ටැන්ටලම් කාබයිඩ් ආලේපිත susceptor ආධාරක තහඩුවහි තුනී ස්ථරයකින් ආවරණය කර ඇති susceptor හෝ ආධාරක ව්යුහයකිටැන්ටලම් කාබයිඩ්. භෞතික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීම (PVD) හෝ රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීම (CVD) වැනි ශිල්පීය ක්‍රම මගින් ග්‍රාහක පෘෂ්ඨය මත මෙම ආලේපනය සෑදිය හැකි අතර, ග්‍රාහකයට උසස් ගුණාංග ලබා දෙයි.ටැන්ටලම් කාබයිඩ්.
Semicera විවිධ සංරචක සහ වාහකයන් සඳහා විශේෂිත ටැන්ටලම් කාබයිඩ් (TaC) ආලේපන සපයයි.Semicera ප්‍රමුඛ ආෙල්පන ක්‍රියාවලිය ටැන්ටලම් කාබයිඩ් (TaC) ආෙල්පනවලට ඉහළ සංශුද්ධතාවය, ඉහළ උෂ්ණත්ව ස්ථායීතාව සහ ඉහළ රසායනික ඉවසීම ලබා ගැනීමට හැකියාව ලබා දෙයි, SIC/GAN ස්ඵටිකවල සහ EPI ස්ථරවල නිෂ්පාදන ගුණත්වය වැඩි දියුණු කරයි (ග්රැෆයිට් ආලේපිත TaC susceptor), සහ ප්රධාන ප්රතික්රියාකාරක සංරචකවල ආයු කාලය දීර්ඝ කිරීම. ටැන්ටලම් කාබයිඩ් TaC ආලේපනය භාවිතා කිරීම දාර ගැටලුව විසඳීම සහ ස්ඵටික වර්ධනයේ ගුණාත්මක භාවය වැඩිදියුණු කිරීම සඳහා වන අතර, Semicera විසින් ජාත්‍යන්තර උසස් මට්ටමට ළඟා වෙමින් ටැන්ටලම් කාබයිඩ් ආලේපන තාක්ෂණය (CVD) විසඳා ඇත.
වසර ගණනාවක සංවර්ධනයෙන් පසු, Semicera තාක්ෂණය ජයගෙන ඇතCVD TaCපර්යේෂණ සහ සංවර්ධන දෙපාර්තමේන්තුවේ ඒකාබද්ධ උත්සාහයන් සමඟ. SiC වේෆර්වල වර්ධන ක්‍රියාවලියේදී දෝෂ ඇතිවීම පහසුය, නමුත් භාවිතයෙන් පසුවTaC, වෙනස සැලකිය යුතු ය. පහත දැක්වෙන්නේ TaC සමඟ සහ රහිත වේෆර්වල සංසන්දනය මෙන්ම තනි ස්ඵටික වර්ධනය සඳහා Simicera' කොටස් ය.
ටැන්ටලම් කාබයිඩ් ආලේපිත පාදක ආධාරක තහඩු වල ප්රධාන ලක්ෂණ වන්නේ:
1. ඉහළ උෂ්ණත්ව ස්ථායීතාව: ටැන්ටලම් කාබයිඩ් විශිෂ්ට ඉහළ උෂ්ණත්ව ස්ථායීතාවයක් ඇති අතර, ඉහළ උෂ්ණත්ව වැඩ කරන පරිසරයන්හි ආධාරක අවශ්යතා සඳහා ආලේපිත පාදක ආධාරක තහඩුව සුදුසු වේ.
2. විඛාදන ප්රතිරෝධය: ටැන්ටලම් කාබයිඩ් ආලේපනය හොඳ විඛාදන ප්රතිරෝධයක් ඇති අතර, රසායනික විඛාදනයට හා ඔක්සිකරණයට ඔරොත්තු දිය හැකි අතර, පාදයේ සේවා කාලය දීර්ඝ කරයි.
3. ඉහළ දෘඪතාව සහ ඇඳුම් ප්රතිරෝධය: ටැන්ටලම් කාබයිඩ් ආලේපනයේ ඉහළ දෘඪතාව මූලික ආධාරක තහඩුවට හොඳ ඇඳුම් ප්රතිරෝධයක් ලබා දෙයි, එය ඉහළ ඇඳුම් ප්රතිරෝධයක් අවශ්‍ය අවස්ථාවන් සඳහා සුදුසු වේ.
4. රසායනික ස්ථායීතාවය: ටැන්ටලම් කාබයිඩ් විවිධ රසායනික ද්‍රව්‍ය සඳහා ඉහළ ස්ථායීතාවයක් ඇති අතර, සමහර විඛාදන පරිසරයන්හිදී ආලේපිත පාද ආධාරක තහඩුව හොඳින් ක්‍රියා කරයි.
TaC සමඟ සහ නැතිව
TaC භාවිතා කිරීමෙන් පසු (දකුණ)
එපමණක් නොව, සෙමිසෙරාගේTaC ආලේපිත නිෂ්පාදනහා සසඳන විට දිගු සේවා කාලය සහ වැඩි ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්රතිරෝධයක් පෙන්නුම් කරයිSiC ආලේපන.රසායනාගාර මිනුම් අපගේ බව පෙන්නුම් කර ඇතTaC ආලේපනදිගු කාලයක් සඳහා සෙල්සියස් අංශක 2300 දක්වා උෂ්ණත්වවලදී අඛණ්ඩව සිදු කළ හැක. අපගේ සාම්පල සඳහා උදාහරණ කිහිපයක් පහත දැක්වේ:
