දMOCVDක්‍රමය යනු තනි අදියර InGaN එපිලේයර්, III-N ද්‍රව්‍ය සහ බහු ක්වොන්ටම් ළිං ව්‍යුහයන් සහිත අර්ධ සන්නායක පටල වැනි උසස් තත්ත්වයේ තනි ස්ඵටික තුනී පටල වර්ධනය කිරීම සඳහා දැනට කර්මාන්තයේ භාවිතා වන වඩාත්ම ස්ථායී ක්‍රියාවලියක් වන අතර එය ඉතා වැදගත් වේ. අර්ධ සන්නායක සහ දෘශ්‍ය ඉලෙක්ට්‍රොනික උපාංග නිෂ්පාදනය.
දSiC ආෙල්පන MOCVD susceptorසඳහා සිලිකන් කාබයිඩ් (SiC) ආලේප කරන ලද විශේෂිත වේෆර් රඳවනයකිepitaxial ලෝහ කාබනික රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීමේ (MOCVD) ක්රියාවලියේ වර්ධනය.
SiC ආලේපනය විශිෂ්ට රසායනික ප්‍රතිරෝධයක් සහ තාප ස්ථායීතාවයක් ඇති අතර, එය ඉල්ලුම් කරන epitaxial වර්ධන ක්‍රියාවලීන් සඳහා භාවිතා කරන MOCVD susceptors සඳහා කදිම තේරීමක් කරයි.
MOCVD ක්රියාවලියේ ප්‍රධාන අංගයක් වන්නේ නිෂ්පාදනය කරන ලද තුනී පටලවල ඒකාකාරිත්වය සහ ගුණාත්මකභාවය සහතික කිරීම සඳහා ප්‍රධාන අංගයක් වන susceptor වේ.
susceptor යනු කුමක්ද? susceptor යනු MOCVD ක්‍රියාවලියේදී තුනී පටලය තැන්පත් කර ඇති උපස්ථරයට ආධාරක සහ රත් කිරීමට භාවිතා කරන විශේෂිත සංරචකයකි. එය විද්යුත් චුම්භක ශක්තිය අවශෝෂණය කිරීම, තාපය බවට පරිවර්තනය කිරීම සහ උපස්ථරය මත තාපය ඒකාකාරව බෙදා හැරීම ඇතුළු බහු කාර්යයන් ඇත. නිශ්චිත ඝනකම සහ සංයුතිය සහිත ඒකාකාර තුනී පටල වර්ධනය සඳහා මෙම ඒකාකාර උණුසුම අත්යවශ්ය වේ.
susceptors වර්ග:
1. Graphite susceptors: Graphite susceptors බොහෝ විට ආරක්ෂිත ස්ථරයකින් ආලේප කර ඇත.සිලිකන් කාබයිඩ් (SiC), එහි ඉහළ තාප සන්නායකතාවය සහ ස්ථාවරත්වය සඳහා ප්රසිද්ධය. දSiC ආලේපනයඉහළ උෂ්ණත්වවලදී විඛාදනයට හා දිරාපත්වීමට ඔරොත්තු දෙන දෘඪ, ආරක්ෂිත මතුපිටක් සපයයි.
2. සිලිකන් කාබයිඩ් (SiC) susceptors: මෙම susceptors සම්පූර්ණයෙන්ම SiC වලින් සාදා ඇති අතර විශිෂ්ට තාප ස්ථායීතාවයක් සහ ප්‍රතිරෝධයක් ඇත. අධි-උෂ්ණත්ව ක්‍රියාවලීන් සහ විඛාදන පරිසරයන් සඳහා SiC susceptors විශේෂයෙන් සුදුසු වේ.
MOCVD හි susceptors ක්‍රියා කරන ආකාරය:
MOCVD ක්‍රියාවලියේදී, පූර්වගාමීන් ප්‍රතික්‍රියා කුටියට හඳුන්වා දෙනු ලැබේ, එහිදී ඒවා දිරාපත් වී උපස්ථරය මත තුනී පටලයක් සෑදීමට ප්‍රතික්‍රියා කරයි. උපස්ථරය ඒකාකාරව රත් කර ඇති බව සහතික කිරීම මගින් ප්‍රතිග්‍රාහකය වැදගත් කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි, එය සමස්ත උපස්ථර මතුපිට පුරා ස්ථාවර චිත්‍රපට ගුණ ලබා ගැනීම සඳහා ඉතා වැදගත් වේ. උෂ්ණත්වය පරාසය සහ රසායනික ගැළපුම වැනි තැන්පත් කිරීමේ ක්රියාවලියේ නිශ්චිත අවශ්‍යතා සපුරාලීම සඳහා ප්‍රතිග්‍රාහකයේ ද්‍රව්‍ය සහ සැලසුම ප්‍රවේශමෙන් තෝරා ගනු ලැබේ.
උසස් තත්ත්වයේ susceptors භාවිතා කිරීමේ ප්රතිලාභ:
• වැඩි දියුණු කළ චිත්‍රපට ගුණත්වය: ඒකාකාර තාප ව්‍යාප්තිය ලබා දීමෙන්, අර්ධ සන්නායක උපාංගවල ක්‍රියාකාරීත්වය සඳහා ඉතා වැදගත් වන ඝනකම සහ සංයුතිය සමඟ ස්ථාවර චිත්‍රපට ලබා ගැනීමට ග්‍රාහකය උපකාර කරයි.
• වැඩිදියුණු කරන ලද ක්‍රියාවලි කාර්යක්ෂමතාව: උසස් තත්ත්වයේ susceptors දෝෂ ඇතිවීමේ සම්භාවිතාව අඩු කිරීමෙන් සහ භාවිතා කළ හැකි චිත්‍රපටවල අස්වැන්න වැඩි කිරීමෙන් MOCVD ක්රියාවලියේ සමස්ත කාර්යක්ෂමතාව වැඩි කරයි.
• ආයු කාලය සහ විශ්වසනීයත්වය: SiC වැනි කල් පවතින ද්‍රව්‍ය වලින් සාදන ලද අනුග්‍රාහක දිගු කාලීන විශ්වසනීයත්වය සහතික කරන අතර නඩත්තු වියදම් අඩු කරයි.
susceptor යනු MOCVD ක්රියාවලියේ අත්යවශ්ය අංගයක් වන අතර තුනී පටල තැන්පත් වීමේ ගුණාත්මක භාවය සහ කාර්යක්ෂමතාවයට සෘජුවම බලපායි. පවතින ප්‍රමාණයන්, MOCVD susceptors සහ මිල පිළිබඳ වැඩි විස්තර සඳහා, කරුණාකර අප හා සම්බන්ධ වීමට පසුබට නොවන්න. සුදුසු ද්‍රව්‍ය පිළිබඳව ඔබට උපදෙස් දීමට සහ ඔබේ සියලු ප්‍රශ්නවලට පිළිතුරු දීමට අපගේ ඉංජිනේරුවන් සතුටු වනු ඇත.
දුරකථන: +86-13373889683
WhatsAPP: +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com
පසු කාලය: අගෝස්තු-12-2024