Semicera විවිධ සංරචක සහ වාහකයන් සඳහා විශේෂිත ටැන්ටලම් කාබයිඩ් (TaC) ආලේපන සපයයි.Semicera ප්‍රමුඛ ආෙල්පන ක්‍රියාවලිය ටැන්ටලම් කාබයිඩ් (TaC) ආෙල්පනවලට ඉහළ සංශුද්ධතාවය, ඉහළ උෂ්ණත්ව ස්ථායීතාව සහ ඉහළ රසායනික ඉවසීම ලබා ගැනීමට හැකියාව ලබා දෙයි, SIC/GAN ස්ඵටිකවල සහ EPI ස්ථරවල නිෂ්පාදන ගුණත්වය වැඩි දියුණු කරයි (ග්රැෆයිට් ආලේපිත TaC susceptor), සහ ප්රධාන ප්රතික්රියාකාරක සංරචකවල ආයු කාලය දීර්ඝ කිරීම. ටැන්ටලම් කාබයිඩ් TaC ආලේපනය භාවිතා කිරීම දාර ගැටලුව විසඳීම සහ ස්ඵටික වර්ධනයේ ගුණාත්මක භාවය වැඩිදියුණු කිරීම සඳහා වන අතර, Semicera විසින් ජාත්‍යන්තර උසස් මට්ටමට ළඟා වෙමින් ටැන්ටලම් කාබයිඩ් ආලේපන තාක්ෂණය (CVD) විසඳා ඇත.
සිලිකන් කාබයිඩ් (SiC) යනු තුන්වන පරම්පරාවේ අර්ධ සන්නායකවල ප්රධාන ද්‍රව්‍යයකි, නමුත් එහි අස්වැන්න අනුපාතය කර්මාන්තයේ වර්ධනය සඳහා සීමාකාරී සාධකයක් වී ඇත. සෙමිසෙරාගේ රසායනාගාරවල විස්තීර්ණ පරීක්‍ෂාවෙන් පසුව, ඉසින ලද සහ සින්ටර් කරන ලද TaC හි අවශ්‍ය සංශුද්ධතාවය සහ ඒකාකාරිත්වය නොමැති බව සොයාගෙන ඇත. ඊට වෙනස්ව, CVD ක්‍රියාවලිය PPM 5 ක සංශුද්ධතා මට්ටමක් සහ විශිෂ්ට ඒකාකාරී බවක් සහතික කරයි. CVD TaC භාවිතය සිලිකන් කාබයිඩ් වේෆර්වල අස්වැන්න අනුපාතය සැලකිය යුතු ලෙස වැඩි දියුණු කරයි. අපි සාකච්ඡා සාදරයෙන් පිළිගනිමුTaC ආලේපිත ග්රැෆයිට් තුනේ මුදු SiC වේෆර්වල පිරිවැය තවදුරටත් අඩු කිරීමට.
වසර ගණනාවක සංවර්ධනයෙන් පසුව, Semicera තාක්ෂණය ජයගෙන ඇතCVD TaCපර්යේෂණ සහ සංවර්ධන දෙපාර්තමේන්තුවේ ඒකාබද්ධ උත්සාහයන් සමඟ. SiC වේෆර්වල වර්ධන ක්‍රියාවලියේදී දෝෂ ඇතිවීම පහසුය, නමුත් භාවිතයෙන් පසුවTaC, වෙනස සැලකිය යුතු ය. පහත දැක්වෙන්නේ TaC සමඟ සහ රහිත වේෆර්වල සංසන්දනය මෙන්ම තනි ස්ඵටික වර්ධනය සඳහා Simicera' කොටස් ය.
TaC සමඟ සහ නැතිව
TaC භාවිතා කිරීමෙන් පසු (දකුණ)
එපමණක් නොව, සෙමිසෙරාගේTaC ආලේපිත නිෂ්පාදනහා සසඳන විට දිගු සේවා කාලය සහ වැඩි ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්රතිරෝධයක් පෙන්නුම් කරයිSiC ආලේපන.රසායනාගාර මිනුම් අපගේ බව පෙන්නුම් කර ඇතTaC ආලේපනදිගු කාලයක් සඳහා සෙල්සියස් අංශක 2300 දක්වා උෂ්ණත්වවලදී අඛණ්ඩව සිදු කළ හැක. අපගේ සාම්පල සඳහා උදාහරණ කිහිපයක් පහත දැක්වේ:
