RTPCVD SiC නාද වේඉහළ උෂ්ණත්ව හා විඛාදන පරිසරවල කාර්මික හා විද්යාත්මක ක්ෂේත්රවල බහුලව භාවිතා වේ. එය අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය, ඔප්ටෝ ඉලෙක්ට්‍රොනික්ස්, නිරවද්‍ය යන්ත්‍රෝපකරණ සහ රසායනික කර්මාන්තයේ වැදගත් කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි. විශේෂිත යෙදුම්වලට ඇතුළත් වන්නේ:
1. අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය:RTP CVD SiC නාද වේඅර්ධ සන්නායක උපකරණ උණුසුම් කිරීම සහ සිසිලනය සඳහා භාවිතා කළ හැක, ස්ථාවර උෂ්ණත්ව පාලනයක් සැපයීම සහ ක්රියාවලියේ නිරවද්යතාව සහ අනුකූලතාව සහතික කිරීම.
2. Optoelectronics: එහි විශිෂ්ට තාප සන්නායකතාවය සහ ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්රතිරෝධය හේතුවෙන් RTPCVD SiC නාද වේලේසර්, ෆයිබර් ඔප්ටික් සන්නිවේදන උපකරණ සහ ඔප්ටිකල් සංරචක සඳහා ආධාරක සහ තාපය විසුරුවා හැරීමේ ද්රව්ය ලෙස භාවිතා කළ හැක.
3. නිරවද්‍ය යන්ත්‍රෝපකරණ: RTP CVD SiC වළලු, ඉහළ උෂ්ණත්ව උදුන්, රික්ත උපාංග සහ රසායනික ප්‍රතික්‍රියාකාරක වැනි ඉහළ උෂ්ණත්ව හා විඛාදන පරිසරවල නිරවද්‍ය උපකරණ සහ උපකරණ සඳහා භාවිතා කළ හැක.
4. රසායනික කර්මාන්තය: එහි විඛාදන ප්රතිරෝධය සහ රසායනික ස්ථායීතාවය හේතුවෙන් RTP CVD SiC මුදු බහාලුම්, පයිප්ප සහ ප්‍රතික්‍රියාකාරකවල රසායනික ප්‍රතික්‍රියා සහ උත්ප්‍රේරක ක්‍රියාවලීන්හි භාවිතා කළ හැක.
එපි පද්ධතිය
RTP පද්ධතිය
CVD පද්ධතිය
නිෂ්පාදන කාර්ය සාධනය:
1. 28nm ට අඩු ක්රියාවලිය හමුවන්න
2. සුපිරි විඛාදන ප්රතිරෝධය
3. සුපිරි පිරිසිදු කාර්ය සාධනය
4. සුපිරි දෘඪතාව
5. අධික ඝනත්වය
6. ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්රතිරෝධය
7. ප්රතිරෝධය පළඳින්න
නිෂ්පාදන යෙදුම:
සිලිකන් කාබයිඩ් ද්‍රව්‍යවල අධික තද බව, ඇඳුම් ප්රතිරෝධය, විඛාදන ප්රතිරෝධය සහ ඉහළ උෂ්ණත්ව ස්ථායීතාවය යන ලක්ෂණ ඇත. විශිෂ්ට විස්තීරණ කාර්ය සාධනයක් සහිත නිෂ්පාදන වියළි කැටයම් සහ TF/විසරණ ක්‍රියාවලීන්හි බහුලව භාවිතා වේ.
නිෂ්පාදන කාර්ය සාධනය:
1. 28nm ට අඩු ක්රියාවලිය හමුවන්න
2. සුපිරි විඛාදන ප්රතිරෝධය
3. සුපිරි පිරිසිදු කාර්ය සාධනය
4. සුපිරි දෘඪතාව
5. අධික ඝනත්වය
6. ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්රතිරෝධය
7. ප්රතිරෝධය පළඳින්න
සංයුක්ත ක්රියාවලිය සංවර්ධනය:
• Graphite +SiC ආෙල්පනය
• Solide CVD SiC
• Sintered SiC+CVD
• SicSintered SiC
බහු නිෂ්පාදන වර්ග සංවර්ධනය:
• මුද්ද
• වගුව
• Susceptor
• ෂවර් හෙඩ්
