වර්තමානයේ, SiC ආලේපනය සකස් කිරීමේ ක්රමවලට ප්රධාන වශයෙන් ජෙල්-සෝල් ක්රමය, කාවැද්දීමේ ක්රමය, බුරුසු ආලේපන ක්රමය, ප්ලාස්මා ඉසීමේ ක්රමය, රසායනික වායු ප්රතික්රියා ක්රමය (CVR) සහ රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීමේ ක්රමය (CVD) ඇතුළත් වේ. කාවැද්දීමේ ක්රමය: ක්රමය එක්තරා ආකාරයක ඉහළ...
තවත් කියවන්න