ටැන්ටලම් කාබයිඩ් යනු කුමක්ද?

ටැන්ටලම් කාබයිඩ් (TaC)x සාමාන්‍යයෙන් 0.4 සහ 1 අතර වෙනස් වන TaC x රසායනික සූත්‍රය සහිත ටැන්ටලම් සහ කාබන් ද්විමය සංයෝගයකි. ඒවා ලෝහ සන්නායකතාවය සහිත අතිශය දෘඩ, භංගුර, පරාවර්තක සෙරමික් ද්‍රව්‍ය වේ. ඒවා දුඹුරු-අළු කුඩු වන අතර සාමාන්‍යයෙන් සින්ටර් කිරීම මගින් සකසනු ලැබේ.

ටැන්ටලම් කාබයිඩ්වැදගත් ලෝහ සෙරමික් ද්රව්ය වේ. ටැන්ටලම් කාබයිඩ් ඉතා වැදගත් භාවිතයක් වන්නේ ටැන්ටලම් කාබයිඩ් ආලේපනයයි.

 

ටැන්ටලම් කාබයිඩ් ආලේපනයේ නිෂ්පාදන ලක්ෂණ

ඉහළ ද්රවාංකය: ද්රවාංකයටැන්ටලම් කාබයිඩ්තරම් උස් වේ3880°C, එය ඉහළ උෂ්ණත්ව පරිසරවල ස්ථායී වන අතර උණු කිරීම හෝ දිරාපත් වීම පහසු නොවේ.

 

වැඩ තත්ත්වය:සාමාන්‍යයෙන්, ටැන්ටලම් කාබයිඩ් (TaC) හි සාමාන්‍ය ක්‍රියාකාරී තත්ත්වය 2200°C වේ. එහි අතිශය ඉහළ ද්රවාංකය සැලකිල්ලට ගනිමින්, TaC නිර්මාණය කර ඇත්තේ එහි ව්යුහාත්මක අඛණ්ඩතාව අහිමි නොවී එවැනි ඉහළ උෂ්ණත්වයකට ඔරොත්තු දීමටය.

 

දෘඪතාව සහ ඇඳුම් ප්රතිරෝධය: එය අතිශයින් ඉහළ දෘඪතාවක් ඇත (Mohs දෘඪතාව 9-10 පමණ වේ) සහ ඇඳීම් සහ සීරීම් වලට ඵලදායී ලෙස ප්රතිරෝධය දැක්විය හැක.

 

රසායනික ස්ථාවරත්වය: එය බොහෝ අම්ල සහ ක්ෂාර සඳහා හොඳ රසායනික ස්ථායීතාවයක් ඇති අතර විඛාදනයට සහ රසායනික ප්රතික්රියා වලට ප්රතිරෝධය දැක්විය හැක.

 

තාප සන්නායකතාව: හොඳ තාප සන්නායකතාවය එය ඵලදායී ලෙස විසුරුවා හැරීමට සහ තාපය සන්නයනය කිරීමට හැකියාව ලබා දෙයි, ද්රව්යය මත තාප සමුච්චනයේ බලපෑම අඩු කරයි.

 

අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ යෙදුම් අවස්ථා සහ වාසි

MOCVD උපකරණ: MOCVD (රසායනික වාෂ්ප තැන්පත්) උපකරණ තුළ,ටැන්ටලම් කාබයිඩ් ආලේපනප්රතික්රියා කුටීරය සහ අනෙකුත් ඉහළ උෂ්ණත්ව සංරචක ආරක්ෂා කිරීම, තැන්පතු මගින් උපකරණ ඛාදනය අඩු කිරීම සහ උපකරණවල සේවා කාලය දීර්ඝ කිරීම සඳහා භාවිතා කරනු ලැබේ.

වාසි: උපකරණවල ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්රතිරෝධය වැඩි දියුණු කිරීම, නඩත්තු සංඛ්යාතය සහ පිරිවැය අඩු කිරීම සහ නිෂ්පාදන කාර්යක්ෂමතාව වැඩි දියුණු කිරීම.

 

 

වේෆර් සැකසීම: වේෆර් සැකසුම් සහ සම්ප්‍රේෂණ පද්ධතිවල භාවිතා වන ටැන්ටලම් කාබයිඩ් ආලේපන මඟින් උපකරණවල ඇඳුම් ප්‍රතිරෝධය සහ විඛාදන ප්‍රතිරෝධය වැඩි දියුණු කළ හැක.

වාසි: ඇඳීම හෝ විඛාදනය හේතුවෙන් නිෂ්පාදන තත්ත්ව ගැටළු අඩු කිරීම සහ වේෆර් සැකසීමේ ස්ථාවරත්වය සහ අනුකූලතාව සහතික කිරීම.

 

අර්ධ සන්නායක ක්රියාවලි මෙවලම්: අයන තැන්පත් කිරීම් සහ එචර් වැනි අර්ධ සන්නායක ක්‍රියාවලි මෙවලම්වල ටැන්ටලම් කාබයිඩ් ආලේපන මඟින් මෙවලම්වල කල්පැවැත්ම වැඩි දියුණු කළ හැක.

වාසි: මෙවලම්වල සේවා කාලය දීර්ඝ කිරීම, අක්රිය වීම සහ ප්රතිස්ථාපන පිරිවැය අඩු කිරීම සහ නිෂ්පාදන කාර්යක්ෂමතාව වැඩි දියුණු කිරීම.

 

ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්රදේශ: ඉහළ උෂ්ණත්ව පරිසරවල ඉලෙක්ට්‍රොනික උපාංග සහ උපාංගවල, ඉහළ උෂ්ණත්වයන්ගෙන් ද්‍රව්‍ය ආරක්ෂා කිරීම සඳහා ටැන්ටලම් කාබයිඩ් ආලේපන භාවිතා කරයි.

වාසි: ආන්තික උෂ්ණත්ව තත්ත්ව යටතේ ඉලෙක්ට්රොනික උපාංගවල ස්ථාවරත්වය සහ විශ්වසනීයත්වය සහතික කිරීම.

 

අනාගත සංවර්ධන ප්රවණතා

ද්රව්ය වැඩිදියුණු කිරීම: ද්‍රව්‍ය විද්‍යාවේ දියුණුවත් සමඟ, සැකසීම සහ තැන්පත් කිරීමේ තාක්ෂණයටැන්ටලම් කාබයිඩ් ආලේපනඑහි කාර්යසාධනය වැඩිදියුණු කිරීම සහ පිරිවැය අඩු කිරීම සඳහා අඛණ්ඩව වැඩිදියුණු කරනු ඇත. උදාහරණයක් ලෙස, වඩා කල් පවතින හා අඩු වියදම් ආලේපන ද්රව්ය සංවර්ධනය කළ හැකිය.

 

තැන්පත් කිරීමේ තාක්ෂණය: ටැන්ටලම් කාබයිඩ් ආලේපනවල ගුණාත්මකභාවය සහ ක්‍රියාකාරීත්වය ප්‍රශස්ත කිරීම සඳහා වැඩිදියුණු කළ PVD සහ CVD තාක්ෂණයන් වැනි වඩාත් කාර්යක්ෂම හා නිරවද්‍ය තැන්පත් කිරීමේ තාක්ෂණයන් ලබා ගැනීමට හැකි වනු ඇත.

 

නව යෙදුම් ප්‍රදේශ: යෙදුම් ක්ෂේත්‍රටැන්ටලම් කාබයිඩ් ආලේපනඉහළ කාර්ය සාධන ද්‍රව්‍ය සඳහා ඇති ඉල්ලුම සපුරාලීම සඳහා අභ්‍යවකාශ, බලශක්ති සහ මෝටර් රථ කර්මාන්ත වැනි ඉහළ තාක්‍ෂණික සහ කාර්මික ක්ෂේත්‍ර වෙත ව්‍යාප්ත වනු ඇත.