විස්තරය
අපගේ සමාගම මිනිරන්, පිඟන් මැටි සහ වෙනත් ද්‍රව්‍යවල මතුපිට CVD ක්‍රමයට SiC ආලේපන ක්‍රියාවලි සේවා සපයයි, එවිට කාබන් සහ සිලිකන් අඩංගු විශේෂ වායු ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් SiC අණු, ආලේපිත ද්‍රව්‍යවල මතුපිට තැන්පත් කර ඇති අණු ලබා ගැනීම සඳහා ඉහළ උෂ්ණත්වයකදී ප්‍රතික්‍රියා කරයි. SIC ආරක්ෂිත ස්ථරය සෑදීම.
ප්රධාන ලක්ෂණ
1 .ඉහළ සංශුද්ධතාවය SiC ආලේපිත මිනිරන්
2. සුපිරි තාප ප්රතිරෝධය සහ තාප ඒකාකාරිත්වය
3. සිනිඳු මතුපිටක් සඳහා ආලේප කරන ලද සියුම් SiC ස්ඵටික
4. රසායනික පිරිසිදු කිරීමට එරෙහිව ඉහළ කල්පැවැත්ම
CVD-SIC ආලේපනයේ ප්රධාන පිරිවිතර
| SiC-CVD ගුණාංග | ||
| ස්ඵටික ව්යුහය | FCC β අදියර | |
| ඝනත්වය | g/cm ³ | 3.21 |
| දැඩි බව | විකර්ස් දෘඪතාව | 2500 |
| ධාන්ය ප්රමාණය | μm | 2~10 |
| රසායනික සංශුද්ධතාවය | % | 99.99995 |
| තාප ධාරිතාව | J·kg-1 ·K-1 | 640 |
| Sublimation උෂ්ණත්වය | ℃ | 2700 |
| Felexural ශක්තිය | MPa (RT 4-ලක්ෂ්‍යය) | 415 |
| Young's Modulus | Gpa (4pt වංගුව, 1300℃) | 430 |
| තාප ප්‍රසාරණය (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
| තාප සන්නායකතාව | (W/mK) | 300 |
-
සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපිත එපිටාක්සියල් ප්‍රතික්‍රියාකාරක බැරලය
-
සිලිකන් කාබයිඩ් SiC ආලේපිත Epitaxial ප්රතික්රියාකාරකය Ba...
-
ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ටැන්ටලම් කාබයිඩ් නිෂ්පාදන අභිරුචිකරණය
-
SiC Epitaxy වේෆර් වාහකය
-
අර්ධ සන්නායක සිලිකන් කාබයිඩ් වේෆර් බෝට්ටුවක් විය හැකිය ...
-
සිලිකන් කාබයිඩ්-ආලේපිත බැරල් සස්ප්ටරය