SiC ආලේපනය යනු කුමක්ද?

සිලිකන් කාබයිඩ් (SiC) ආලේපනඒවායේ කැපී පෙනෙන භෞතික හා රසායනික ගුණාංග හේතුවෙන් විවිධ ඉහළ කාර්ය සාධන යෙදුම් සඳහා වේගයෙන් අත්‍යවශ්‍ය වේ. භෞතික හෝ රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීම (CVD) හෝ ඉසීමේ ක්‍රම වැනි ශිල්පීය ක්‍රම හරහා යොදනු ලැබේ.SiC ආලේපනසංරචකවල මතුපිට ගුණාංග පරිවර්තනය කිරීම, වැඩි දියුණු කළ කල්පැවැත්ම සහ ආන්තික තත්වයන්ට ඔරොත්තු දීම.

SiC ආලේපන ඇයි?
SiC එහි ඉහළ ද්රවාංකය, සුවිශේෂී දෘඪතාව සහ විඛාදනයට සහ ඔක්සිකරණයට ඉහළ ප්රතිරෝධය සඳහා ප්රසිද්ධය. මෙම ගුණාංග ඇති කරයිSiC ආලේපනඅභ්‍යවකාශ හා ආරක්ෂක කර්මාන්තවල ඇති දැඩි පරිසරයන්ට ඔරොත්තු දීමේ දී විශේෂයෙන් ඵලදායී වේ. විශේෂයෙන්ම, 1800-2000°C අතර උෂ්ණත්වවලදී SiC හි විශිෂ්ට ඉවත් කිරීමේ ප්‍රතිරෝධය, දැඩි තාපය සහ යාන්ත්‍රික ආතතිය යටතේ දීර්ගායුෂ සහ විශ්වසනීයත්වය ඉල්ලා සිටින යෙදුම් සඳහා කදිම තේරීමක් කරයි.
සඳහා පොදු ක්රමSiC ආලේපනයයෙදුම:
1.රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් වීම (CVD):
CVD යනු ප්‍රචලිත තාක්‍ෂණයකි, එහිදී ආෙල්පනය කළ යුතු සංරචකය ප්‍රතික්‍රියා නලයක තැන්පත් කෙරේ. පූර්වගාමියා ලෙස Methyltrichlorosilane (MTS) භාවිතා කරමින්, SiC අඩු පීඩන තත්ත්ව යටතේ 950-1300 ° C දක්වා උෂ්ණත්වවලදී සංරචකයේ මතුපිටට තැන්පත් වේ. මෙම ක්රියාවලිය නිල ඇඳුමක් සහතික කරයි,උසස් තත්ත්වයේ SiC ආලේපනය, සංරචකයේ ඔරොත්තු දීමේ හැකියාව සහ ආයු කාලය වැඩි දියුණු කිරීම.

2. පූර්වගාමී කාවැද්දීම සහ පයිරොලිසිස් (PIP):
මෙම ක්‍රමයට සෙරමික් පූර්වගාමී ද්‍රාවණයක රික්ත කාවැද්දීම මගින් සංරචකයේ පූර්ව ප්‍රතිකාරය ඇතුළත් වේ. කාවැද්දීමකින් පසු, සංරචකය උදුනක පයිෙරොලිසිස් වලට භාජනය වන අතර එහිදී එය කාමර උෂ්ණත්වයට සිසිල් කරනු ලැබේ. එහි ප්‍රතිඵලය වන්නේ ශක්තිමත් SiC ආලේපනයක් වන අතර එය ඇඳීමට සහ ඛාදනයට එරෙහිව විශිෂ්ට ආරක්ෂාවක් සපයයි.

යෙදුම් සහ වාසි:
SiC ආෙල්පන භාවිතය තීරණාත්මක සංරචකවල ආයු කාලය දීර්ඝ කරන අතර පාරිසරික හායනයට එරෙහිව ආරක්ෂා කරන දැඩි, ආරක්ෂිත තට්ටුවක් සැපයීම මගින් නඩත්තු වියදම් අඩු කරයි. උදාහරණයක් ලෙස අභ්‍යවකාශයේදී, මෙම ආලේපන තාප කම්පනය සහ යාන්ත්‍රික ඇඳුම් වලින් ආරක්ෂා කිරීම සඳහා ඉතා අගනේය. මිලිටරි උපකරණවලදී, SiC ආලේපන අත්‍යවශ්‍ය කොටස්වල විශ්වසනීයත්වය සහ කාර්ය සාධනය වැඩි දියුණු කරයි, කටුක තත්වයන් යටතේ වුවද මෙහෙයුම් අඛණ්ඩතාව සහතික කරයි.
නිගමනය:
කර්මාන්ත ක්‍රියාකාරීත්වයේ සහ කල්පැවැත්මේ සීමාවන් ඉදිරියට තල්ලු කරන බැවින්, ද්‍රව්‍ය විද්‍යාවේ සහ ඉංජිනේරු විද්‍යාවේ දියුණුව සඳහා SiC ආලේපන ප්‍රධාන කාර්යභාරයක් ඉටු කරනු ඇත. අඛණ්ඩ පර්යේෂණ සහ සංවර්ධන කටයුතු සමඟින්, SiC ආලේපන ඉහළ කාර්ය සාධනයක් සහිත ආලේපනවල නව ප්‍රමිතීන් සකස් කරමින් ඔවුන්ගේ ප්‍රවේශය පුළුල් කරනු ඇත.

mocvd තැටිය


පසු කාලය: අගෝස්තු-12-2024