විස්තරය
SiC ආෙල්පනය සහිත Semicorex Wafer Carriers සුවිශේෂී තාප ස්ථායීතාවය සහ සන්නායකතාවය සපයයි, CVD ක්‍රියාවලීන්හිදී ඒකාකාර තාප ව්‍යාප්තිය සහතික කරයි, උසස් තත්ත්වයේ තුනී පටල සහ ආලේපන ලක්ෂණ සඳහා තීරණාත්මක වේ.
ප්රධාන ලක්ෂණ:
1. කැපී පෙනෙන තාප ස්ථායීතාවය සහ සන්නායකතාවයඅපගේ SiC-ආලේපිත වේෆර් වාහකයන් CVD ක්‍රියාවලීන් සඳහා තීරණාත්මක වන ස්ථායී සහ ස්ථාවර උෂ්ණත්වයන් පවත්වා ගැනීමට විශිෂ්ටයි. මෙය ඒකාකාර තාප ව්‍යාප්තිය සහතික කරයි, උසස් තුනී පටලයක් සහ ආලේපන ගුණාත්මක භාවයක් ඇති කරයි.
2. නිරවද්‍ය නිෂ්පාදනසෑම වේෆර් වාහකයක්ම ඒකාකාර ඝනකම සහ මතුපිට සුමට බව සහතික කරමින් නිශ්චිත ප්‍රමිතීන්ට අනුව නිපදවනු ලැබේ. මෙම නිරවද්‍යතාවය බහු වේෆර් හරහා ස්ථාවර තැන්පත් වීමේ අනුපාත සහ චිත්‍රපට ගුණාංග ලබා ගැනීම සඳහා අත්‍යවශ්‍ය වේ, සමස්ත නිෂ්පාදන ගුණාත්මක භාවය ඉහළ නංවයි.
3. අපිරිසිදු බාධකSiC ආලේපනය අපිරිසිදු බාධකයක් ලෙස ක්‍රියා කරන අතර, susceptor වෙතින් වන අපද්‍රව්‍ය වේෆරය තුළට පැතිරීම වළක්වයි. මෙය අධි සංශුද්ධතාවයෙන් යුත් අර්ධ සන්නායක උපාංග නිෂ්පාදනය සඳහා ඉතා වැදගත් වන දූෂණ අවදානම අවම කරයි.
4. කල්පැවැත්ම සහ පිරිවැය කාර්යක්ෂමතාවශක්තිමත් ඉදි කිරීම් සහ SiC ආලේපනය වේෆර් වාහකවල කල්පැවැත්ම වැඩි දියුණු කරයි, ප්රතිස්ථාපන සංඛ්යාතය අඩු කරයි. මෙය නඩත්තු වියදම් අඩු කිරීමට සහ අක්‍රීය කාලය අවම කිරීමට හේතු වන අතර අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන මෙහෙයුම්වල කාර්යක්ෂමතාව වැඩි කරයි.
5. අභිරුචිකරණ විකල්පSiC ආලේපනය සහිත Semicorex Wafer Carriers ප්‍රමාණයේ, හැඩයේ සහ ආෙල්පන ඝණත්වයේ වෙනස්කම් ඇතුළුව, විශේෂිත ක්‍රියාවලි අවශ්‍යතා සපුරාලීමට අභිරුචිකරණය කළ හැක. මෙම නම්‍යශීලීභාවය විවිධ අර්ධ සන්නායක නිපදවීමේ ක්‍රියාවලීන්ගේ අද්විතීය ඉල්ලීම් වලට ගැලපෙන පරිදි ග්‍රාහකයේ ප්‍රශස්තකරණයට ඉඩ සලසයි. අභිරුචිකරණ විකල්පයන්, විශේෂිත භාවිත අවස්ථා සඳහා ප්‍රශස්ත කාර්ය සාධනයක් සහතික කිරීම, ඉහළ පරිමා නිෂ්පාදනය හෝ පර්යේෂණ සහ සංවර්ධනය වැනි විශේෂිත යෙදුම් සඳහා සකස් කරන ලද susceptor මෝස්තර සංවර්ධනය කිරීමට හැකියාව ලබා දෙයි.
යෙදුම්:
SiC ආලේපනය සහිත Semicera Wafer Carriers වඩාත් සුදුසු වන්නේ:
• අර්ධ සන්නායක ද්‍රව්‍යවල එපිටාක්සීය වර්ධනය
• රසායනික වාෂ්ප තැන්පතු (CVD) ක්‍රියාවලි
• උසස් තත්ත්වයේ අර්ධ සන්නායක වේෆර් නිෂ්පාදනය
• උසස් අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන යෙදුම්
තාක්ෂණික පිරිවිතර:
