නිෂ්පාදන දළ විශ්ලේෂණය
දසිලිකන් කාවද්දන ලද සිලිකන් කාබයිඩ් (SiC) පැඩල් සහ වේෆර් වාහකයඅර්ධ සන්නායක තාප සැකසුම් යෙදුම්වල ඉල්ලුමේ අවශ්යතා සපුරාලීම සඳහා නිර්මාණය කර ඇත. ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් SiC වලින් සාදන ලද සහ සිලිකන් කාවැද්දීම හරහා වැඩිදියුණු කරන ලද මෙම නිෂ්පාදනය ඉහළ-උෂ්ණත්ව ක්‍රියාකාරිත්වය, විශිෂ්ට තාප සන්නායකතාවය, විඛාදන ප්රතිරෝධය සහ කැපී පෙනෙන යාන්ත්රික ශක්තියේ අද්විතීය සංයෝජනයක් ඉදිරිපත් කරයි.
නිරවද්‍ය නිෂ්පාදන සමඟ උසස් ද්රව්ය විද්‍යාව ඒකාබද්ධ කිරීමෙන්, මෙම විසඳුම අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදකයින් සඳහා උසස් ක්‍රියාකාරිත්වය, විශ්වසනීයත්වය සහ කල්පැවැත්ම සහතික කරයි.
ප්රධාන ලක්ෂණ
1.සුවිශේෂී අධි-උෂ්ණත්ව ප්රතිරෝධය
සෙල්සියස් අංශක 2700 ඉක්මවන ද්‍රවාංකයක් සහිතව, SiC ද්රව්ය අධික තාපය යටතේ සහජයෙන්ම ස්ථායී වේ. සිලිකන් impregnation තවදුරටත් ඒවායේ තාප ස්ථායීතාවය වැඩි දියුණු කරයි, ව්යුහාත්මක දුර්වල වීම හෝ කාර්ය සාධනය පිරිහීමකින් තොරව ඉහළ උෂ්ණත්වයන්ට දිගුකාලීන නිරාවරණයට ඔරොත්තු දීමට ඉඩ සලසයි.
2.සුපිරි තාප සන්නායකතාව
සිලිකන් කාවද්දන ලද SiC හි සුවිශේෂී තාප සන්නායකතාවය ඒකාකාර තාප ව්යාප්තිය සහතික කරයි, තීරණාත්මක සැකසුම් අවස්ථා වලදී තාප ආතතිය අඩු කරයි. මෙම ගුණාංගය උපකරණ ආයු කාලය දිගු කරන අතර නිෂ්පාදන අක්‍රිය කාලය අවම කරයි, එය ඉහළ උෂ්ණත්ව තාප සැකසුම් සඳහා වඩාත් සුදුසු වේ.
3.ඔක්සිකරණය සහ විඛාදන ප්රතිරෝධය
ශක්තිමත් සිලිකන් ඔක්සයිඩ් ස්ථරයක් මතුපිට ස්වභාවිකව සාදයි, ඔක්සිකරණයට සහ විඛාදනයට කැපී පෙනෙන ප්රතිරෝධයක් සපයයි. මෙමගින් ද්රව්ය සහ අවට සංරචක යන දෙකම ආරක්ෂා කරමින්, කටුක මෙහෙයුම් පරිසරයන්හි දිගුකාලීන විශ්වසනීයත්වය සහතික කරයි.
4.ඉහළ යාන්ත්රික ශක්තිය සහ ඇඳුම් ප්රතිරෝධය
Silicon-impregnated SiC විශිෂ්ට සම්පීඩ්‍යතා ශක්තියක් සහ ඇඳුම් ප්රතිරෝධයක් දක්වයි, අධික බර, ඉහළ උෂ්ණත්ව තත්ත්ව යටතේ එහි ව්යුහාත්මක අඛණ්ඩතාව පවත්වා ගනී. මෙය දිගු භාවිත චක්‍රවල ස්ථාවර කාර්ය සාධනය සහතික කරමින්, ඇඳීම් සම්බන්ධ හානිවල අවදානම අඩු කරයි.
පිරිවිතර
| නිෂ්පාදන නම | SC-RSiC-Si |
| ද්රව්ය | Silicon impregnation Silicon Carbide Compact (ඉහළ සංශුද්ධතාවය) |
| යෙදුම් | අර්ධ සන්නායක තාප පිරියම් කිරීමේ කොටස්, අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන උපකරණ කොටස් |
| බෙදා හැරීමේ පෝරමය | අච්චු ශරීරය (සින්ටර් කරන ලද ශරීරය) |
| සංයුතිය | යාන්ත්රික දේපල | තරුණ මාපාංකය (GPa) | නැමීමේ ශක්තිය (MPa) | ||
| සංයුතිය (vol%) | α-SiC | α-SiC | RT | 370 | 250 |
| 82 | 18 | 800°C | 360 | 220 | |
| තොග ඝනත්වය (kg/m³) | 3.02 x 103 | 1200°C | 340 | 220 | |
| තාප ආරක්ෂිත උෂ්ණත්වය ° C | 1350 | පොයිසන් අනුපාතය | 0.18(RT) | ||
| තාප දේපල | තාප සන්නායකතාව (W/(m· K)) | විශේෂිත තාප ධාරිතාව (kJ/(kg·K)) | තාප ව්යාප්තියේ සංගුණකය (1/K) | ||
| RT | 220 | 0.7 | RT~700°C | 3.4 x 10-6 | |
| 700°C | 60 | 1.23 | 700 ~ 1200 ° C | 4.3 x10-6 | |
| අපිරිසිදු අන්තර්ගතය ((ppm) | |||||||||||||
| මූලද්රව්යය | Fe | Ni | Na | K | Mg | Ca | Cr | Mn | Zn | Cu | Ti | Va | Ai |
| අන්තර්ගත අනුපාතය | 3 | <2 | <0.5 | <0.1 | <1 | 5 | 0.3 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.3 | <0.3 | 25 |
යෙදුම්
▪අර්ධ සන්නායක තාප සැකසුම්:නිශ්චිත උෂ්ණත්ව පාලනය සහ ද්රව්ය කල්පැවැත්ම තීරනාත්මක වන රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් වීම (CVD), epitaxial වර්ධනය සහ annealing වැනි ක්‍රියාවලීන් සඳහා වඩාත් සුදුසුය.
▪වේෆර් වාහක සහ පැඩල්:ඉහළ උෂ්ණත්ව තාප පිරියම් කිරීමේදී වේෆර් ආරක්ෂිතව රඳවා තබා ගැනීමට සහ ප්‍රවාහනය කිරීමට නිර්මාණය කර ඇත.
▪අන්ත මෙහෙයුම් පරිසරයන්: තාපය, රසායනික නිරාවරණය සහ යාන්ත්රික ආතතියට ප්රතිරෝධය අවශ්‍ය සැකසුම් සඳහා සුදුසු වේ.
Silicon-impregnated SiC හි වාසි
ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් සිලිකන් කාබයිඩ් සහ උසස් සිලිකන් impregnation තාක්ෂණයේ සංයෝජනය අසමසම කාර්ය සාධන ප්‍රතිලාභ ලබා දෙයි:
▪නිරවද්යතාව:අර්ධ සන්නායක සැකසීමේ නිරවද්‍යතාවය සහ පාලනය වැඩි දියුණු කරයි.
▪ස්ථාවරත්වය:ක්‍රියාකාරීත්වයට හානියක් නොවන පරිදි කටුක පරිසරයන්ට ඔරොත්තු දෙයි.
▪කල් පැවැත්ම:අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන උපකරණවල සේවා කාලය දීර්ඝ කරයි.
▪කාර්යක්ෂමතාව:විශ්වසනීය හා ස්ථාවර ප්රතිඵල සහතික කිරීම මගින් ඵලදායිතාව වැඩි දියුණු කරයි.
අපගේ Silicon-impregnated SiC විසඳුම් තෝරා ගන්නේ ඇයි?
At සෙමිසෙරා, අපි අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදකයින්ගේ අවශ්‍යතාවලට ගැලපෙන ඉහළ කාර්ය සාධන විසඳුම් සැපයීමට විශේෂත්වයක් දරයි. අපගේ Silicon-impregnated Silicon Carbide Paddle සහ Wafer Carrier කර්මාන්තයේ ප්‍රමිතීන්ට අනුකූලව දැඩි පරීක්ෂණ සහ තත්ත්ව සහතික කිරීම් සිදු කරයි. Semicera තෝරා ගැනීමෙන්, ඔබ ඔබේ නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලීන් ප්‍රශස්ත කිරීමට සහ ඔබේ නිෂ්පාදන හැකියාවන් වැඩි දියුණු කිරීමට නිර්මාණය කර ඇති අති නවීන ද්රව්ය වෙත ප්‍රවේශය ලබා ගනී.
තාක්ෂණික පිරිවිතර
▪ද්රව්ය සංයුතිය:සිලිකන් impregnation සමඟ ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් සිලිකන් කාබයිඩ්.
▪මෙහෙයුම් උෂ්ණත්ව පරාසය:2700 ° C දක්වා.
▪ තාප සන්නායකතාව:ඒකාකාර තාප ව්යාප්තිය සඳහා සුවිශේෂී ලෙස ඉහළ ය.
▪ප්රතිරෝධක ගුණාංග:ඔක්සිකරණය, විඛාදන සහ ඇඳුම්-ප්‍රතිරෝධී.
▪යෙදුම්:විවිධ අර්ධ සන්නායක තාප සැකසුම් පද්ධති සමඟ අනුකූල වේ.
අපව අමතන්න
ඔබේ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලිය ඉහළ නැංවීමට සූදානම්ද? අමතන්නසෙමිසෙරාඅද අපගේ Silicon-impregnated Silicon Carbide Paddle සහ Wafer Carrier ගැන තව දැන ගැනීමට.
▪විද්‍යුත් තැපෑල: sales01@semi-cera.com/sales05@semi-cera.com
▪දුරකථනය: +86-0574-8650 3783
▪ස්ථානය:No.1958 Jiangnan පාර, Ningbo High tech, Zone, Zhejiang Province, 315201, චීනය
