ලෝහ-කාබනික රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීම (MOCVD) අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ තීරණාත්මක ක්‍රියාවලියක් වන අතර එහිදී උසස් තත්ත්වයේ තුනී පටල උපස්ථර මත තැන්පත් වේ. MOCVD ක්‍රියාවලියේ ප්‍රධාන අංගයක් වන්නේ නිෂ්පාදනය කරන ලද චිත්‍රපටවල ඒකාකාරිත්වය සහ ගුණාත්මකභාවය සහතික කිරීම සඳහා තීරණාත්මක කාර්යභාරයක් ඉටු කරන අත්යවශ්ය මූලද්‍රව්‍යයකි.
Susceptor යනු කුමක්ද? උපස්ථරයක් යනු තුනී පටල තැන්පත් කර ඇති උපස්ථරයට ආධාරක සහ රත් කිරීමට MOCVD ක්‍රියාවලියේදී භාවිතා කරන විශේෂිත සංරචකයකි. එය විද්‍යුත් චුම්භක ශක්තිය අවශෝෂණය කිරීම, තාපය බවට පරිවර්තනය කිරීම සහ උපස්ථරය හරහා මෙම තාපය ඒකාකාරව බෙදා හැරීම ඇතුළු බහුවිධ කාර්යයන් ඉටු කරයි. නිශ්චිත ඝනකම සහ සංයුතිය සහිත සමජාතීය චිත්රපට වර්ධනය සඳහා මෙම ඒකාකාර උණුසුම අත්යවශ්ය වේ.
Susceptors වර්ග:
1. Graphite Susceptors: සාමාන්‍යයෙන් ආරක්ෂිත තට්ටුවකින් ආලේප කර ඇතසිලිකන් කාබයිඩ් (SiC), ග්රැෆයිට් susceptors ඔවුන්ගේ ඉහළ තාප සන්නායකතාවය සහ ස්ථාවරත්වය සඳහා ප්රසිද්ධය. දSiC ආලේපනයඉහළ උෂ්ණත්වවලදී විඛාදනයට හා දිරාපත්වීමට ඔරොත්තු දෙන දෘඪ, ආරක්ෂිත මතුපිටක් සපයයි.
2. සිලිකන් කාබයිඩ් (SiC) Susceptors: මේවා සම්පූර්ණයෙන්ම SiC වලින් සාදා ඇති අතර, විශිෂ්ට තාප ස්ථායීතාවයක් සහ ඇඳීමට සහ ඉරීම සඳහා ප්රතිරෝධයක් ලබා දෙයි.SiC susceptorsවිශේෂයෙන් ඉහළ උෂ්ණත්ව ක්රියාවලීන් සහ විඛාදන පරිසරයන් සඳහා සුදුසු වේ.
කෙසේදඋපසිරැසිMOCVD හි වැඩ:
MOCVD ක්‍රියාවලියේදී, පූර්වගාමීන් ප්‍රතික්‍රියාකාරක කුටීරයට හඳුන්වා දෙනු ලැබේ, එහිදී ඒවා දිරාපත් වී උපස්ථරය මත තුනී පටලයක් සෑදීමට ප්‍රතික්‍රියා කරයි. උපස්ථරය ඒකාකාරව රත් කර ඇති බව සහතික කිරීම මගින් ග්‍රාහකය තීරණාත්මක කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි, එය සමස්ත උපස්ථර මතුපිට පුරා ස්ථාවර චිත්රපට ගුණ ලබා ගැනීම සඳහා ඉතා වැදගත් වේ. උෂ්ණත්වය පරාසය සහ රසායනික ගැළපුම වැනි තැන්පත් කිරීමේ ක්‍රියාවලියේ නිශ්චිත අවශ්‍යතාවලට ගැලපෙන පරිදි ප්‍රතිග්‍රාහකයේ ද්‍රව්‍ය සහ සැලසුම ප්‍රවේශමෙන් තෝරා ගනු ලැබේ.
භාවිතා කිරීමේ ප්රතිලාභඋසස් තත්ත්වයේ අනුකාරක:
• වැඩි දියුණු කළ චිත්රපට ගුණත්වය: ඒකාකාර තාප ව්‍යාප්තිය ලබා දීමෙන්, අර්ධ සන්නායක උපාංගවල ක්‍රියාකාරීත්වය සඳහා අත්යවශ්ය වන ඝනකම සහ සංයුතිය සහිත චිත්රපට සාක්ෂාත් කර ගැනීමට ග්‍රාහකයන් උපකාරී වේ.
• ක්‍රියාවලි කාර්යක්ෂමතාව වැඩි කිරීම: උසස් තත්ත්වයේ susceptors දෝෂ ඇතිවීමේ සම්භාවිතාව අඩු කිරීමෙන් සහ භාවිත කළ හැකි චිත්‍රපටවල අස්වැන්න වැඩි කිරීමෙන් MOCVD ක්‍රියාවලියේ සමස්ත කාර්යක්ෂමතාව වැඩි දියුණු කරයි.
• කල්පැවැත්ම සහ විශ්වසනීයත්වය: SiC වැනි කල් පවතින ද්‍රව්‍ය වලින් සාදන ලද අනුග්‍රාහක දිගු කාලීන විශ්වසනීයත්වය සහ නඩත්තු වියදම් අඩු කරයි.
නිගමනය: MOCVD ක්‍රියාවලියේදී අත්යවශ්ය අංගයක් වන අතර එය තුනී පටල තැන්පත් වීමේ ගුණාත්මක භාවයට හා කාර්යක්ෂමතාවයට සෘජුවම බලපායි. නිවැරදි ප්‍රතිරෝධක ද්‍රව්‍ය සහ සැලසුම තෝරා ගැනීමෙන්, අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදකයින්ට ඔවුන්ගේ ක්රියාවලීන් ප්‍රශස්ත කළ හැකි අතර, එහි ප්‍රතිඵලයක් ලෙස වඩා හොඳ උපාංග ක්‍රියාකාරිත්වය සහ නිෂ්පාදන පිරිවැය අඩු වේ. ඉහළ ක්‍රියාකාරී ඉලෙක්ට්‍රොනික උපාංග සඳහා ඇති ඉල්ලුම අඛණ්ඩව වර්ධනය වන බැවින්, උසස් තත්ත්වයේ MOCVD susc හි වැදගත්කම
පසු කාලය: අගෝස්තු-12-2024