විස්තර
අපගේ සමාගම මිනිරන්, පිඟන් මැටි සහ වෙනත් ද්‍රව්‍යවල මතුපිට CVD ක්‍රමයට SiC ආලේපන ක්‍රියාවලි සේවා සපයයි, එවිට කාබන් සහ සිලිකන් අඩංගු විශේෂ වායු ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් SiC අණු, ආලේපිත ද්‍රව්‍යවල මතුපිට තැන්පත් කර ඇති අණු ලබා ගැනීම සඳහා ඉහළ උෂ්ණත්වයකදී ප්‍රතික්‍රියා කරයි. SIC ආරක්ෂිත ස්ථරය සෑදීම.
ප්රධාන ලක්ෂණ
1. ඉහළ උෂ්ණත්ව ඔක්සිකරණ ප්රතිරෝධය: උෂ්ණත්වය සෙල්සියස් අංශක 1600 තරම් ඉහළ මට්ටමක පවතින විට ඔක්සිකරණ ප්රතිරෝධය තවමත් ඉතා යහපත් වේ.
2. ඉහළ සංශුද්ධතාවය : අධික උෂ්ණත්ව ක්ලෝරීන තත්ත්වය යටතේ රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් වීමෙන් සෑදී ඇත.
3. ඛාදනය ප්රතිරෝධය: ඉහළ දෘඪතාව, සංයුක්ත මතුපිට, සියුම් අංශු.
4. විඛාදන ප්රතිරෝධය: අම්ලය, ක්ෂාර, ලුණු සහ කාබනික ප්රතික්රියාකාරක.
CVD-SIC ආලේපනයේ ප්රධාන පිරිවිතර
| SiC-CVD ගුණාංග | ||
| ස්ඵටික ව්යුහය | FCC β අදියර | |
| ඝනත්වය | g/cm ³ | 3.21 |
| දැඩි බව | විකර්ස් දෘඪතාව | 2500 |
| ධාන්ය ප්රමාණය | μm | 2~10 |
| රසායනික සංශුද්ධතාවය | % | 99.99995 |
| තාප ධාරිතාව | J·kg-1 ·K-1 | 640 |
| Sublimation උෂ්ණත්වය | ℃ | 2700 |
| Felexural ශක්තිය | MPa (RT 4-ලක්ෂ්‍යය) | 415 |
| යන්ග් මාපාංකය | Gpa (4pt වංගුව, 1300℃) | 430 |
| තාප ප්‍රසාරණය (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
| තාප සන්නායකතාව | (W/mK) | 300 |
-
මිනිරන් හීටර් උණුසුම් කලාපය/මිනිරන් උණුසුම් ක්ෂේත්රය, ca...
-
ICP Etching ක්‍රියාවලි සඳහා SiC පින් තැටි ...
-
SiC Epitaxial උපකරණ සඳහා අර්ධ කොටස්
-
කාබයිඩ්-ආලේපිත ප්රතික්රියාකාරක බැරල් ප්රතික්රියාකාරකය
-
Epitaxial වර්ධනය සඳහා SiC ආලේපිත ග්රැෆයිට් බැරලය
-
SiC-ආලේපිත අර්ධ සන්නායක Epitaxial ප්රතික්රියාකාරකය සඳහා ...