි වලට සම්බන්ධ ප්‍රතික්‍රියාශීලී පරිසරයන්ට ඔරොත්තු දිය හැකිය. වාහකයේ සැලසුම මඟින් වේෆර් ආරක්ෂිතව ස්ථානගත කිරීම සහ තැන්පත් ද්‍රව්‍යවලට ඒකාකාරව නිරාවරණය වීම සහතික කරයි, එහි ප්‍රතිඵලයක් ලෙස සම්පූර්ණ වේෆර් මතුපිට පුරා ඒකාකාර epitaxial ස්ථරයක් ඇති වේ.
එපි වාහකයේ මූලික කාර්යයක් වන්නේ නඩත්තු කිරීමයිවේෆර්ගේතැන්පත් කිරීමේ ක්‍රියාවලිය පුරාම ස්ථාවරත්වය සහ පෙළගැස්ම. කිසියම් චලනයක් හෝ නොගැලපීමකින් අවසන් අර්ධ සන්නායක උපාංගයේ ක්‍රියාකාරීත්වයට සැලකිය යුතු බලපෑමක් ඇති කරන epitaxial ස්ථරයේ දෝෂ ඇති විය හැක. වාහකයා ද අපවිත්‍ර වීම වැළැක්විය යුතු අතර සැකසීමේදී වේෆර් අංශු හෝ අපද්‍රව්‍යවලින් තොර බව සහතික කළ යුතුය.
ඇයිඑපි වාහකයන්අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය සඳහා අත්‍යවශ්‍ය වේ
epitaxial ස්ථරයේ ගුණාත්මක භාවය අර්ධ සන්නායක උපාංගවල ක්රියාකාරිත්වය සෘජුව බලපායි. එනිසා කර්මාන්තයේ අවශ්‍ය උසස් ප්‍රමිතීන් සාක්ෂාත් කර ගැනීමේදී epi carrier හි කාර්යභාරය ඉතා වැදගත් වේ. වේෆර් සැකසුම් සඳහා ස්ථායී සහ පාලිත පරිසරයක් ලබා දීමෙන්, epitaxial ස්ථරය ඒකාකාරව හා දෝෂ රහිතව තැන්පත් වීම epitaxial ස්තරය සහතික කරයි.
අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ පරිමාණය සඳහා සහාය වීම සඳහා Epi වාහකයන් ද අත්‍යවශ්‍ය වේ. උපාංග ජ්‍යාමිතිය අඛණ්ඩව හැකිලෙමින් පවතින අතර ඉහළ කාර්ය සාධනයක් සඳහා ඇති ඉල්ලුම වර්ධනය වන විට, නිරවද්‍ය සහ විශ්වාසනීය epitaxial ක්‍රියාවලීන් සඳහා අවශ්‍යතාවය වඩාත් තීරණාත්මක වේ. උසස් තත්ත්වයේ එපි වාහක නිෂ්පාදන පරිමාණය ඉහළ යන විට පවා, ස්ථාවර සහ ප්‍රතිනිෂ්පාදනය කළ හැකි ප්‍රතිඵල සක්‍රීය කිරීමෙන් නිෂ්පාදකයින්ට මෙම ඉල්ලීම් සපුරාලීමට උදවු කරයි.
නිගමනය
සාරාංශයක් ලෙස, එපි වාහකය අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේදී, විශේෂයෙන් එපිටාක්සියල් වේෆර් නිෂ්පාදනයේදී අත්‍යවශ්‍ය මෙවලමකි. උසස් අර්ධ සන්නායක උපාංග සඳහා අවශ්‍ය උසස් තත්ත්වයේ epitaxial ස්ථර සාක්ෂාත් කර ගැනීම සඳහා වේෆර් ස්ථායිතාව, පෙළගැස්ම සහ දූෂණය පාලනය සහතික කිරීමේ එහි කාර්යභාරය අත්‍යවශ්‍ය වේ. කර්මාන්තය තාක්‍ෂණයේ සීමාවන් ඉදිරියට ගෙන යන බැවින්, විශ්වාසනීය සහ කාර්යක්ෂම එපි වාහකවල වැදගත්කම වැඩි වනු ඇත, අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ විශිෂ්ටත්වය හඹා යාමේදී ඒවා අත්‍යවශ්‍ය අංගයක් බවට පත් කරයි.
අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ නියැලෙන්නන් සඳහා ඔවුන්ගේ epitaxial ක්‍රියාවලීන් ප්‍රශස්ත කිරීමට බලාපොරොත්තු වන අයට, උසස් තත්ත්වයේ epicarriers අවබෝධ කර ගැනීම සහ ආයෝජනය කිරීම වඩා හොඳ ප්‍රතිඵල ලබා ගැනීමට සහ වෙළඳපල තුළ තරඟකාරී මට්ටමක් පවත්වා ගැනීමට තීරණාත්මක පියවරකි.
පසු කාලය: අගෝස්තු-19-2024