සෙමිසෙරාගේSiC පැඩල්අවම තාප ප්‍රසාරණය සඳහා නිර්මාණය කර ඇති අතර, මාන නිරවද්‍යතාව තීරණාත්මක වන ක්‍රියාවලීන්හි ස්ථායිතාව සහ නිරවද්‍යතාවය සපයයි. මෙය යෙදුම් සඳහා ඒවා වඩාත් සුදුසු වේවේෆර්වේෆර් බෝට්ටුව එහි ව්‍යුහාත්මක අඛණ්ඩතාව පවත්වා ගෙන යන අතර ස්ථාවර කාර්ය සාධනයක් සහතික කරන බැවින් නැවත නැවත උනුසුම් සහ සිසිලන චක්‍රවලට යටත් වේ.
Semicera's ඇතුළත් කිරීමසිලිකන් කාබයිඩ් විසරණ පැඩල්ඔබේ නිෂ්පාදන රේඛාව තුළට ඔබේ ක්‍රියාවලියේ විශ්වසනීයත්වය ඉහළ නංවනු ඇත, ඒවායේ උසස් තාප හා රසායනික ගුණාංගවලට ස්තුති වන්න. මෙම පැඩල් විසරණය, ඔක්සිකරණය සහ ඇනීලිං ක්‍රියාවලීන් සඳහා පරිපූර්ණ වන අතර, සෑම පියවරකදීම ෙව්ෆර් පරිස්සමින් සහ නිරවද්‍යතාවයෙන් හැසිරවීම සහතික කරයි.
නවෝත්පාදනය Semicera's හි හරය වේSiC paddleනිර්මාණය. මෙම පැඩල් දැනට පවතින අර්ධ සන්නායක උපකරණවලට බාධාවකින් තොරව ගැලපෙන පරිදි සකස් කර ඇති අතර, වැඩිදියුණු කළ හැසිරවීමේ කාර්යක්ෂමතාවයක් සපයයි. සැහැල්ලු ව්‍යුහය සහ ergonomic සැලසුම වේෆර් ප්‍රවාහනය වැඩි දියුණු කරනවා පමණක් නොව, මෙහෙයුම් අක්‍රීය කාලය අඩු කරයි, ප්‍රතිඵලයක් ලෙස විධිමත් නිෂ්පාදනයක් සිදු වේ.
| Recrystallized Silicon Carbide හි භෞතික ගුණාංග | |
| දේපල | සාමාන්ය අගය |
| වැඩ කරන උෂ්ණත්වය (°C) | 1600 ° C (ඔක්සිජන් සහිත), 1700 ° C (පරිසරය අඩු කිරීම) |
| SiC අන්තර්ගතය | > 99.96% |
| නොමිලේ Si අන්තර්ගතය | < 0.1% |
| තොග ඝනත්වය | 2.60-2.70 g / සෙ.මී3 |
| පෙනෙන porosity | < 16% |
| සම්පීඩන ශක්තිය | > 600 MPa |
| සීතල නැමීමේ ශක්තිය | 80-90 MPa (20°C) |
| උණුසුම් නැමීමේ ශක්තිය | 90-100 MPa (1400°C) |
| තාප ප්‍රසාරණය @1500°C | 4.70 10-6/°සී |
| තාප සන්නායකතාවය @1200°C | 23 W/m•K |
| ඉලාස්ටික් මොඩියුලය | 240 GPa |
| තාප කම්පන ප්රතිරෝධය | අතිශයින්ම හොඳයි |
