SiC Cantilever පැඩලයමොනොක්‍රිස්ටලීන් සහ බහු ස්ඵටික සිලිකන් වේෆර් ආලේප කිරීම සඳහා ප්‍රකාශ වෝල්ටීයතා කර්මාන්තයේ විසරණ ආලේපන උදුනේ භාවිතා වේ. එහි ලක්ෂණය එය දිගු ආයු කාලයක් ලබා දෙමින් ඉහළ උෂ්ණත්වයට හා විඛාදනයට ඔරොත්තු දීමට හැකි වේ.
දSiC Cantilever පැඩලයඉහළ උෂ්ණත්ව විසරණ ආලේපන උදුන නලයට සිලිකන් වේෆර් රැගෙන යන SiC බෝට්ටු / ක්වාර්ට්ස් බෝට්ටු ලබා දෙයි.
අපේ දිගSiC Cantilever පැඩලය1,500 සිට 3,500 mm දක්වා පරාසයක පවතී.SiC Cantilever paddle'sමානය පාරිභෝගිකයාගේ පිරිවිතරයන්ට අනුව සකස් කළ හැක.
| Recrystallized Silicon Carbide හි භෞතික ගුණාංග | |
| දේපල | සාමාන්ය අගය |
| වැඩ කරන උෂ්ණත්වය (°C) | 1600 ° C (ඔක්සිජන් සහිත), 1700 ° C (පරිසරය අඩු කිරීම) |
| SiC අන්තර්ගතය | > 99.96% |
| නිදහස් Si අන්තර්ගතය | < 0.1% |
| තොග ඝනත්වය | 2.60-2.70 g / සෙ.මී3 |
| පෙනෙන porosity | < 16% |
| සම්පීඩන ශක්තිය | > 600 MPa |
| සීතල නැමීමේ ශක්තිය | 80-90 MPa (20°C) |
| උණුසුම් නැමීමේ ශක්තිය | 90-100 MPa (1400°C) |
| තාප ප්‍රසාරණය @1500°C | 4.70 10-6/°සී |
| තාප සන්නායකතාවය @1200°C | 23 W/m•K |
| ඉලාස්ටික් මොඩියුලය | 240 GPa |
| තාප කම්පන ප්රතිරෝධය | අතිශයින්ම හොඳයි |
