විස්තරය
සිලිකන් කාබයිඩ් එපිටක්සියල්සෙමිසෙරා වෙතින් වන VEECO උපකරණ සඳහා වේෆර් තැටි උසස් epitaxial ක්‍රියාවලීන් සඳහා නිරවද්‍ය ලෙස නිර්මාණය කර ඇති අතර, දෙකෙහිම උසස් තත්ත්වයේ ප්‍රතිඵල සහතික කරයි.Si EpitaxyසහSiC Epitaxyඅයදුම්පත්. මෙම වේෆර් තැටි විශේෂයෙන් නිර්මාණය කර ඇත්තේ VEECO උපකරණ සඳහා වන අතර, විවිධ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලීන්හි ක්‍රියාකාරීත්වය සහ කාර්යක්ෂමතාව ඉහළ නංවයි. Semicera ගේ විශේෂඥතාව තීරණාත්මක යෙදුම් සඳහා සුවිශේෂී කල්පැවැත්ම සහ නිරවද්‍යතාවය සහතික කරයි.
මෙම epitaxial වේෆර් තැටි භාවිතයට සුදුසු වේMOCVD Susceptorපද්ධති, වැනි අත්‍යවශ්‍ය සංරචක සඳහා ශක්තිමත් සහය ලබා දීමPSS Etching වාහකය, ICP Etching වාහකය, සහRTP වාහකය. ඊට අමතරව, ඔවුන් සමඟ වැඩි දියුණු කළ අනුකූලතාවයක් ලබා දෙයිLED Epitaxial Susceptor, Barrel Susceptor, සහ Monocrystalline Silicon processes, ඔබේ නිෂ්පාදන රේඛා කාර්යක්ෂමතාව සහ නිරවද්‍යතාවයේ ඉහළම ප්‍රමිතීන් පවත්වා ගෙන යන බව සහතික කරයි.
අති නවීන තාක්‍ෂණය සඳහා නිර්මාණය කර ඇති මෙම වේෆර් තැටි ප්‍රකාශ වෝල්ටීයතා කොටස් නිෂ්පාදනයට සැලකිය යුතු දායකත්වයක් සපයන අතර SiC Epitaxy හි GaN වැනි සංකීර්ණ ක්‍රියාවලීන් සඳහා පහසුකම් සපයයි. Pancake Susceptor වින්‍යාස කිරීම් හෝ වෙනත් ඉල්ලුමක් ඇති යෙදුම් සඳහා භාවිතා කළත්, semicera's Silicon Carbide Epitaxial Wafer Discs උසස් අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය සඳහා විශ්වාසදායක පදනමක් සපයයි, ප්‍රශස්ත ක්‍රියාකාරිත්වය සහ දිගු කාලීන කල්පැවැත්ම සහතික කරයි.
ප්රධාන ලක්ෂණ
1 .ඉහළ සංශුද්ධතාවය SiC ආලේපිත මිනිරන්
2. සුපිරි තාප ප්රතිරෝධය සහ තාප ඒකාකාරිත්වය
3. හොඳයිSiC ස්ඵටික ආලේප කර ඇතසුමට මතුපිටක් සඳහා
4. රසායනික පිරිසිදු කිරීමට එරෙහිව ඉහළ කල්පැවැත්ම
CVD-SIC ආලේපනවල ප්රධාන පිරිවිතර:
| SiC-CVD | ||
| ඝනත්වය | (g/cc) | 3.21 |
| Flexural ශක්තිය | (Mpa) | 470 |
| තාප ප්රසාරණය | (10-6/K) | 4 |
| තාප සන්නායකතාව | (W/mK) | 300 |
ඇසුරුම් කිරීම සහ නැව්ගත කිරීම
සැපයුම් හැකියාව:
මසකට 10000 කෑලි/කෑලි
ඇසුරුම් කිරීම සහ බෙදා හැරීම:
ඇසුරුම් කිරීම: සම්මත සහ ශක්තිමත් ඇසුරුම්
Poly bag + Box + Carton + Pallet
වරාය:
Ningbo/Shenzhen/Shanghai
පූරක කාලය:
| ප්‍රමාණය (කෑලි) | 1-1000 | >1000 |
| EST. කාලය (දින) | 30 | සාකච්ඡා කිරීමට නියමිතය |
