රෝල් කිරීම යනු දියමන්ති ඇඹරුම් රෝදයක් භාවිතයෙන් සිලිකන් තනි ස්ඵටික දණ්ඩක පිටත විෂ්කම්භය අවශ්ය විෂ්කම්භයේ තනි ස්ඵටික සැරයටියකට ඇඹරීම සහ තනි පළිඟු දණ්ඩේ පැතලි දාර යොමු මතුපිටක් හෝ ස්ථානගත කිරීමේ ක්රියාවලියයි.
තනි ස්ඵටික උදුන මගින් සකස් කරන ලද තනි ස්ඵටික දණ්ඩේ පිටත විෂ්කම්භය පෘෂ්ඨය සුමට හා පැතලි නොවන අතර එහි විෂ්කම්භය අවසාන යෙදුමේ භාවිතා කරන සිලිකන් වේෆරයේ විෂ්කම්භයට වඩා විශාල වේ. පිටත විෂ්කම්භය පෙරළීමෙන් අවශ්ය දණ්ඩේ විෂ්කම්භය ලබා ගත හැකිය.
රෝලිං මෝලට සිලිකන් තනි ස්ඵටික දණ්ඩේ පැතලි දාර යොමු මතුපිට හෝ ස්ථානගත වලක් ඇඹරීමේ කාර්යය ඇත, එනම්, අවශ්ය විෂ්කම්භය සහිත තනි ස්ඵටික සැරයටිය මත දිශානුගත පරීක්ෂණ සිදු කිරීම. එකම රෝලිං මෝල් උපකරණ මත, තනි ස්ඵටික දණ්ඩේ පැතලි දාර යොමු මතුපිට හෝ ස්ථානගත කට්ට බිම වේ. සාමාන්යයෙන්, මිලිමීටර් 200ට අඩු විෂ්කම්භයක් සහිත තනි ස්ඵටික දඬු පැතලි දාර යොමු පෘෂ්ඨයන් භාවිතා කරන අතර, මිලිමීටර් 200 සහ ඊට වැඩි විෂ්කම්භයක් සහිත තනි ස්ඵටික දඬු ස්ථානගත කිරීමේ කට්ට භාවිතා කරයි. මිලිමීටර් 200 ක විෂ්කම්භයක් සහිත තනි ස්ඵටික දඬු ද අවශ්ය පරිදි පැතලි දාර යොමු පෘෂ්ඨයන් සමඟ සාදා ගත හැකිය. තනි ස්ඵටික දණ්ඩ දිශානතිය යොමු මතුපිට අරමුණ ඒකාබද්ධ පරිපථ නිෂ්පාදනය ක්රියාවලිය උපකරණ ස්වයංක්රීය ස්ථානගත මෙහෙයුම් අවශ්යතා සපුරාලීම වේ; නිෂ්පාදන කළමනාකරණයට පහසුකම් සැලසීම සඳහා සිලිකන් වේෆරයේ ස්ඵටික දිශානතිය සහ සන්නායකතා වර්ගය දැක්වීමට; ප්රධාන ස්ථානගත කිරීමේ දාරය හෝ ස්ථානගත කිරීමේ වලය <110> දිශාවට ලම්බක වේ. චිප් ඇසුරුම් ක්රියාවලියේදී, ඩයිසිං ක්රියාවලිය මඟින් වේෆරයේ ස්වාභාවික ඉරිතැලීමට හේතු විය හැකි අතර, ස්ථානගත කිරීම මඟින් කැබලි ජනනය වීම වැළැක්විය හැකිය.
වටකුරු ක්රියාවලියේ ප්රධාන අරමුණු අතරට ඇතුළත් වන්නේ: පෘෂ්ඨීය ගුණාත්මකභාවය වැඩි දියුණු කිරීම: රවුම් කිරීම මඟින් සිලිකන් වේෆර් මතුපිට ඇති බර්ස් සහ අසමානතාවය ඉවත් කළ හැකි අතර සිලිකන් වේෆර්වල මතුපිට සුමට බව වැඩි දියුණු කළ හැකිය, එය පසුකාලීන ඡායාරූපකරණය සහ කැටයම් ක්රියාවලීන් සඳහා ඉතා වැදගත් වේ. ආතතිය අඩු කිරීම: සිලිකන් වේෆර් කැපීම සහ සැකසීමේදී ආතතිය ජනනය විය හැක. මෙම ආතතීන් මුදා හැරීමට සහ පසුකාලීන ක්රියාවලීන්හිදී සිලිකන් වේෆර් කැඩීම වැළැක්වීමට රවුම් කිරීම උපකාරී වේ. සිලිකන් වේෆර්වල යාන්ත්රික ශක්තිය වැඩි දියුණු කිරීම: වටකුරු ක්රියාවලියේදී සිලිකන් වේෆර්වල දාර වඩාත් සුමට වන අතර එමඟින් සිලිකන් වේෆර්වල යාන්ත්රික ශක්තිය වැඩි දියුණු කිරීමට සහ ප්රවාහනයේදී සහ භාවිතයේදී සිදුවන හානිය අවම කිරීමට උපකාරී වේ. මාන නිරවද්යතාවය සහතික කිරීම: අර්ධ සන්නායක උපාංග නිෂ්පාදනය සඳහා තීරනාත්මක වන සිලිකන් වේෆර්වල මාන නිරවද්යතාවය වට කිරීම මගින් සහතික කළ හැක. සිලිකන් වේෆර්වල විද්යුත් ගුණ වැඩි දියුණු කිරීම: සිලිකන් වේෆර්වල දාර සැකසීම ඒවායේ විද්යුත් ගුණාංග කෙරෙහි වැදගත් බලපෑමක් ඇති කරයි. රවුම් කිරීම මඟින් කාන්දු වන ධාරාව අඩු කිරීම වැනි සිලිකන් වේෆර්වල විද්යුත් ගුණාංග වැඩි දියුණු කළ හැකිය. සෞන්දර්යය: සිලිකන් වේෆර්වල දාර වටකුරු කිරීමෙන් පසු වඩාත් සුමට හා අලංකාර වේ, එය ඇතැම් යෙදුම් අවස්ථා සඳහාද අවශ්ය වේ.
පසු කාලය: ජූලි-30-2024