වේෆර් බන්ධන තාක්ෂණය

MEMS සැකසුම් - බන්ධනය: අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ අයදුම් කිරීම සහ කාර්ය සාධනය, සෙමිසෙරා අභිරුචිකරණය කළ සේවාව

 

ක්ෂුද්‍ර ඉලෙක්ට්‍රොනික් සහ අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තවලදී, MEMS (ක්ෂුද්‍ර-විද්‍යුත් යාන්ත්‍රික පද්ධති) තාක්‍ෂණය නවෝත්පාදන සහ ඉහළ ක්‍රියාකාරී උපකරණ මෙහෙයවන මූලික තාක්‍ෂණයන්ගෙන් එකක් බවට පත්ව ඇත. විද්‍යාවේ සහ තාක්‍ෂණයේ දියුණුවත් සමඟම, MEMS තාක්‍ෂණය සංවේදක, ක්‍රියාකරුවන්, දෘශ්‍ය උපාංග, වෛද්‍ය උපකරණ, මෝටර් රථ ඉලෙක්ට්‍රොනික සහ වෙනත් ක්ෂේත්‍රවල බහුලව භාවිතා වී ඇති අතර ක්‍රමයෙන් නවීන තාක්‍ෂණයේ අත්‍යවශ්‍ය අංගයක් බවට පත්ව ඇත. මෙම ක්ෂේත්‍ර තුළ, MEMS සැකසීමේ ප්‍රධාන පියවරක් ලෙස බන්ධන ක්‍රියාවලිය (Bonding), උපාංගයේ ක්‍රියාකාරීත්වය සහ විශ්වසනීයත්වය සඳහා වැදගත් කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි.

 

බන්ධනය යනු භෞතික හෝ රසායනික ක්‍රම මගින් ද්‍රව්‍ය දෙකක් හෝ වැඩි ගණනක් ස්ථිරව ඒකාබද්ධ කරන තාක්‍ෂණයකි. සාමාන්‍යයෙන්, ව්‍යුහාත්මක අඛණ්ඩතාව සහ ක්‍රියාකාරී සාක්ෂාත් කර ගැනීම සඳහා MEMS උපාංගවල බන්ධන මගින් විවිධ ද්‍රව්‍ය ස්ථර සම්බන්ධ කළ යුතුය. MEMS උපාංග නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේදී, බන්ධනය යනු සම්බන්ධතා ක්‍රියාවලියක් පමණක් නොව, තාප ස්ථායීතාවය, යාන්ත්‍රික ශක්තිය, විද්‍යුත් ක්‍රියාකාරිත්වය සහ උපාංගයේ අනෙකුත් අංශ කෙරෙහි සෘජුවම බලපායි.

 

අධි-නිරවද්‍ය MEMS සැකසීමේදී, බන්ධන තාක්‍ෂණයට උපාංගයේ ක්‍රියාකාරීත්වයට බලපාන කිසියම් දෝෂයක් වළක්වා ගනිමින් ද්‍රව්‍ය අතර සමීප බන්ධනය සහතික කිරීම අවශ්‍ය වේ. එබැවින්, බන්ධන ක්‍රියාවලියේ නිරවද්‍ය පාලනය සහ උසස් තත්ත්වයේ බන්ධන ද්‍රව්‍ය අවසාන නිෂ්පාදනය කර්මාන්ත ප්‍රමිතීන්ට අනුකූල බව සහතික කිරීම සඳහා ප්‍රධාන සාධක වේ.

 

1-210H11H51U40 

අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ MEMS බන්ධන යෙදුම්

අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ දී, සංවේදක, ත්වරණමාන, පීඩන සංවේදක සහ ගයිරොස්කෝප් වැනි ක්ෂුද්‍ර උපාංග නිෂ්පාදනය සඳහා MEMS තාක්ෂණය බහුලව භාවිතා වේ. කුඩා, ඒකාබද්ධ සහ බුද්ධිමත් නිෂ්පාදන සඳහා වැඩිවන ඉල්ලුම සමඟ, MEMS උපාංගවල නිරවද්‍යතාවය සහ කාර්ය සාධන අවශ්‍යතා ද වැඩි වෙමින් පවතී. මෙම යෙදුම්වල, කාර්යක්ෂම සහ ස්ථායී ක්‍රියාකාරකම් සාක්ෂාත් කර ගැනීම සඳහා සිලිකන් වේෆර්, වීදුරු, ලෝහ සහ පොලිමර් වැනි විවිධ ද්‍රව්‍ය සම්බන්ධ කිරීමට බන්ධන තාක්ෂණය භාවිතා කරයි.

 

1. පීඩන සංවේදක සහ ත්වරණමාන
මෝටර් රථ, අභ්‍යවකාශ, පාරිභෝගික ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණ ආදී ක්ෂේත්‍රවල MEMS පීඩන සංවේදක සහ ත්වරණමාන මිනුම් සහ පාලන පද්ධතිවල බහුලව භාවිතා වේ. බන්ධන ක්රියාවලිය ඉහළ සංවේදීතාව සහ නිරවද්යතාව සහතික කිරීම සඳහා සිලිකන් චිප්ස් සහ සංවේදක මූලද්රව්ය සම්බන්ධ කිරීම සඳහා භාවිතා වේ. මෙම සංවේදක ආන්තික පාරිසරික තත්ත්වයන්ට ඔරොත්තු දිය යුතු අතර, උසස් තත්ත්වයේ බන්ධන ක්‍රියාවලීන් මඟින් උෂ්ණත්ව වෙනස්වීම් හේතුවෙන් ද්‍රව්‍ය වෙන්වීම හෝ අක්‍රිය වීම වළක්වා ගත හැකිය.

 

2. ක්ෂුද්‍ර දෘශ්‍ය උපාංග සහ MEMS දෘශ්‍ය ස්විච
දෘශ්‍ය සන්නිවේදනය සහ ලේසර් උපාංග ක්ෂේත්‍රයේ MEMS දෘශ්‍ය උපාංග සහ දෘශ්‍ය ස්විචයන් වැදගත් කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි. ඔප්ටිකල් සංඥා සම්ප්‍රේෂණයේ කාර්යක්ෂමතාව සහ ස්ථායීතාවය සහතික කිරීම සඳහා සිලිකන් මත පදනම් වූ MEMS උපාංග සහ දෘශ්‍ය තන්තු සහ දර්පණ වැනි ද්‍රව්‍ය අතර නිරවද්‍ය සම්බන්ධතාවයක් ලබා ගැනීමට බන්ධන තාක්ෂණය භාවිතා වේ. විශේෂයෙන් ඉහළ සංඛ්‍යාත, පුළුල් කලාප පළල සහ දිගු-දුර සම්ප්‍රේෂණය සහිත යෙදුම්වල, ඉහළ කාර්ය සාධන බන්ධන තාක්ෂණය ඉතා වැදගත් වේ.

 

3. MEMS ගයිරොස්කෝප් සහ අවස්ථිති සංවේදක
ස්වයංක්‍රීය රිය පැදවීම, රොබෝ විද්‍යාව සහ අභ්‍යවකාශය වැනි ඉහළ මට්ටමේ කර්මාන්තවල නිරවද්‍ය සංචාලනය සහ ස්ථානගත කිරීම සඳහා MEMS ගයිරොස්කෝප් සහ අවස්ථිති සංවේදක බහුලව භාවිතා වේ. අධි-නිරවද්‍ය බන්ධන ක්‍රියාවලීන් මඟින් උපාංගවල විශ්වසනීයත්වය සහතික කළ හැකි අතර දිගුකාලීන ක්‍රියාකාරිත්වය හෝ අධි-සංඛ්‍යාත ක්‍රියාකාරිත්වය අතරතුර කාර්ය සාධනය පිරිහීම හෝ අසාර්ථක වීම වළක්වා ගත හැකිය.

 

MEMS සැකසීමේදී බන්ධන තාක්ෂණයේ ප්‍රධාන කාර්ය සාධන අවශ්‍යතා

MEMS සැකසීමේදී, බන්ධන ක්‍රියාවලියේ ගුණාත්මකභාවය උපාංගයේ ක්‍රියාකාරීත්වය, ආයු කාලය සහ ස්ථාවරත්වය සෘජුවම තීරණය කරයි. විවිධ යෙදුම් අවස්ථා වලදී MEMS උපාංග දිගු කාලයක් විශ්වාසනීය ලෙස ක්‍රියා කළ හැකි බව සහතික කිරීම සඳහා, බන්ධන තාක්ෂණයට පහත ප්‍රධාන කාර්ය සාධනය තිබිය යුතුය:

1. ඉහළ තාප ස්ථායීතාවය
අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ බොහෝ යෙදුම් පරිසරයන් ඉහළ උෂ්ණත්ව තත්ත්වයන් ඇත, විශේෂයෙන්ම මෝටර් රථ, අභ්‍යවකාශ යනාදී ක්ෂේත්‍රවල. බන්ධන ද්‍රව්‍යයේ තාප ස්ථායීතාවය තීරණාත්මක වන අතර පිරිහීමකින් හෝ අසාර්ථකත්වයකින් තොරව උෂ්ණත්ව වෙනස්වීම් වලට ඔරොත්තු දිය හැකිය.

 

2. ඉහළ ඇඳුම් ප්රතිරෝධය
MEMS උපාංග සාමාන්‍යයෙන් ක්ෂුද්‍ර යාන්ත්‍රික ව්‍යුහයන් ඇතුළත් වන අතර දිගු කාලීන ඝර්ෂණය සහ චලනය සම්බන්ධක කොටස් ඇඳීමට හේතු විය හැක. දිගුකාලීන භාවිතයේදී උපාංගයේ ස්ථායීතාවය සහ කාර්යක්ෂමතාව සහතික කිරීම සඳහා බන්ධන ද්රව්යයට විශිෂ්ට ඇඳුම් ප්රතිරෝධයක් තිබිය යුතුය.

 

3. ඉහළ සංශුද්ධතාවය

අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තය ද්රව්ය සංශුද්ධතාවය මත ඉතා දැඩි අවශ්යතා ඇත. ඕනෑම කුඩා අපවිත්‍ර ද්‍රව්‍යයක් උපාංගයේ අසාර්ථකත්වය හෝ කාර්ය සාධනය පිරිහීමට හේතු විය හැක. එබැවින්, බන්ධන ක්රියාවලියේදී භාවිතා කරන ද්රව්යවල ක්රියාකාරිත්වය අතරතුර බාහිර දූෂණයෙන් උපකරණයට බලපෑමක් නොවන බව සහතික කිරීම සඳහා අතිශයින්ම ඉහල සංශුද්ධතාවයක් තිබිය යුතුය.

 

4. නිශ්චිත බන්ධන නිරවද්යතාව
MEMS උපාංග සඳහා බොහෝ විට මයික්‍රෝන මට්ටමේ හෝ නැනෝමීටර මට්ටමේ සැකසුම් නිරවද්‍යතාවයක් අවශ්‍ය වේ. බන්ධන ක්‍රියාවලිය මඟින් උපාංගයේ ක්‍රියාකාරීත්වයට සහ ක්‍රියාකාරීත්වයට බලපෑමක් නොවන බව සහතික කිරීම සඳහා එක් එක් ද්‍රව්‍ය ස්ථරයේ නිශ්චිත ඩොකින් කිරීම සහතික කළ යුතුය.

 

1-210H11H304549 1-210GFZ0050-L

ඇනෝඩික් බන්ධනය

ඇනෝඩික් බන්ධනය:
● සිලිකන් වේෆර් සහ වීදුරු, ලෝහ සහ වීදුරු, අර්ධ සන්නායක සහ මිශ්‍ර ලෝහ, සහ අර්ධ සන්නායක සහ වීදුරු අතර බන්ධනයට අදාළ වේ
යුටෙක්ටොයිඩ් බන්ධනය:
● PbSn, AuSn, CuSn, සහ AuSi වැනි ද්‍රව්‍ය සඳහා අදාළ වේ

මැලියම් බන්ධනය:
● AZ4620 සහ SU8 වැනි විශේෂ බන්ධන මැලියම් සඳහා සුදුසු විශේෂ බන්ධන මැලියම් භාවිතා කරන්න
● අඟල් 4 සහ අඟල් 6 සඳහා අදාළ වේ

 

Semicera අභිරුචි බන්ධන සේවාව

MEMS සැකසුම් විසඳුම් කර්මාන්තයේ ප්‍රමුඛතම සැපයුම්කරුවෙකු ලෙස, Semicera පාරිභෝගිකයින්ට ඉහළ නිරවද්‍යතාවයකින් යුත්, ඉහළ ස්ථායීතාවයකින් යුත් අභිරුචිගත බන්ධන සේවා සැපයීමට කැපවී සිටී. අපගේ බන්ධන තාක්‍ෂණය සිලිකන්, වීදුරු, ලෝහ, පිඟන් මැටි ආදිය ඇතුළු විවිධ ද්‍රව්‍ය සම්බන්ධ කිරීම සඳහා පුළුල් ලෙස භාවිතා කළ හැකි අතර අර්ධ සන්නායක සහ MEMS ක්ෂේත්‍රවල ඉහළ මට්ටමේ යෙදුම් සඳහා නව්‍ය විසඳුම් සපයයි.

 

Semicera සතුව උසස් නිෂ්පාදන උපකරණ සහ තාක්ෂණික කණ්ඩායම් ඇති අතර, පාරිභෝගිකයින්ගේ නිශ්චිත අවශ්‍යතා අනුව අභිරුචිගත බන්ධන විසඳුම් සැපයිය හැකිය. එය ඉහළ උෂ්ණත්ව හා අධි පීඩන පරිසරයක් යටතේ විශ්වාසනීය සම්බන්ධතාවයක් වේවා, හෝ නිශ්චිත ක්ෂුද්‍ර උපාංග බන්ධන වේවා, සෑම නිෂ්පාදනයක්ම ඉහළම ගුණාත්මක ප්‍රමිතීන් සපුරාලිය හැකි බව සහතික කිරීම සඳහා Semicera හට විවිධ සංකීර්ණ ක්‍රියාවලි අවශ්‍යතා සපුරාලිය හැකිය.

 

අපගේ අභිරුචි බන්ධන සේවාව සාම්ප්‍රදායික බන්ධන ක්‍රියාවලීන්ට පමණක් සීමා නොවී, විවිධ ද්‍රව්‍ය, ව්‍යුහයන් සහ යෙදුම් අවශ්‍යතා සඳහා වෘත්තීය තාක්ෂණික සහාය සැපයිය හැකි ලෝහ බන්ධන, තාප සම්පීඩන බන්ධන, ඇලවුම් බන්ධන සහ වෙනත් ක්‍රියාවලීන් ද ඇතුළත් වේ. මීට අමතරව, Semicera හට පාරිභෝගිකයින්ගේ සෑම තාක්ෂණික අවශ්‍යතාවයක්ම නිවැරදිව සාක්ෂාත් කර ගත හැකි බව සහතික කිරීම සඳහා මූලාකෘති සංවර්ධනයේ සිට මහා පරිමාණ නිෂ්පාදනය දක්වා පාරිභෝගිකයින්ට පූර්ණ-සේවාවක් ලබා දිය හැකිය.