TaC ආලේප කර ඇතගැඹුරු පාරජම්බුල LED මිනිරන් පදනමක් තැන්පත් කිරීමෙන් උපාංගයේ ක්‍රියාකාරීත්වය සහ ස්ථායීතාවය වැඩි දියුණු කිරීමේ ක්‍රියාවලියට යොමු වේ.TaC ආලේපනයගැඹුරු පාරජම්බුල LED උපාංගය සකස් කිරීමේදී ගැෆයිට් පදනම මත. මෙම ආලේපනය මඟින් උපාංගයේ තාපය විසුරුවා හැරීමේ ක්‍රියාකාරිත්වය, ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්‍රතිරෝධය සහ ඔක්සිකරණ ප්‍රතිරෝධය වැඩි දියුණු කළ හැකි අතර එමඟින් LED උපාංගයේ කාර්යක්ෂමතාව සහ විශ්වසනීයත්වය වැඩි දියුණු කළ හැකිය. ගැඹුරු පාරජම්බුල LED උපාංග සාමාන්‍යයෙන් උපාංගයේ ස්ථායීතාවය සහ ක්‍රියාකාරිත්වය සඳහා ඉහළ අවශ්‍යතා ඇති විෂබීජ නාශක, සැහැල්ලු සුව කිරීම වැනි සමහර විශේෂ ක්ෂේත්‍රවල භාවිතා වේ. යෙදුමTaC ආලේපිත මිනිරන්ගැඹුරු පාරජම්බුල LED තාක්ෂණය දියුණු කිරීම සඳහා වැදගත් සහයක් ලබා දෙමින් උපාංගයේ කල්පැවැත්ම සහ ක්‍රියාකාරිත්වය ඵලදායි ලෙස වැඩිදියුණු කිරීමට පදනමට හැකිය.
Semicera විවිධ සංරචක සහ වාහකයන් සඳහා විශේෂිත ටැන්ටලම් කාබයිඩ් (TaC) ආලේපන සපයයි.Semicera ප්‍රමුඛ ආෙල්පන ක්‍රියාවලිය ටැන්ටලම් කාබයිඩ් (TaC) ආෙල්පනවලට ඉහළ සංශුද්ධතාවය, ඉහළ උෂ්ණත්ව ස්ථායීතාව සහ ඉහළ රසායනික ඉවසීම ලබා ගැනීමට හැකියාව ලබා දෙයි, SIC/GAN ස්ඵටිකවල සහ EPI ස්ථරවල නිෂ්පාදන ගුණත්වය වැඩි දියුණු කරයි (ග්රැෆයිට් ආලේපිත TaC susceptor), සහ ප්රධාන ප්රතික්රියාකාරක සංරචකවල ආයු කාලය දීර්ඝ කිරීම. ටැන්ටලම් කාබයිඩ් TaC ආලේපනය භාවිතා කිරීම දාර ගැටලුව විසඳීම සහ ස්ඵටික වර්ධනයේ ගුණාත්මක භාවය වැඩිදියුණු කිරීම සඳහා වන අතර, Semicera විසින් ජාත්‍යන්තර උසස් මට්ටමට ළඟා වෙමින් ටැන්ටලම් කාබයිඩ් ආලේපන තාක්ෂණය (CVD) විසඳා ඇත.
වසර ගණනාවක සංවර්ධනයෙන් පසු, Semicera තාක්ෂණය ජයගෙන ඇතCVD TaCපර්යේෂණ සහ සංවර්ධන දෙපාර්තමේන්තුවේ ඒකාබද්ධ උත්සාහයන් සමඟ. SiC වේෆර්වල වර්ධන ක්‍රියාවලියේදී දෝෂ ඇතිවීම පහසුය, නමුත් භාවිතයෙන් පසුවTaC, වෙනස සැලකිය යුතු ය. පහත දැක්වෙන්නේ TaC සමඟ සහ රහිත වේෆර්වල සංසන්දනය මෙන්ම තනි ස්ඵටික වර්ධනය සඳහා Simicera' කොටස් ය.
TaC සමඟ සහ නැතිව
TaC භාවිතා කිරීමෙන් පසු (දකුණ)
එපමණක් නොව, සෙමිසෙරාගේTaC ආලේපිත නිෂ්පාදනහා සසඳන විට දිගු සේවා කාලය සහ වැඩි ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්රතිරෝධයක් පෙන්නුම් කරයිSiC ආලේපන.රසායනාගාර මිනුම් අපගේ බව පෙන්නුම් කර ඇතTaC ආලේපනදිගු කාලයක් සඳහා සෙල්සියස් අංශක 2300 දක්වා උෂ්ණත්වවලදී අඛණ්ඩව සිදු කළ හැක. අපගේ සාම්පල සඳහා උදාහරණ කිහිපයක් පහත දැක්වේ:
