Semicera වෙතින් Solid SiC Focus Ring යනු උසස් අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ අවශ්‍යතා සපුරාලීම සඳහා නිර්මාණය කර ඇති අති නවීන සංරචකයකි. ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් සාදා ඇතසිලිකන් කාබයිඩ් (SiC), මෙම නාභිගත මුද්ද අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ පුළුල් පරාසයක යෙදීම් සඳහා වඩාත් සුදුසු වේCVD SiC ක්රියාවලි, ප්ලාස්මා කැටයම් කිරීම සහICPRIE (Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etching). එහි සුවිශේෂී ඇඳුම් ප්රතිරෝධය, ඉහළ තාප ස්ථායීතාවය සහ සංශුද්ධතාවය සඳහා ප්‍රසිද්ධියට පත් වූ එය අධික ආතති පරිසරයක දිගුකාලීන කාර්ය සාධනය සහතික කරයි.
අර්ධ සන්නායකයකවේෆර්සැකසුම්, Solid SiC Focus Rings වියළි කැටයම් සහ වේෆර් කැටයම් යෙදීම් වලදී නිරවද්‍ය කැටයම් පවත්වා ගැනීම සඳහා ඉතා වැදගත් වේ. SiC නාභිගත මුද්ද ප්ලාස්මා එචිං යන්ත්‍ර මෙහෙයුම් වැනි ක්‍රියාවලීන්හිදී ප්ලාස්මා නාභිගත කිරීමට සහය වන අතර, සිලිකන් වේෆර් කැටයම් කිරීම සඳහා එය අත්‍යවශ්‍ය වේ. ඝන SiC ද්‍රව්‍යය ඛාදනයට අසමසම ප්‍රතිරෝධයක් ලබා දෙයි, ඔබේ උපකරණවල දිගු ආයු කාලය සහතික කිරීම සහ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ ඉහළ ප්‍රතිදානයක් පවත්වා ගැනීම සඳහා අත්‍යවශ්‍ය වන අක්‍රිය කාලය අවම කරයි.
Semicera වෙතින් Solid SiC Focus Ring නිර්මාණය කර ඇත්තේ අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ බහුලව දක්නට ලැබෙන ආන්තික උෂ්ණත්වයන්ට සහ ආක්‍රමණශීලී රසායනික ද්‍රව්‍යවලට ඔරොත්තු දෙන ලෙසය. වැනි ඉහළ නිරවද්‍ය කාර්යයන් සඳහා එය විශේෂයෙන් නිර්මාණය කර ඇතCVD SiC ආලේපන, එහිදී සංශුද්ධතාවය සහ කල්පැවැත්ම ඉතා වැදගත් වේ. තාප කම්පනයට විශිෂ්ට ප්‍රතිරෝධයක් ඇතිව, මෙම නිෂ්පාදනය අධික උෂ්ණත්වයන්ට නිරාවරණය වීම ඇතුළුව, දරුණුතම තත්වයන් යටතේ ස්ථාවර සහ ස්ථාවර කාර්ය සාධනයක් සහතික කරයි.වේෆර්කැටයම් ක්රියාවලීන්.
නිරවද්‍යතාවය සහ විශ්වසනීයත්වය ප්රධාන වන අර්ධ සන්නායක යෙදුම්වල, Etching ක්‍රියාවලීන්හි සමස්ත කාර්යක්ෂමතාව ඉහළ නැංවීම සඳහා Solid SiC Focus Ring ප්රධාන භූමිකාවක් ඉටු කරයි. එහි ශක්තිමත්, ඉහළ කාර්ය සාධනයක් සහිත සැලසුම, ආන්තික තත්ව යටතේ ක්‍රියා කරන ඉහළ සංශුද්ධතා සංරචක අවශ්‍ය වන කර්මාන්ත සඳහා පරිපූර්ණ තේරීමක් කරයි. භාවිතා කළත්CVD SiC මුද්දයෙදුම් හෝ ප්ලාස්මා කැටයම් කිරීමේ ක්‍රියාවලියේ කොටසක් ලෙස, Semicera's Solid SiC Focus Ring ඔබේ උපකරණවල ක්‍රියාකාරිත්වය ප්‍රශස්ත කිරීමට උපකාරී වන අතර, ඔබේ නිෂ්පාදන ක්රියාවලීන් සඳහා ඉල්ලුමක් ඇති කල්පැවැත්ම සහ විශ්වසනීයත්වය ලබා දෙයි.
ප්රධාන ලක්ෂණ:
• සුපිරි ඇඳුම් ප්රතිරෝධය සහ ඉහළ තාප ස්ථායීතාවය
• දිගු ආයු කාලයක් සඳහා ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ඝන SiC ද්රව්ය
• ප්ලාස්මා කැටයම් කිරීම, ICP RIE, සහ වියළි කැටයම් යෙදීම් සඳහා වඩාත් සුදුසුය
• විශේෂයෙන් CVD SiC ක්රියාවලි වලදී වේෆර් කැටයම් කිරීම සඳහා පරිපූර්ණයි
• ආන්තික පරිසරයන් සහ ඉහළ උෂ්ණත්වවලදී විශ්වාසනීය කාර්ය සාධනය
• සිලිකන් වේෆර් කැටයම් කිරීමේදී නිරවද්‍යතාවය සහ කාර්යක්ෂමතාව සහතික කරයි
යෙදුම්:
• අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී CVD SiC ක්රියාවලි
• ප්ලාස්මා කැටයම් සහ ICP RIE පද්ධති
• වියළි කැටයම් සහ වේෆර් කැටයම් ක්රියාවලි
• ප්ලාස්මා කැටයම් යන්ත්‍රවල කැටයම් කිරීම සහ තැන්පත් කිරීම
• වේෆර් මුදු සහ CVD SiC වළලු සඳහා නිරවද්‍ය සංරචක
CVD SiC මතුපිට අන්වීක්ෂීය රූප විද්‍යාව
CVD SiC හරස්කඩේ අන්වීක්ෂීය රූප විද්‍යාව
