වේෆර් වාහකය හඳුන්වාදීම
නිෂ්පාදන කාණ්ඩය
▶PECVD සහ TALOX ක්‍රියාවලිය සඳහා වේෆර් වාහක පද්ධතිය
• PECVD සහ TALOX ග්‍රැෆයිට් බෝට්ටුව (M4~M12)
• සිරස් SM-බෝට්ටුව (M4, M6)
• බද්ධ කිරීම සහ ස්නානය කිරීම මිනිරන් කොටස (M4~M6)
• C/C තැටි සහ සෙරමික් ආලේපනය
• ලෝහ RIE-තැටි සහ සෙරමික් ආලේපනය
• රික්ත මුද්‍රා තැබීම : O-Ring & SQ-Ring
▶Texturing & Wet Etching මාරු කිරීමේ ක්‍රියාවලිය
• LSC H-වාහකය හෝ කැසට් පටය (M4~M12)
• LSC V-Carrier හෝ කැසට් පටය (M4~M12)
• ASC වාහකය හෝ කැසට් පටය (M4, M6)
• W/F වාහක සහ ගබඩා පෙට්ටිය (M4~M12)
• ප්‍රවාහන රෝද (රෝලර්) මාලාව
▶සූර්ය කෝෂ වාහකය සහ ලෝහ වාහකය
• TRC වාහකය හෝ කැසට් පටය (M4~M12)
• සඟරාව (BELT සමඟ)
ග්‍රැෆයිට් බෝට්ටුව (H-වර්ගය)
19P6-216CT (WF M4~M12)
ග්‍රැෆයිට් බෝට්ටුව (H-වර්ගය)
21P6-240CT WF M4~M12)
ග්‍රැෆයිට් බෝට්ටුව (H-වර්ගය)
23P7-308CT(W/F M4~M12)
ග්‍රැෆයිට් බෝට්ටුව (H-වර්ගය)
22P/7-294TP (W/F M4~M12)
ග්‍රැෆයිට් බෝට්ටුව (H-වර්ගය)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
WF වාහක සහ ගබඩා පෙට්ටිය (~M12)
C/C tray හෝ CARRIER(M4~M10)
C/C tray හෝ CARRIER(M4~M10)
සිරස් බෝට්ටුව (SM) M6
LSC-H-CARRIER(~M12)
LSC-V-CARRIER(~M12)
ASC CARRIER (~M6)
TRC වාහකය(~M12)
TRC වාහකය(~M12)
ග්‍රැෆයිට්-බෝට්ටුව(M12)
PECVD ක්‍රියාවලිය සඳහා වේෆර් වාහක පද්ධතිය
▶ ග්‍රැෆයිට් බෝට්ටුව (CT-නිර්මාණය කරන ලද) M10/M12 ක්‍රියාවලිය
• විශේෂ නිර්මාණ සංකල්පය
▶ ග්‍රැෆයිට් බෝට්ටුව (CT-නිර්මාණය කරන ලද) M4/M6 ක්‍රියාවලිය
▶ බෝට්ටු අමතර කොටස්
▶ සිරස් බෝට්ටුව-161.7mm WAFER
▶ සිරස් බෝට්ටුව-166mm WAFER
▶ සිරස් බෝට්ටුව-161.7mm, 166mm WAFER
සූර්ය කෝෂ වාහකය සහ ලෝහ TRC වාහකය
වර්ගය: ස්වයංක්‍රීයකරණය
WAFER ප්‍රමාණය : ① 156×156MM ② 156.75×156.75MM
③161.7x161.7MM ④166x166MM
⑤ 180×180mm ⑥ 210×210mm
භාවිතය: රැගෙන යාම (කැසට්)
ධාරිතාව: 100 පත්රය
තණතීරුව : 4.76MM/5.953mm/6.35mm
මානය: ආසන්න වශයෙන් 559×220×220MM
ආසන්න වශයෙන් 712×260×260MM
වාසි: වායුගෝලය
ද්රව්ය: දැල්ල, පැති තීරු-ඇලුමිනියම් (ඇනෝඩීකරණය)
පැති ප්ලේට්-පොම් (ප්‍රති-ස්ථිතික)
පහළ තීරුවේ කවරය-EPDM/PU/VITON (ASE)
TRC-ලෝහ වාහකය (U'SER LINE)
TRC-ලෝහ වාහකය (U'SER LINE)
TRC-ලෝහ වාහකය (U'SER LINE)
SHOWER PLATE & Implant, CARRIER
