Semicera's P-type SiC Substrate Wafer යනු උසස් ඉලෙක්ට්‍රොනික සහ දෘශ්‍ය ඉලෙක්ට්‍රොනික උපාංග සංවර්ධනය කිරීම සඳහා ප්‍රධාන අංගයකි. මෙම වේෆර් විශේෂයෙන් නිර්මාණය කර ඇත්තේ අධි බලැති සහ අධි-උෂ්ණත්ව පරිසරවල වැඩි දියුණු කළ කාර්ය සාධනයක් සැපයීම සඳහා වන අතර, කාර්යක්ෂම හා කල් පවතින සංරචක සඳහා වැඩි වන ඉල්ලුමට සහාය වේ.
අපගේ SiC වේෆර්වල P-වර්ගයේ මාත්‍රණය වැඩිදියුණු කළ විද්‍යුත් සන්නායකතාවය සහ ආරෝපණ වාහක සංචලනය සහතික කරයි. අඩු බල අලාභය සහ ඉහළ කාර්යක්ෂමතාව ඉතා වැදගත් වන බල ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණ, LED සහ ප්‍රකාශ වෝල්ටීයතා සෛලවල යෙදුම් සඳහා මෙය විශේෂයෙන් සුදුසු වේ.
නිරවද්‍යතාවයෙන් සහ ගුණාත්මක භාවයෙන් ඉහළම ප්‍රමිතීන් සමඟින් නිෂ්පාදනය කරන ලද, Semicera's P-type SiC වේෆර් විශිෂ්ට මතුපිට ඒකාකාරිත්වය සහ අවම දෝෂ අනුපාත පිරිනමයි. අභ්‍යවකාශ, මෝටර් රථ සහ පුනර්ජනනීය බලශක්ති අංශ වැනි අනුකූලතාව සහ විශ්වසනීයත්වය අත්‍යවශ්‍ය වන කර්මාන්ත සඳහා මෙම ලක්ෂණ ඉතා වැදගත් වේ.
නවෝත්පාදනය සහ විශිෂ්ටත්වය සඳහා Semicera හි කැපවීම අපගේ P-type SiC උපස්ථර වේෆර් තුළ පැහැදිලි වේ. මෙම වේෆර් ඔබේ නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියට අනුකලනය කිරීමෙන්, ඔබේ උපාංගවලට SiC හි සුවිශේෂී තාප සහ විද්‍යුත් ගුණාංගවලින් ප්‍රතිලාභ ලැබෙන බව සහතික වන අතර, අභියෝගාත්මක තත්ව යටතේ ඵලදායී ලෙස ක්‍රියා කිරීමට හැකි වේ.
Semicera's P-type SiC Substrate Wafer හි ආයෝජනය කිරීම යනු අති නවීන ද්‍රව්‍ය විද්‍යාව සූක්ෂම ඉංජිනේරු විද්‍යාව ඒකාබද්ධ කරන නිෂ්පාදනයක් තෝරා ගැනීමයි. අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ ඔබේ සාර්ථකත්වයට අවශ්‍ය අත්‍යවශ්‍ය සංරචක සපයමින් මීළඟ පරම්පරාවේ ඉලෙක්ට්‍රොනික සහ දෘශ්‍ය ඉලෙක්ට්‍රොනික තාක්ෂණයන්ට සහාය වීමට Semicera කැපවී සිටී.
| අයිතම | නිෂ්පාදනය | පර්යේෂණ | ඩමි |
| ස්ඵටික පරාමිතීන් | |||
| පොලිටයිප් | 4H | ||
| මතුපිට දිශානතියේ දෝෂය | <11-20 >4±0.15° | ||
| විදුලි පරාමිතීන් | |||
| ඩොපන්ට් | n-වර්ගය නයිට්රජන් | ||
| ප්රතිරෝධකතාව | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| යාන්ත්රික පරාමිතීන් | |||
| විෂ්කම්භය | 150.0 ± 0.2 මි.මී | ||
| ඝනකම | 350±25 μm | ||
| ප්රාථමික පැතලි දිශානතිය | [1-100]±5° | ||
| ප්රාථමික පැතලි දිග | 47.5 ± 1.5 මි.මී | ||
| ද්විතියික පැතලි | කිසිවක් නැත | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| දුන්න | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| ඉදිරිපස (Si-මුහුණ) රළුබව (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| ව්යුහය | |||
| ක්ෂුද්ර නල ඝනත්වය | <1 EA/cm2 | <10 EA/cm2 | <15 EA/cm2 |
| ලෝහ අපද්රව්ය | ≤5E10atoms/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 EA/cm2 | ≤3000 EA/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 EA/cm2 | ≤1000 EA/cm2 | NA |
| ඉදිරිපස ගුණාත්මකභාවය | |||
| ඉදිරිපස | Si | ||
| මතුපිට නිමාව | Si-Face CMP | ||
| අංශු | ≤60ea/වේෆර් (ප්‍රමාණය≥0.3μm) | NA | |
| සීරීම් | ≤5ea/මි.මී. සමුච්චිත දිග ≤විෂ්කම්භය | සමුච්චිත දිග≤2*විෂ්කම්භය | NA |
| තැඹිලි පීල් / වලවල් / පැල්ලම් / ඉරිතැලීම් / අපවිත්ර වීම | කිසිවක් නැත | NA | |
| Edge chips/indents/fracture/hex plates | කිසිවක් නැත | ||
| පොලිටයිප් ප්රදේශ | කිසිවක් නැත | සමුච්චිත ප්රදේශය≤20% | සමුච්චිත ප්රදේශය≤30% |
| ඉදිරිපස ලේසර් සලකුණු කිරීම | කිසිවක් නැත | ||
| පසුපස ගුණාත්මකභාවය | |||
| පසුපස නිමාව | C-face CMP | ||
| සීරීම් | ≤5ea/mm, සමුච්චිත දිග≤2*විෂ්කම්භය | NA | |
| පිටුපස දෝෂ (දාර චිප්ස්/ඉන්ඩන්ට්) | කිසිවක් නැත | ||
| පිටුපස රළුබව | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| පසුපස ලේසර් සලකුණු කිරීම | 1 mm (ඉහළ දාරයේ සිට) | ||
| දාරය | |||
| දාරය | චැම්ෆර් | ||
| ඇසුරුම්කරණය | |||
| ඇසුරුම්කරණය | රික්ත ඇසුරුම් සහිත Epi-සුදානම් බහු වේෆර් කැසට් ඇසුරුම් | ||
| *සටහන්: "NA" යන්නෙන් අදහස් වන්නේ කිසිදු ඉල්ලීමක් සඳහන් නොකළ අයිතමයන් SEMI-STD වෙත යොමු විය හැක. | |||
