CVD තොග සිලිකන් කාබයිඩ් (SiC)
දළ විශ්ලේෂණය:CVDතොග සිලිකන් කාබයිඩ් (SiC)ප්ලාස්මා කැටයම් උපකරණ, වේගවත් තාප සැකසුම් (RTP) යෙදුම් සහ අනෙකුත් අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලීන්හි ඉහළ ඉල්ලුමක් ඇති ද්‍රව්‍යයකි. එහි ඇති සුවිශේෂී යාන්ත්‍රික, රසායනික සහ තාප ගුණ නිසා එය ඉහළ නිරවද්‍යතාවයක් සහ කල්පැවැත්මක් ඉල්ලා සිටින උසස් තාක්ෂණික යෙදුම් සඳහා කදිම ද්‍රව්‍යයක් බවට පත් කරයි.
CVD තොග SiC හි යෙදුම්:අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ, විශේෂයෙන්ම ප්ලාස්මා කැටයම් පද්ධතිවල තොග SiC ඉතා වැදගත් වේ, එහිදී අවධානය යොමු කරන වළලු, ගෑස් ෂවර් හෙඩ්ස්, දාර වළලු සහ ප්ලැටෙන්ස් වැනි සංරචක SiC හි කැපී පෙනෙන විඛාදන ප්‍රතිරෝධයෙන් සහ තාප සන්නායකතාවයෙන් ප්‍රතිලාභ ලබයි. එහි භාවිතය දක්වා විහිදේRTPසැලකිය යුතු පිරිහීමක් නොමැතිව වේගවත් උෂ්ණත්ව උච්චාවචනයන්ට ඔරොත්තු දීමේ SiC හි හැකියාව හේතුවෙන් පද්ධති.
කැටයම් උපකරණ වලට අමතරව, CVDතොග SiCඉහළ තාප ස්ථායීතාවයක් සහ රළු රසායනික පරිසරයන්ට ප්රතිරෝධයක් අවශ්‍ය වන විසරණ ඌෂ්මක සහ ස්ඵටික වර්ධන ක්‍රියාවලීන්හි අනුග්‍රහය දක්වයි. මෙම ගුණාංග SiC ඉහළ උෂ්ණත්වයන් සහ ක්ලෝරීන් සහ ෆ්ලෝරීන් අඩංගු වැනි විඛාදන වායූන් ඇතුළත් ඉහළ ඉල්ලුමක් ඇති යෙදුම් සඳහා තෝරා ගැනීමේ ද්‍රව්‍ය බවට පත් කරයි.
CVD තොග SiC සංරචකවල වාසි:
•අධික ඝනත්වය:3.2 g/cm³ ඝනත්වයකින්,CVD තොග SiCසංරචක ඇඳීමට සහ යාන්ත්‍රික බලපෑමට බෙහෙවින් ප්‍රතිරෝධී වේ.
•සුපිරි තාප සන්නායකතාව:300 W/m·K තාප සන්නායකතාව ලබා දෙමින්, තොග SiC තාපය කාර්යක්ෂමව කළමනාකරණය කරයි, එය ආන්තික තාප චක්‍රවලට නිරාවරණය වන සංරචක සඳහා වඩාත් සුදුසු වේ.
•සුවිශේෂී රසායනික ප්රතිරෝධය:ක්ලෝරීන් සහ ෆ්ලෝරීන් මත පදනම් වූ රසායනික ද්‍රව්‍ය ඇතුළුව එචිං වායූන් සමඟ SiC හි අඩු ප්‍රතික්‍රියාශීලීත්වය දිගු සංරචක ආයු කාලය සහතික කරයි.
•සකස් කළ හැකි ප්රතිරෝධය: CVD තොග SiC'sප්‍රතිරෝධකතාව 10⁻²-10⁴ Ω-cm පරාසය තුළ අභිරුචිකරණය කළ හැකි අතර, එය විශේෂිත කැටයම් සහ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන අවශ්‍යතා සඳහා අනුවර්තනය කළ හැකිය.
•තාප විස්තාරණ සංගුණකය:4.8 x 10⁻⁶/°C (25-1000°C) තාප ප්‍රසාරණ සංගුණකය සමඟින්, සීවීඩී තොග SiC තාප කම්පනයට ප්‍රතිරෝධී වන අතර වේගවත් උනුසුම් සහ සිසිලන චක්‍රවලදී පවා මාන ස්ථායීතාවය පවත්වා ගනී.
•ප්ලාස්මා වල කල්පැවැත්ම:අර්ධ සන්නායක ක්රියාවලීන්හිදී ප්ලාස්මා සහ ප්රතික්රියාකාරක වායුවලට නිරාවරණය වීම නොවැළැක්විය හැකිය, නමුත්CVD තොග SiCවිඛාදනයට හා හායනය සඳහා උසස් ප්රතිරෝධයක් ලබා දෙයි, ප්රතිස්ථාපන සංඛ්යාතය සහ සමස්ත නඩත්තු වියදම් අඩු කරයි.
තාක්ෂණික පිරිවිතර:
•විෂ්කම්භය:305 mm ට වැඩි
•ප්‍රතිරෝධකතාව:10⁻²–10⁴ Ω-cm ඇතුළත සකස් කළ හැකිය
•ඝනත්වය:3.2 g/cm³
•තාප සන්නායකතාව:300 W/m·K
•තාප විස්තාරණ සංගුණකය:4.8 x 10⁻⁶/°C (25–1000°C)
අභිරුචිකරණය සහ නම්‍යශීලිත්වය:දීසෙමිසෙරා අර්ධ සන්නායක, සෑම අර්ධ සන්නායක යෙදුමකටම විවිධ පිරිවිතරයන් අවශ්‍ය විය හැකි බව අපි තේරුම් ගනිමු. අපගේ CVD තොග SiC සංරචක ඔබගේ උපකරණ අවශ්‍යතාවයට සරිලන පරිදි වෙනස් කළ හැකි ප්‍රතිරෝධක සහ ගැලපෙන මානයන් සමඟින් සම්පූර්ණයෙන්ම අභිරුචිකරණය කළ හැකි වන්නේ එබැවිනි. ඔබ ඔබේ ප්ලාස්මා කැටයම් පද්ධති ප්‍රශස්තිකරණය කළත් හෝ RTP හෝ විසරණ ක්‍රියාවලීන්හි කල් පවතින සංරචක සොයමින් සිටියත්, අපගේ CVD තොග SiC අසමසම කාර්ය සාධනයක් ලබා දෙයි.
