සෙමිසෙරාගේවේෆර් කැසට්සියුම් අර්ධ සන්නායක වේෆර් ආරක්ෂිතව රඳවා තබා ගැනීමට සහ ප්‍රවාහනය කිරීමට නිර්මාණය කර ඇති අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේ තීරණාත්මක අංගයකි. දවේෆර් කැසට්එක් එක් වේෆරය හැසිරවීමේදී, ගබඩා කිරීමේදී සහ ප්‍රවාහනයේදී අපවිත්ර ද්‍රව්‍යවලින් හා භෞතික හානිවලින් තොර බව සහතික කරමින් සුවිශේෂී ආරක්ෂාවක් සපයයි.
අධි සංශුද්ධතාවය, රසායනික-ප්‍රතිරෝධී ද්‍රව්‍ය, සෙමිසෙරා සමඟ ඉදිකර ඇතවේෆර් කැසට්නිෂ්පාදනයේ සෑම අදියරකදීම වේෆර්වල අඛණ්ඩතාව පවත්වා ගැනීම සඳහා අත්‍යවශ්‍ය ඉහළම මට්ටමේ පිරිසිදුකම සහ කල්පැවැත්ම සහතික කරයි. මෙම කැසට් පටවල නිරවද්‍ය ඉංජිනේරු විද්‍යාව ස්වයංක්‍රීය හැසිරවීමේ පද්ධති සමඟ බාධාවකින් තොරව ඒකාබද්ධ වීමට ඉඩ සලසයි, දූෂණය හා යාන්ත්රික හානි අවදානම අවම කරයි.
හි නිර්මාණයවේෆර් කැසට්නිශ්චිත පාරිසරික තත්ත්වයන් අවශ්‍ය වන ක්‍රියාවලීන් සඳහා තීරනාත්මක වන ප්‍රශස්ත වායු ප්‍රවාහ සහ උෂ්ණත්ව පාලනය සඳහා ද සහාය වේ. පිරිසිදු කාමරවල හෝ තාප සැකසුම් අතරතුර භාවිතා කළත්, සෙමිසෙරාවේෆර් කැසට්අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ දැඩි ඉල්ලීම් සපුරාලීම සඳහා නිර්මාණය කර ඇති අතර, නිෂ්පාදන කාර්යක්ෂමතාව සහ නිෂ්පාදන ගුණාත්මකභාවය ඉහළ නැංවීම සඳහා විශ්වසනීය සහ ස්ථාවර කාර්ය සාධනයක් සපයයි.
| අයිතම | නිෂ්පාදනය | පර්යේෂණ | ඩමි |
| ස්ඵටික පරාමිතීන් | |||
| පොලිටයිප් | 4H | ||
| මතුපිට දිශානතියේ දෝෂය | <11-20 >4±0.15° | ||
| විදුලි පරාමිතීන් | |||
| ඩොපන්ට් | n-වර්ගය නයිට්රජන් | ||
| ප්රතිරෝධකතාව | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| යාන්ත්රික පරාමිතීන් | |||
| විෂ්කම්භය | 150.0 ± 0.2 මි.මී | ||
| ඝනකම | 350±25 μm | ||
| ප්රාථමික පැතලි දිශානතිය | [1-100]±5° | ||
| ප්රාථමික පැතලි දිග | 47.5 ± 1.5 මි.මී | ||
| ද්විතියික පැතලි | කිසිවක් නැත | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| දුන්න | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| ඉදිරිපස (Si-මුහුණ) රළුබව (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| ව්යුහය | |||
| ක්ෂුද්ර නල ඝනත්වය | <1 EA/cm2 | <10 EA/cm2 | <15 EA/cm2 |
| ලෝහ අපද්රව්ය | ≤5E10atoms/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 EA/cm2 | ≤3000 EA/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 EA/cm2 | ≤1000 EA/cm2 | NA |
| ඉදිරිපස ගුණාත්මකභාවය | |||
| ඉදිරිපස | Si | ||
| මතුපිට නිමාව | Si-Face CMP | ||
| අංශු | ≤60ea/වේෆර් (ප්‍රමාණය≥0.3μm) | NA | |
| සීරීම් | ≤5ea/මි.මී. සමුච්චිත දිග ≤විෂ්කම්භය | සමුච්චිත දිග≤2*විෂ්කම්භය | NA |
| තැඹිලි පීල් / වලවල් / පැල්ලම් / ඉරිතැලීම් / අපවිත්ර වීම | කිසිවක් නැත | NA | |
| Edge chips/indents/fracture/hex plates | කිසිවක් නැත | ||
| පොලිටයිප් ප්රදේශ | කිසිවක් නැත | සමුච්චිත ප්රදේශය≤20% | සමුච්චිත ප්රදේශය≤30% |
| ඉදිරිපස ලේසර් සලකුණු කිරීම | කිසිවක් නැත | ||
| පසුපස ගුණාත්මකභාවය | |||
| පසුපස නිමාව | C-face CMP | ||
| සීරීම් | ≤5ea/mm, සමුච්චිත දිග≤2*විෂ්කම්භය | NA | |
| පිටුපස දෝෂ (දාර චිප්ස්/ඉන්ඩන්ට්) | කිසිවක් නැත | ||
| පිටුපස රළුබව | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| පසුපස ලේසර් සලකුණු කිරීම | 1 mm (ඉහළ දාරයේ සිට) | ||
| දාරය | |||
| දාරය | චැම්ෆර් | ||
| ඇසුරුම්කරණය | |||
| ඇසුරුම්කරණය | රික්ත ඇසුරුම් සහිත Epi-සුදානම් බහු වේෆර් කැසට් ඇසුරුම් | ||
| *සටහන්: "NA" යන්නෙන් අදහස් වන්නේ කිසිදු ඉල්ලීමක් සඳහන් නොකළ අයිතමයන් SEMI-STD වෙත යොමු විය හැක. | |||
