Semicera's SOI Wafer (Silicon On Insulator) නිර්මාණය කර ඇත්තේ උසස් විදුලි හුදකලාවක් සහ තාප ක්‍රියාකාරීත්වයක් ලබා දීම සඳහා ය. පරිවාරක තට්ටුවක් මත සිලිකන් තට්ටුවක් සහිත මෙම නව්‍ය වේෆර් ව්යුහය, වැඩිදියුණු කළ උපාංග ක්‍රියාකාරිත්වය සහ අඩු බලශක්ති පරිභෝජනය සහතික කරයි, එය විවිධ අධි තාක්‍ෂණික යෙදුම් සඳහා වඩාත් සුදුසු වේ.
අපගේ SOI වේෆර් පරපෝෂිත ධාරිතාව අවම කිරීම සහ උපාංග වේගය සහ කාර්යක්ෂමතාව වැඩි දියුණු කිරීම මගින් ඒකාබද්ධ පරිපථ සඳහා සුවිශේෂී ප්‍රතිලාභ ලබා දෙයි. නවීන ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණ සඳහා මෙය ඉතා වැදගත් වන අතර, පාරිභෝගික සහ කාර්මික යෙදුම් සඳහා ඉහළ කාර්ය සාධනය සහ බලශක්ති කාර්යක්ෂමතාව අත්‍යවශ්‍ය වේ.
Semicera ස්ථාවර ගුණාත්මක භාවය සහ විශ්වසනීයත්වය සහිත SOI වේෆර් නිෂ්පාදනය කිරීම සඳහා උසස් නිෂ්පාදන ශිල්පීය ක්‍රම භාවිතා කරයි. මෙම වේෆර් විශිෂ්ට තාප පරිවාරකයක් සපයන අතර, අධික ඝනත්ව ඉලෙක්ට්‍රොනික උපාංග සහ බල කළමනාකරණ පද්ධති වැනි තාපය විසුරුවා හැරීම සැලකිලිමත් වන පරිසරවල භාවිතයට සුදුසු වේ.
අර්ධ සන්නායක නිපදවීමේදී SOI වේෆර් භාවිතය කුඩා, වේගවත් සහ වඩා විශ්වාසදායක චිප්ස් සංවර්ධනය කිරීමට ඉඩ සලසයි. නිරවද්‍ය ඉංජිනේරු විද්‍යාව සඳහා Semicera හි කැපවීම අපගේ SOI වේෆර් විදුලි සංදේශ, මෝටර් රථ සහ පාරිභෝගික ඉලෙක්ට්‍රොනික වැනි ක්ෂේත්‍රවල අති නවීන තාක්ෂණයන් සඳහා අවශ්‍ය උසස් ප්‍රමිතීන් සපුරාලන බව සහතික කරයි.
Semicera's SOI Wafer තෝරා ගැනීම යනු ඉලෙක්ට්‍රොනික සහ ක්ෂුද්ර ඉලෙක්ට්‍රොනික තාක්ෂණයන්හි දියුණුවට සහාය වන නිෂ්පාදනයක් සඳහා ආයෝජනය කිරීමයි. අපගේ වේෆර් නිර්මාණය කර ඇත්තේ වැඩිදියුණු කළ කාර්ය සාධනය සහ කල්පැවැත්ම සැපයීම සඳහා වන අතර, ඔබේ අධි තාක්‍ෂණික ව්‍යාපෘතිවල සාර්ථකත්වයට දායක වන අතර ඔබ නව්‍යකරණයේ ඉදිරියෙන්ම සිටින බව සහතික කරයි.
| අයිතම | නිෂ්පාදනය | පර්යේෂණ | ඩමි |
| ස්ඵටික පරාමිතීන් | |||
| පොලිටයිප් | 4H | ||
| මතුපිට දිශානතියේ දෝෂය | <11-20 >4±0.15° | ||
| විදුලි පරාමිතීන් | |||
| ඩොපන්ට් | n-වර්ගය නයිට්රජන් | ||
| ප්රතිරෝධකතාව | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| යාන්ත්රික පරාමිතීන් | |||
| විෂ්කම්භය | 150.0 ± 0.2 මි.මී | ||
| ඝනකම | 350±25 μm | ||
| ප්රාථමික පැතලි දිශානතිය | [1-100]±5° | ||
| ප්රාථමික පැතලි දිග | 47.5 ± 1.5 මි.මී | ||
| ද්විතියික පැතලි | කිසිවක් නැත | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| දුන්න | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| ඉදිරිපස (Si-මුහුණ) රළුබව (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| ව්යුහය | |||
| ක්ෂුද්ර නල ඝනත්වය | <1 EA/cm2 | <10 EA/cm2 | <15 EA/cm2 |
| ලෝහ අපද්රව්ය | ≤5E10atoms/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 EA/cm2 | ≤3000 EA/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 EA/cm2 | ≤1000 EA/cm2 | NA |
| ඉදිරිපස ගුණාත්මකභාවය | |||
| ඉදිරිපස | Si | ||
| මතුපිට නිමාව | Si-Face CMP | ||
| අංශු | ≤60ea/වේෆර් (ප්‍රමාණය≥0.3μm) | NA | |
| සීරීම් | ≤5ea/මි.මී. සමුච්චිත දිග ≤විෂ්කම්භය | සමුච්චිත දිග≤2*විෂ්කම්භය | NA |
| තැඹිලි පීල් / වලවල් / පැල්ලම් / ඉරිතැලීම් / අපවිත්ර වීම | කිසිවක් නැත | NA | |
| Edge chips/indents/fracture/hex plates | කිසිවක් නැත | ||
| පොලිටයිප් ප්රදේශ | කිසිවක් නැත | සමුච්චිත ප්රදේශය≤20% | සමුච්චිත ප්රදේශය≤30% |
| ඉදිරිපස ලේසර් සලකුණු කිරීම | කිසිවක් නැත | ||
| පසුපස ගුණාත්මකභාවය | |||
| පසුපස නිමාව | C-face CMP | ||
| සීරීම් | ≤5ea/mm, සමුච්චිත දිග≤2*විෂ්කම්භය | NA | |
| පිටුපස දෝෂ (දාර චිප්ස්/ඉන්ඩන්ට්) | කිසිවක් නැත | ||
| පිටුපස රළුබව | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| පසුපස ලේසර් සලකුණු කිරීම | 1 mm (ඉහළ දාරයේ සිට) | ||
| දාරය | |||
| දාරය | චැම්ෆර් | ||
| ඇසුරුම්කරණය | |||
| ඇසුරුම්කරණය | රික්ත ඇසුරුම් සහිත Epi-සුදානම් බහු වේෆර් කැසට් ඇසුරුම් | ||
| *සටහන්: "NA" යන්නෙන් අදහස් වන්නේ කිසිදු ඉල්ලීමක් සඳහන් නොකළ අයිතමයන් SEMI-STD වෙත යොමු විය හැක. | |||
