විස්තරය
Semicera's SiC ආලේපිත මිනිරන් උපස්ථර උසස් තත්ත්වයේ මිනිරන් උපස්ථර භාවිතයෙන් නිර්මාණය කර ඇති අතර, උසස් රසායනික වාෂ්ප තැන්පතු (CVD) ක්‍රියාවලීන් හරහා ඉතා සූක්ෂම ලෙස සිලිකන් කාබයිඩ් (SiC) ආලේප කර ඇත. මෙම නවෝත්පාදන සැලසුම තාප කම්පනයට සහ රසායනික හායනයට සුවිශේෂී ප්‍රතිරෝධයක් සහතික කරයි, SiC ආලේපිත මිනිරන් ග්‍රන්ථයේ ආයු කාලය සැලකිය යුතු ලෙස දිගු කරයි සහ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලිය පුරාම විශ්වාසනීය ක්‍රියාකාරිත්වය සහතික කරයි.
ප්රධාන ලක්ෂණ:
1. සුපිරි තාප සන්නායකතාවSiC ආලේපිත ග්රැෆයිට් ග්රැෆයිට් ප්‍රතිග්‍රාහකය කැපී පෙනෙන තාප සන්නායකතාව ප්‍රදර්ශනය කරයි, එය අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී කාර්යක්ෂම තාපය විසුරුවා හැරීම සඳහා ඉතා වැදගත් වේ. මෙම ලක්ෂණය වේෆර් මතුපිට තාප අනුක්‍රමණය අවම කරයි, අපේක්ෂිත අර්ධ සන්නායක ගුණාංග ලබා ගැනීම සඳහා අත්‍යවශ්‍ය ඒකාකාර උෂ්ණත්ව ව්‍යාප්තිය ප්‍රවර්ධනය කරයි.
2. ශක්තිමත් රසායනික සහ තාප කම්පන ප්‍රතිරෝධයSiC ආෙල්පනය රසායනික විඛාදනයට සහ තාප කම්පනයට එරෙහිව බලවත් ආරක්ෂාවක් සපයයි, රළු සැකසුම් පරිසරයන් තුළ පවා ග්රැෆයිට් ග්රාහකයේ අඛණ්ඩතාව පවත්වා ගනී. මෙම වැඩි දියුණු කළ කල්පැවැත්ම අක්‍රිය කාලය අඩු කරන අතර ආයු කාලය දීර්ඝ කරයි, අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන පහසුකම්වල ඵලදායිතාව සහ පිරිවැය-කාර්යක්ෂමතාව වැඩි කිරීමට දායක වේ.
3. විශේෂිත අවශ්‍යතා සඳහා අභිරුචිකරණයඅපගේ SiC ආලේපිත ග්රැෆයිට් susceptors නිශ්චිත අවශ්‍යතා සහ මනාපයන් සපුරාලීම සඳහා සකස් කළ හැක. විවිධ යෙදුම් සහ ක්‍රියාවලි පරාමිතීන් සඳහා සැලසුම් නම්‍යශීලී බව සහ ප්‍රශස්ත කාර්ය සාධනය සහතික කිරීම සඳහා අපි ප්‍රමාණයේ ගැලපීම් සහ ආලේපන ඝණකමෙහි වෙනස්කම් ඇතුළුව අභිරුචිකරණ විකල්ප පරාසයක් පිරිනමන්නෙමු.
අයදුම්පත්:
යෙදුම්Semicera SiC ආලේපන අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ විවිධ අවස්ථා වලදී භාවිතා වේ, ඒවා අතර:
1. -LED චිප් Fabrication
2. -පොලිසිලිකන් නිෂ්පාදනය
3. - අර්ධ සන්නායක ස්ඵටික වර්ධනය
4. -Silicon සහ SiC Epitaxy
5. -තාප ඔක්සිකරණය සහ විසරණය (TO&D)
තාක්ෂණික පිරිවිතර:
