Semicera විවිධ සංරචක සහ වාහකයන් සඳහා විශේෂිත ටැන්ටලම් කාබයිඩ් (TaC) ආලේපන සපයයි.Semicera ප්‍රමුඛ ආෙල්පන ක්‍රියාවලිය ටැන්ටලම් කාබයිඩ් (TaC) ආෙල්පනවලට ඉහළ සංශුද්ධතාවය, ඉහළ උෂ්ණත්ව ස්ථායීතාව සහ ඉහළ රසායනික ඉවසීම ලබා ගැනීමට හැකියාව ලබා දෙයි, SIC/GAN ස්ඵටිකවල සහ EPI ස්ථරවල නිෂ්පාදන ගුණත්වය වැඩි දියුණු කරයි (ග්රැෆයිට් ආලේපිත TaC susceptor), සහ ප්රධාන ප්රතික්රියාකාරක සංරචකවල ආයු කාලය දීර්ඝ කිරීම. ටැන්ටලම් කාබයිඩ් TaC ආලේපනය භාවිතා කිරීම දාර ගැටළුව විසඳීම සහ ස්ඵටික වර්ධනයේ ගුණාත්මක භාවය වැඩිදියුණු කිරීම සඳහා වන අතර, Semicera විසින් ජාත්‍යන්තර උසස් මට්ටමට ළඟා වෙමින් ටැන්ටලම් කාබයිඩ් ආලේපන තාක්ෂණය (CVD) විසඳා ඇත.
ටැන්ටලම් කාබයිඩ් ආලේපිත වේෆර් වාහක අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්රියාවලීන්හි වේෆර් සැකසුම් සහ හැසිරවීමේ ක්රියාවලීන්හි බහුලව භාවිතා වේ. නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේදී වේෆර්වල ආරක්ෂාව, නිරවද්‍යතාවය සහ අනුකූලතාව සහතික කිරීම සඳහා ඒවා ස්ථාවර සහය සහ ආරක්ෂාව සපයයි. ටැන්ටලම් කාබයිඩ් ආලේපන වාහකයාගේ සේවා කාලය දීර්ඝ කිරීම, පිරිවැය අඩු කිරීම සහ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනවල ගුණාත්මකභාවය සහ විශ්වසනීයත්වය වැඩි දියුණු කළ හැකිය.
ටැන්ටලම් කාබයිඩ් ආලේපිත වේෆර් වාහකයේ විස්තරය පහත පරිදි වේ:
1. ද්‍රව්‍ය තෝරාගැනීම: ටැන්ටලම් කාබයිඩ් යනු විශිෂ්ට කාර්ය සාධනයක්, ඉහළ දෘඪතාවක්, ඉහළ ද්‍රවාංකයක්, විඛාදන ප්රතිරෝධයක් සහ විශිෂ්ට යාන්ත්‍රික ගුණ ඇති ද්‍රව්‍යයකි, එබැවින් එය අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේදී බහුලව භාවිතා වේ.
2. මතුපිට ආලේපනය: ටැන්ටලම් කාබයිඩ් ආලේපනය ඒකාකාර සහ ඝන ටැන්ටලම් කාබයිඩ් ආලේපනයක් සෑදීම සඳහා විශේෂ ආලේපන ක්රියාවලියක් හරහා වේෆර් වාහකයේ මතුපිටට යොදනු ලැබේ. මෙම ආලේපනය හොඳ තාප සන්නායකතාවක් ඇති අතරම අමතර ආරක්ෂාවක් සහ ඇඳුම් ප්රතිරෝධයක් ලබා දිය හැකිය.
3. සමතලා බව සහ නිරවද්‍යතාවය: ටැන්ටලම් කාබයිඩ් ආලේපිත වේෆර් වාහකයේ ඉහළ සමතලා බවක් සහ නිරවද්‍යතාවයක් ඇත, නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේදී වේෆර්වල ස්ථායිතාව සහ නිරවද්‍යතාවය සහතික කරයි. වේෆරයේ ගුණාත්මකභාවය සහ ක්‍රියාකාරීත්වය සහතික කිරීම සඳහා වාහක පෘෂ්ඨයේ පැතලි බව සහ නිමාව ඉතා වැදගත් වේ.
4. උෂ්ණත්ව ස්ථායීතාවය: ටැන්ටලම් කාබයිඩ් ආලේපිත වේෆර් වාහකයන්ට ඉහළ උෂ්ණත්ව පරිසරවල විරූපණය හෝ ලිහිල් කිරීමකින් තොරව ස්ථායීතාවය පවත්වා ගත හැකි අතර, ඉහළ උෂ්ණත්ව ක්රියාවලීන්හි වේෆර්වල ස්ථාවරත්වය සහ අනුකූලතාව සහතික කරයි.
5. විඛාදන ප්‍රතිරෝධය: ටැන්ටලම් කාබයිඩ් ආලේපනවල විශිෂ්ට විඛාදන ප්රතිරෝධයක් ඇත, රසායනික ද්‍රව්‍ය සහ ද්‍රාවක ඛාදනය වීමට ප්‍රතිරෝධය දැක්විය හැකි අතර ද්‍රව සහ වායු විඛාදනයෙන් වාහකය ආරක්ෂා කරයි.
TaC සමඟ සහ නැතිව
TaC භාවිතා කිරීමෙන් පසු (දකුණ)
එපමණක් නොව, සෙමිසෙරාගේTaC ආලේපිත නිෂ්පාදනහා සසඳන විට දිගු සේවා කාලය සහ වැඩි ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්රතිරෝධයක් පෙන්නුම් කරයිSiC ආලේපන.රසායනාගාර මිනුම් අපගේ බව පෙන්නුම් කර ඇතTaC ආලේපනදිගු කාලයක් සඳහා සෙල්සියස් අංශක 2300 දක්වා උෂ්ණත්වවලදී අඛණ්ඩව සිදු කළ හැක. අපගේ සාම්පල සඳහා උදාහරණ කිහිපයක් පහත දැක්වේ:
