semicera වෙතින් නිල්/කොළ LED epitaxy ඉහළ කාර්යසාධනයක් සහිත LED නිෂ්පාදනය සඳහා අති නවීන විසඳුම් ඉදිරිපත් කරයි. උසස් epitaxial වර්ධන ක්‍රියාවලීන්ට සහාය වීම සඳහා නිර්මාණය කර ඇති, semicera's Blue/green LED epitaxy තාක්‍ෂණය නිල් සහ කොළ LED නිපදවීමේ කාර්යක්ෂමතාව සහ නිරවද්‍යතාවය වැඩි දියුණු කරයි, විවිධ දෘෂ්ටි ඉලෙක්ට්‍රොනික යෙදුම් සඳහා ඉතා වැදගත් වේ. අති නවීන Si Epitaxy සහ SiC Epitaxy භාවිතා කරමින්, මෙම විසඳුම විශිෂ්ට තත්ත්වයේ සහ කල්පැවැත්ම සහතික කරයි.
නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේදී, එපිටාක්සියල් වර්ධන පරිසරය ප්‍රශස්ත කරන PSS Etching Carrier, ICP Etching Carrier සහ RTP Carrier වැනි සංරචක සමඟින් MOCVD Susceptor තීරණාත්මක කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි. Semicera's Blue/green LED epitaxy නිර්මාණය කර ඇත්තේ LED Epitaxial Susceptor, Barrel Susceptor, සහ Monocrystalline Silicon සඳහා ස්ථාවර සහය සැපයීම සඳහා වන අතර, ස්ථාවර, උසස් තත්ත්වයේ ප්‍රතිඵල නිෂ්පාදනය කිරීම සහතික කරයි.
මෙම epitaxy ක්‍රියාවලිය ප්‍රකාශ වෝල්ටීයතා කොටස් නිර්මාණය කිරීම සඳහා අත්‍යවශ්‍ය වන අතර සමස්ත අර්ධ සන්නායක කාර්යක්ෂමතාව වැඩි දියුණු කරමින් SiC Epitaxy මත GaN වැනි යෙදුම් සඳහා සහය දක්වයි. Pancake Susceptor වින්‍යාසය තුළ හෝ වෙනත් උසස් සැකසුම්වල භාවිත කළත්, semicera's Blue/green LED epitaxy විසඳුම් විශ්වසනීය කාර්ය සාධනයක් ලබා දෙයි, නිෂ්පාදකයින්ට උසස් තත්ත්වයේ LED සංරචක සඳහා වැඩිවන ඉල්ලුම සපුරාලීමට උපකාරී වේ.
ප්රධාන ලක්ෂණ:
1. ඉහළ උෂ්ණත්ව ඔක්සිකරණ ප්රතිරෝධය:
උෂ්ණත්වය සෙල්සියස් අංශක 1600 තරම් ඉහළ මට්ටමක පවතින විට ඔක්සිකරණ ප්රතිරෝධය තවමත් ඉතා යහපත් වේ.
2. ඉහළ සංශුද්ධතාවය : අධික උෂ්ණත්ව ක්ලෝරීන තත්ත්වය යටතේ රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් වීම මගින් සාදනු ලැබේ.
3. ඛාදනය ප්රතිරෝධය: ඉහළ දෘඪතාව, සංයුක්ත මතුපිට, සියුම් අංශු.
4. විඛාදන ප්රතිරෝධය: අම්ලය, ක්ෂාර, ලුණු සහ කාබනික ප්රතික්රියාකාරක.
හි ප්රධාන පිරිවිතරCVD-SIC ආලේපනය
| SiC-CVD ගුණාංග | ||
| ස්ඵටික ව්යුහය | FCC β අදියර | |
| ඝනත්වය | g/cm ³ | 3.21 |
| දැඩි බව | විකර්ස් දෘඪතාව | 2500 |
| ධාන්ය ප්රමාණය | μm | 2~10 |
| රසායනික සංශුද්ධතාවය | % | 99.99995 |
| තාප ධාරිතාව | J·kg-1 ·K-1 | 640 |
| Sublimation උෂ්ණත්වය | ℃ | 2700 |
| Felexural ශක්තිය | MPa (RT 4-ලක්ෂ්‍යය) | 415 |
| Young's Modulus | Gpa (4pt වංගුව, 1300℃) | 430 |
| තාප ප්‍රසාරණය (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
| තාප සන්නායකතාව | (W/mK) | 300 |
