විස්තරය
වේෆර් වාහකයන්සමඟසිලිකන් කාබයිඩ් (SiC) ආලේපනයsemicera සිට ඉහළ කාර්යසාධනයක් සහිත epitaxial වර්ධනය සඳහා විශේෂඥ ලෙස නිර්මාණය කර ඇති අතර, ප්‍රශස්ත ප්රතිඵල සහතික කරයිSi EpitaxyසහSiC Epitaxyඅයදුම්පත්. Semicera හි නිරවද්‍ය-ඉංජිනේරු වාහක ආන්තික තත්වයන්ට ඔරොත්තු දීම සඳහා ගොඩනගා ඇත, ඒවා MOCVD Susceptor පද්ධතිවල ඉහළ නිරවද්‍යතාවයක් සහ කල්පැවැත්මක් අවශ්‍ය වන කර්මාන්ත සඳහා අත්‍යවශ්‍ය සංරචක බවට පත් කරයි.
මෙම වේෆර් වාහකයන් බහුකාර්ය වේ, වැනි උපකරණ සමඟ තීරණාත්මක ක්‍රියාවලීන් සඳහා සහාය වේPSS Etching වාහකය, ICP Etching වාහකය, සහRTP වාහකය. ඔවුන්ගේ ශක්තිමත් SiC ආලේපනය වැනි යෙදුම් සඳහා කාර්ය සාධනය වැඩි දියුණු කරයිLED EpitaxialSusceptor සහ Monocrystalline Silicon, ඉල්ලුම පරිසරය තුළ පවා ස්ථාවර ප්රතිඵල සහතික කිරීම.
Barrel Susceptor සහ Pancake Susceptor වැනි බහුවිධ වින්‍යාසයන්ගෙන් ලබා ගත හැකි මෙම වාහකයන් ප්‍රකාශ වෝල්ටීයතා සහ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී වැදගත් කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි. ඔවුන්ගේ උසස් සැලසුම සමඟින්, මෙම වාහකයන් ඉහළ කාර්යක්ෂම නිෂ්පාදනයක් ඉලක්ක කරගත් නිෂ්පාදකයින් සඳහා ප්රධාන වත්කමකි.
ප්රධාන ලක්ෂණ
1 .ඉහළ සංශුද්ධතාවය SiC ආලේපිත මිනිරන්
2. සුපිරි තාප ප්රතිරෝධය සහ තාප ඒකාකාරිත්වය
3. හොඳයිSiC ස්ඵටික ආලේප කර ඇතසුමට මතුපිටක් සඳහා
4. රසායනික පිරිසිදු කිරීමට එරෙහිව ඉහළ කල්පැවැත්ම
CVD-SIC ආලේපනවල ප්රධාන පිරිවිතර:
| SiC-CVD | ||
| ඝනත්වය | (g/cc) | 3.21 |
| Flexural ශක්තිය | (Mpa) | 470 |
| තාප ප්රසාරණය | (10-6/K) | 4 |
| තාප සන්නායකතාව | (W/mK) | 300 |
ඇසුරුම් කිරීම සහ නැව්ගත කිරීම
සැපයුම් හැකියාව:
මසකට 10000 කෑලි/කෑලි
ඇසුරුම් කිරීම සහ බෙදා හැරීම:
ඇසුරුම් කිරීම: සම්මත සහ ශක්තිමත් ඇසුරුම්
Poly bag + Box + Carton + Pallet
වරාය:
Ningbo/Shenzhen/Shanghai
පූරක කාලය:
| ප්‍රමාණය (කෑලි) | 1-1000 | >1000 |
| EST. කාලය (දින) | 30 | සාකච්ඡා කිරීමට නියමිතය |
