සෙමිසෙරාසිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ආලේපනයයනු අතිශය දෘඩ සහ ඇඳුම්-ප්‍රතිරෝධී සිලිකන් කාබයිඩ් (SiC) ද්රව්ය වලින් සාදන ලද ඉහළ කාර්ය සාධන ආරක්ෂිත ආලේපනයකි. ආෙල්පනය සාමාන්යයෙන් CVD හෝ PVD ක්රියාවලිය මගින් උපස්ථරයේ මතුපිට තැන්පත් වේසිලිකන් කාබයිඩ් අංශු, විශිෂ්ට රසායනික විඛාදන ප්රතිරෝධය සහ ඉහළ උෂ්ණත්ව ස්ථායීතාවයක් ලබා දීම. එබැවින්, අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන උපකරණවල ප්රධාන සංරචක සඳහා සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ආලේපනය බහුලව භාවිතා වේ.
අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී,SiC ආලේපනය1600°C දක්වා අධික උෂ්ණත්වයකට ඔරොත්තු දිය හැකි බැවින් සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ආලේපනය බොහෝ විට ඉහළ උෂ්ණත්ව හෝ විඛාදන පරිසරයක හානි වැළැක්වීම සඳහා උපකරණ හෝ මෙවලම් සඳහා ආරක්ෂිත තට්ටුවක් ලෙස භාවිතා කරයි.
එම අවස්ථාවේදී ම,සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ආලේපනයඅම්ල, ක්ෂාර, ඔක්සයිඩ සහ අනෙකුත් රසායනික ප්‍රතික්‍රියාකාරකවල ඛාදනයට ඔරොත්තු දිය හැකි අතර විවිධ රසායනික ද්‍රව්‍යවලට ඉහළ විඛාදන ප්‍රතිරෝධයක් ඇත. එබැවින්, මෙම නිෂ්පාදනය අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ විවිධ විඛාදන පරිසරයන් සඳහා සුදුසු වේ.
එපමනක් නොව, අනෙකුත් සෙරමික් ද්රව්ය සමඟ සසඳන විට, SiC ඉහළ තාප සන්නායකතාවයක් ඇති අතර ඵලදායී ලෙස තාපය සන්නයනය කළ හැකිය. මෙම ලක්ෂණය මඟින් නිශ්චිත උෂ්ණත්ව පාලනයක් අවශ්‍ය වන අර්ධ සන්නායක ක්‍රියාවලීන්හි ඉහළ තාප සන්නායකතාවය තීරණය කරයි.සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් ආලේපනයතාපය ඒකාකාරව විසුරුවා හැරීමට, දේශීය උනුසුම් වීම වැළැක්වීමට සහ උපාංගය ප්‍රශස්ත උෂ්ණත්වයේ ක්‍රියාත්මක වන බව සහතික කිරීමට උපකාරී වේ.
| CVD sic ආලේපනයේ මූලික භෞතික ගුණාංග | |
| දේපල | සාමාන්ය අගය |
| ස්ඵටික ව්යුහය | FCC β අදියර බහු ස්ඵටික, ප්රධාන වශයෙන් (111) නැඹුරු |
| ඝනත්වය | 3.21 g/cm³ |
| දැඩි බව | විකර් දෘඪතාව 2500 (ග්රෑම් 500 බර) |
| ධාන්ය ප්රමාණය | 2~10μm |
| රසායනික සංශුද්ධතාවය | 99.99995% |
| තාප ධාරිතාව | 640 J·kg-1·කේ-1 |
| Sublimation උෂ්ණත්වය | 2700℃ |
| Flexural ශක්තිය | 415 MPa RT 4-ලක්ෂ්‍යය |
| Young's Modulus | 430 Gpa 4pt වංගුව, 1300℃ |
| තාප සන්නායකතාව | 300W·m-1·කේ-1 |
| තාප ප්‍රසාරණය (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
