වර්තමානයේ, SiC ආලේපනය සකස් කිරීමේ ක්‍රමවලට ප්රධාන වශයෙන් ජෙල්-සෝල් ක්රමය, කාවැද්දීමේ ක්රමය, බුරුසු ආලේපන ක්රමය, ප්ලාස්මා ඉසීමේ ක්රමය, රසායනික වායු ප්රතික්රියා ක්රමය (CVR) සහ රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීමේ ක්රමය (CVD) ඇතුළත් වේ.
කාවැද්දීමේ ක්රමය:
මෙම ක්රමය යනු අධි උෂ්ණත්ව ඝන අදියර සින්ටර් කිරීමකි, එය ප්රධාන වශයෙන් Si කුඩු සහ C කුඩු මිශ්‍රණය කාවැද්දීමේ කුඩු ලෙස භාවිතා කරයි, මිනිරන් අනුකෘතිය කාවැද්දීමේ කුඩු තුළ තබා ඇති අතර ඉහළ උෂ්ණත්ව සින්ටර් කිරීම නිෂ්ක්‍රීය වායුව තුළ සිදු කෙරේ. , සහ අවසානයේ SiC ආලේපනය ග්රැෆයිට් අනුකෘතියේ මතුපිට ලබා ගනී.මෙම ක්රියාවලිය සරල වන අතර ආලේපනය සහ උපස්ථරය අතර සංයෝජනය හොඳයි, නමුත් ඝනකම දිශාව ඔස්සේ ආලේපනයේ ඒකාකාරිත්වය දුර්වල වන අතර, වැඩි සිදුරු නිපදවීමට සහ දුර්වල ඔක්සිකරණ ප්රතිරෝධයට මග පාදයි.
බුරුසු ආලේපන ක්රමය:
බුරුසු ආලේපන ක්රමය ප්රධාන වශයෙන් ග්රැෆයිට් න්‍යාසයේ මතුපිට ඇති ද්‍රව අමුද්‍රව්‍ය බුරුසුවක් වන අතර පසුව ආලේපනය සකස් කිරීම සඳහා යම් උෂ්ණත්වයකදී අමුද්‍රව්‍ය සුව කරයි.ක්රියාවලිය සරල වන අතර පිරිවැය අඩුය, නමුත් බුරුසු ආලේපන ක්රමය මගින් සකස් කරන ලද ආෙල්පනය උපස්ථරය සමඟ ඒකාබද්ධව දුර්වලය, ආලේපන ඒකාකාරිත්වය දුර්වලය, ආෙල්පනය තුනී වන අතර ඔක්සිකරණ ප්‍රතිරෝධය අඩුය, සහ උපකාර කිරීමට වෙනත් ක්‍රම අවශ්‍ය වේ. එය.
ප්ලාස්මා ඉසින ක්රමය:
ප්ලාස්මා ඉසීමේ ක්රමය ප්රධාන වශයෙන් ප්ලාස්මා තුවක්කුවකින් ග්රැෆයිට් න්‍යාසයේ මතුපිට උණු කළ හෝ අර්ධ උණු කළ අමුද්‍රව්‍ය ඉසීම, පසුව ඝණ කර බන්ධනය කර ආලේපනයක් සෑදීමයි.ක්රමය ක්‍රියාත්මක කිරීමට සරල වන අතර සාපේක්ෂ ඝන සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපනයක් සකස් කළ හැක, නමුත් ක්රමය මගින් සකස් කරන ලද සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපනය බොහෝ විට දුර්වල වන අතර දුර්වල ඔක්සිකරණ ප්රතිරෝධයට තුඩු දෙයි, එබැවින් එය සාමාන්‍යයෙන් වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා SiC සංයුක්ත ආලේපනය සකස් කිරීම සඳහා යොදා ගනී. ආලේපනයේ ගුණාත්මකභාවය.
ජෙල්-සෝල් ක්රමය:
ජෙල්-සෝල් ක්රමය ප්රධාන වශයෙන් අනුකෘතියේ මතුපිට ආවරණය වන පරිදි ඒකාකාර සහ විනිවිද පෙනෙන සෝල් ද්‍රාවණයක් සකස් කිරීම, ජෙල් බවට වියළීම සහ පසුව සින්ටර් කිරීම සඳහා ආලේපනයක් ලබා ගැනීමයි.මෙම ක්රමය ක්‍රියාත්මක වීමට පහසු වන අතර පිරිවැය අඩු නමුත් නිපදවන ආලේපනය අඩු තාප කම්පන ප්‍රතිරෝධය සහ පහසු ඉරිතැලීම් වැනි අඩුපාඩු ඇති බැවින් එය බහුලව භාවිතා කළ නොහැක.
රසායනික වායු ප්‍රතික්‍රියාව (CVR):
CVR ප්රධාන වශයෙන් SiC ආලේපනය උත්පාදනය කරන්නේ Si සහ SiO2 කුඩු භාවිතයෙන් ඉහළ උෂ්ණත්වයකදී SiO වාෂ්ප උත්පාදනය කිරීම සඳහා වන අතර C ද්‍රව්‍ය උපස්ථරයේ මතුපිට රසායනික ප්රතික්රියා මාලාවක් සිදුවේ.මෙම ක්රමය මගින් සකස් කරන ලද SiC ආලේපනය උපස්ථරයට සමීපව බැඳී ඇත, නමුත් ප්රතික්රියා උෂ්ණත්වය වැඩි වන අතර පිරිවැය වැඩි වේ.
රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් වීම (CVD):
වර්තමානයේ, උපස්ථර මතුපිට SiC ආලේපනය සකස් කිරීමේ ප්රධාන තාක්ෂණය CVD වේ.ප්රධාන ක්රියාවලිය වන්නේ උපස්ථර මතුපිට වායු අදියර ප්‍රතික්‍රියාකාරක ද්‍රව්‍යවල භෞතික හා රසායනික ප්රතික්රියා මාලාවක් වන අතර අවසානයේ SiC ආෙල්පනය උපස්ථර මතුපිට තැන්පත් වීමෙන් සකස් කරනු ලැබේ.CVD තාක්‍ෂණයෙන් සකස් කරන ලද SiC ආලේපනය උපස්ථරයේ මතුපිටට සමීපව බැඳී ඇති අතර එමඟින් උපස්ථර ද්‍රව්‍යයේ ඔක්සිකරණ ප්‍රතිරෝධය සහ ඉවත් කිරීමේ ප්‍රතිරෝධය ඵලදායි ලෙස වැඩිදියුණු කළ හැකි නමුත් මෙම ක්‍රමයේ තැන්පත් වීමේ කාලය වැඩි වන අතර ප්රතික්රියා වායුව යම් විෂ සහිත වේ. ගෑස්.
පසු කාලය: නොවැම්බර්-06-2023