විස්තරය
දසිලිකන් කාබයිඩ් (SiC) Wafer Susceptorssemicera සිට MOCVD සඳහා උසස් epitaxial ක්රියාවලීන් සඳහා නිර්මාණය කර ඇති අතර, දෙකම සඳහා උසස් කාර්ය සාධනයක් ලබා දෙයි.Si EpitaxyසහSiC Epitaxyඅයදුම්පත්. Semicera හි නව්‍ය ප්‍රවේශය මෙම susceptors කල් පවතින සහ කාර්යක්ෂම බව සහතික කරයි, තීරණාත්මක නිෂ්පාදන මෙහෙයුම් සඳහා ස්ථාවරත්වය සහ නිරවද්‍යතාවය සපයයි.
හි සංකීර්ණ අවශ්‍යතා සඳහා සහාය වීම සඳහා නිර්මාණය කර ඇතMOCVD Susceptorපද්ධති, මෙම නිෂ්පාදන බහුකාර්ය, PSS Etching Carrier, ICP Etching Carrier, සහ RTP Carrier වැනි වාහකයන් සමඟ අනුකූල වේ. ඔවුන්ගේ නම්‍යශීලීභාවය ඔවුන් සමඟ වැඩ කරන අය ඇතුළුව අධි තාක්‍ෂණික කර්මාන්ත සඳහා සුදුසු වේLED EpitaxialSusceptor සහ Monocrystalline Silicon.
Barrel Susceptor සහ Pancake Susceptor ඇතුළු බහුවිධ වින්‍යාසයන් සමඟින්, මෙම වේෆර් susceptors ප්‍රකාශ වෝල්ටීයතා අංශයේ ද අත්‍යවශ්‍ය වන අතර, ප්‍රකාශ වෝල්ටීයතා අමතර කොටස් නිෂ්පාදනයට සහාය වේ. අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදකයින් සඳහා, SiC Epitaxy ක්රියාවලීන් මත GaN හැසිරවීමේ හැකියාව පුළුල් පරාසයක යෙදුම් හරහා උසස් තත්ත්වයේ ප්‍රතිදානයක් සහතික කිරීම සඳහා මෙම susceptors ඉතා වටිනා කරයි.
ප්රධාන ලක්ෂණ
1 .ඉහළ සංශුද්ධතාවය SiC ආලේපිත මිනිරන්
2. සුපිරි තාප ප්රතිරෝධය සහ තාප ඒකාකාරිත්වය
3. හොඳයිSiC ස්ඵටික ආලේප කර ඇතසුමට මතුපිටක් සඳහා
4. රසායනික පිරිසිදු කිරීමට එරෙහිව ඉහළ කල්පැවැත්ම
CVD-SIC ආලේපනවල ප්රධාන පිරිවිතර:
| SiC-CVD | ||
| ඝනත්වය | (g/cc) | 3.21 |
| Flexural ශක්තිය | (Mpa) | 470 |
| තාප ප්රසාරණය | (10-6/K) | 4 |
| තාප සන්නායකතාව | (W/mK) | 300 |
ඇසුරුම් කිරීම සහ නැව්ගත කිරීම
සැපයුම් හැකියාව:
මසකට 10000 කෑලි/කෑලි
ඇසුරුම් කිරීම සහ බෙදා හැරීම:
ඇසුරුම් කිරීම: සම්මත සහ ශක්තිමත් ඇසුරුම්
Poly bag + Box + Carton + Pallet
වරාය:
Ningbo/Shenzhen/Shanghai
පූරක කාලය:
| ප්‍රමාණය (කෑලි) | 1-1000 | >1000 |
| EST. කාලය (දින) | 30 | සාකච්ඡා කිරීමට නියමිතය |
