Semicera විවිධ සංරචක සහ වාහකයන් සඳහා විශේෂිත ටැන්ටලම් කාබයිඩ් (TaC) ආලේපන සපයයි.Semicera ප්‍රමුඛ ආෙල්පන ක්‍රියාවලිය ටැන්ටලම් කාබයිඩ් (TaC) ආෙල්පනවලට ඉහළ සංශුද්ධතාවය, ඉහළ උෂ්ණත්ව ස්ථායීතාව සහ ඉහළ රසායනික ඉවසීම ලබා ගැනීමට හැකියාව ලබා දෙයි, SIC/GAN ස්ඵටිකවල සහ EPI ස්ථරවල නිෂ්පාදන ගුණත්වය වැඩි දියුණු කරයි (ග්රැෆයිට් ආලේපිත TaC susceptor), සහ ප්රධාන ප්රතික්රියාකාරක සංරචකවල ආයු කාලය දීර්ඝ කිරීම. ටැන්ටලම් කාබයිඩ් TaC ආලේපනය භාවිතා කිරීම දාර ගැටලුව විසඳීම සහ ස්ඵටික වර්ධනයේ ගුණාත්මක භාවය වැඩිදියුණු කිරීම සඳහා වන අතර, Semicera විසින් ජාත්‍යන්තර උසස් මට්ටමට ළඟා වෙමින් ටැන්ටලම් කාබයිඩ් ආලේපන තාක්ෂණය (CVD) විසඳා ඇත.
අඟල් 8 සිලිකන් කාබයිඩ් (SiC) වේෆර් පැමිණීමත් සමඟ, විවිධ අර්ධ සන්නායක ක්‍රියාවලීන් සඳහා වන අවශ්‍යතා වඩ වඩාත් දැඩි වී ඇත, විශේෂයෙන් උෂ්ණත්වය සෙල්සියස් අංශක 2000 ඉක්මවිය හැකි epitaxy ක්‍රියාවලීන් සඳහා. සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේප කරන ලද මිනිරන් වැනි සාම්ප්‍රදායික susceptor ද්‍රව්‍ය, මෙම ඉහළ උෂ්ණත්වවලදී උත්කෘෂ්ට වීමට නැඹුරු වන අතර, epitaxy ක්‍රියාවලිය කඩාකප්පල් කරයි. කෙසේ වෙතත්, CVD ටැන්ටලම් කාබයිඩ් (TaC) සෙල්සියස් අංශක 2300 දක්වා උෂ්ණත්වයට ඔරොත්තු දෙන සහ දිගු සේවා කාලයක් ලබා දෙමින් මෙම ගැටලුව ඵලදායී ලෙස විසඳයි. Semicera අමතන්න's ටැන්ටලම් කාබයිඩ් TaC CVD ආෙල්පන වේෆර් සසෙප්ටරයඅපගේ උසස් විසඳුම් පිළිබඳ වැඩිදුර ගවේෂණය කිරීමට.
වසර ගණනාවක සංවර්ධනයෙන් පසුව, Semicera තාක්ෂණය ජයගෙන ඇතCVD TaCපර්යේෂණ සහ සංවර්ධන දෙපාර්තමේන්තුවේ ඒකාබද්ධ උත්සාහයන් සමඟ. SiC වේෆර්වල වර්ධන ක්‍රියාවලියේදී දෝෂ ඇතිවීම පහසුය, නමුත් භාවිතයෙන් පසුවTaC, වෙනස සැලකිය යුතු ය. පහත දැක්වෙන්නේ TaC සමඟ සහ රහිත වේෆර්වල සංසන්දනය මෙන්ම තනි ස්ඵටික වර්ධනය සඳහා Simicera' කොටස් ය.
TaC සමඟ සහ නැතිව
TaC භාවිතා කිරීමෙන් පසු (දකුණ)
එපමණක් නොව, සෙමිසෙරාගේTaC ආලේපිත නිෂ්පාදනහා සසඳන විට දිගු සේවා කාලය සහ වැඩි ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්රතිරෝධයක් පෙන්නුම් කරයිSiC ආලේපන.රසායනාගාර මිනුම් අපගේ බව පෙන්නුම් කර ඇතTaC ආලේපනදිගු කාලයක් සඳහා සෙල්සියස් අංශක 2300 දක්වා උෂ්ණත්වවලදී අඛණ්ඩව සිදු කළ හැක. අපගේ සාම්පල සඳහා උදාහරණ කිහිපයක් පහත දැක්වේ:
